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[實用新型]半導體裝置有效

專利信息
申請號: 201821206107.1 申請日: 2018-07-27
公開(公告)號: CN208767302U 公開(公告)日: 2019-04-19
發明(設計)人: 河崎一茂 申請(專利權)人: 東芝存儲器株式會社
主分類號: H01L27/1157 分類號: H01L27/1157
代理公司: 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287 代理人: 楊林勳
地址: 日本*** 國省代碼: 日本;JP
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 半導體芯片 基礎部件 積層體 半導體裝置 本實用新型 交替積層 最下層 排列配置 低成本
【權利要求書】:

1.一種半導體裝置,具備:

基礎部件;

第1積層體,包含交替積層在與所述基礎部件的表面交叉的第1方向的第1半導體芯片與第2半導體芯片;及

第2積層體,在沿所述基礎部件的所述表面的第2方向與所述第1積層體排列配置,且包含交替積層在所述第1方向的其他第1半導體芯片與其他第2半導體芯片;且

所述第1積層體包含與所述基礎部件連接的最下層的第1半導體芯片,

所述第2積層體包含與所述基礎部件連接的最下層的第2半導體芯片。

2.根據權利要求1所述的半導體裝置,其中所述第1半導體芯片及所述第2半導體芯片分別具有半導體基板、及設置在所述半導體基板上的功能層,

所述第1積層體及所述第2積層體包含:第1接合部,使所述第1半導體芯片的功能層與所述第2半導體芯片的功能層對向接合;及第2接合部,使所述第1半導體芯片的半導體基板與所述第2半導體芯片的半導體基板對向接合。

3.根據權利要求2所述的半導體裝置,其中所述第1半導體芯片及所述第2半導體芯片分別具有:接合焊墊,設置在所述功能層上;及連接焊墊,設置在所述半導體基板的與所述功能層為相反側的背面側;且

所述第1接合部包含將所述第1半導體芯片的接合焊墊與所述第2半導體芯片的接合焊墊直接連接的部分,

所述第2接合部包含將所述第1半導體芯片的連接焊墊與所述第2半導體芯片的連接焊墊經由連接部件連接的部分。

4.根據權利要求1至3中任一項所述的半導體裝置,其進而具備與所述第1積層體及所述第2積層體電性連接的第3半導體芯片,

所述第3半導體芯片具有指令端子與數據端子,

所述第1積層體及所述第2積層體分別具有與所述指令端子連接的第1端子、及與所述數據端子連接的第2端子,

所述第1積層體的第1端子與所述第2積層體的第1端子在所述第2方向上排列配置,

所述第1積層體的第2端子與所述第2積層體的第2端子在所述第2方向上排列配置。

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