[實用新型]傳送設備

有效

• 申請號: 201821206285.4
• 申請日: 2018-07-27
• 公開（公告）號: CN208843185U
• 公開（公告）日: 2019-05-10
• 發明（設計）人: 黃傳虎
• 申請（專利權）人: 東泰高科裝備科技（北京）有限公司
• 主分類號: B65G43/00
• 分類號: B65G43/00
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 韓建偉;謝湘寧

本實用新型提供了一種傳送設備，該傳送設備包括：載具；導向機構，設置在載具的頂部，導向機構用于對載具進行導向；滾輪，設置在載具的底部；檢測裝置，設置在載具上，檢測裝置用于檢測載具的運動姿態。通過本實用新型提供的技術方案，能夠解決現有技術中的傳送設備不能檢測載具運行是否可靠的技術問題。

技術領域

本實用新型涉及真空鍍膜設備技術領域，具體而言，涉及一種傳送設備。

背景技術

PVD(Physical Vapor Deposition，物理氣相沉積)是指利用物理過程實現物質轉移，將原子或分子由源轉移到基材表面上的過程。立式PVD設備是實現該過程的一種普遍應用的生產設備，在立式PVD設備在生產過程中載具在傳動機構上移動，并通過底部的滾輪和頂部導向機構來保證載具的平穩。然而在生產過程中，載具會因為各種機械問題造成卡頓、卡死或脫落等情況，造成生產中斷產生大量廢品、影響生產進度。目前，現有技術中的傳送設備不能對運動姿態進行檢測，因而也不能在生產前檢測出傳送設備上的隱患并進行適應性調整，這樣往往會導致在生產過程中出現故障，因此會產生大量的廢品。

實用新型內容

本實用新型提供一種傳送設備，以解決現有技術中的傳送設備不能檢測載具運行是否可靠的問題。

本實用新型提供了一種傳送設備，該傳送設備包括：載具；導向機構，設置在載具的頂部，導向機構用于對載具進行導向；滾輪，設置在載具的底部；檢測裝置，設置在載具上，檢測裝置通過檢測載具的運動姿態以判斷載具是否處于運動狀態。

進一步地，檢測裝置包括：檢測件，檢測件用于檢測載具的角度偏差值。

進一步地，檢測裝置還包括：數據采集件，數據采集件與檢測件電連接，數據采集件用于記錄時間值以及檢測件檢測到的角度偏差值。

進一步地，檢測裝置還包括：電源，數據采集件和檢測件均與電源電連接。

進一步地，檢測裝置還包括：上位機，數據采集件與上位機電連接，上位機用于對數據采集件采集到的數據進行分析。

進一步地，傳送設備還包括：固定組件，設置在載具上，檢測裝置設置在固定組件上。

進一步地，固定組件包括：第一固定件，第一固定件設置在載具上，檢測件設置在第一固定件上；第二固定件，第二固定件設置在載具上，電源和數據采集件均設置在第二固定件上。

進一步地，檢測裝置可拆卸地設置在載具上。

進一步地，傳送設備還包括：卡接件，設置在固定組件上，固定組件通過卡接件可拆卸地設置在載具上。

進一步地，檢測件包括姿態傳感器。

應用本實用新型的技術方案，通過在載具上設置檢測裝置，該檢測裝置能夠檢測載具的運動姿態，以便于在生產前對載具的運動姿態進行檢測，并根據檢測到的運動姿態判斷傳送設備在傳送過程中可能發生運動中斷時所處的位置。操作人員可以根據傳送設備可能發生中斷時所處的位置情況以及傳動設備自身進行適應的維修和調整，以在生產前排除傳送設備傳送中斷的隱患，進而避免因傳送中斷而產生大量廢品、并影響生產進度的現象。因此，采用本實用新型提供的傳送設備，能夠解決現有技術中的傳送設備不能檢測載具運行是否可靠的問題。

附圖說明

構成本申請的一部分的說明書附圖用來提供對本實用新型的進一步理解，本實用新型的示意性實施例及其說明用于解釋本實用新型，并不構成對本實用新型的不當限定。在附圖中：

圖1示出了根據本實用新型實施例提供的檢測裝置和固定組件的結構示意圖；

圖2示出了根據本實用新型實施例提供的載具、導向機構和滾輪的結構示意圖；

圖3示出了根據本實用新型實施例提供的第一固定件的結構示意圖。