[實(shí)用新型]一種氣體供應(yīng)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821192419.1
• 申請(qǐng)日: 2018-07-24
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN208655583U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-03-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊俊杰
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 合肥晶合集成電路有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/67
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/67
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 鄭星

本實(shí)用新型提供了一種氣體供應(yīng)裝置。在氣體供應(yīng)裝置中，設(shè)置有與第一氣源容納部連接的管道分支以及用于與第二氣源供應(yīng)設(shè)備連接的管道分支，以使氣體供應(yīng)裝置不僅可以用于供應(yīng)第一氣體，以構(gòu)成獨(dú)立的氣體供應(yīng)裝置，并且還可以作為一氣體輸送通道用于輸送第二氣體。在將本實(shí)用新型中的氣體供應(yīng)裝置應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)中時(shí)，可直接利用氣體供應(yīng)裝置為生產(chǎn)設(shè)備進(jìn)行氣體切換，而不需要對(duì)生產(chǎn)設(shè)備的氣體管道重新拆裝，有效避免了生產(chǎn)設(shè)備的氣體管道容易受到污染的問(wèn)題，并可節(jié)省氣體管道拆裝所耗費(fèi)的時(shí)間。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及制造技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種氣體供應(yīng)裝置。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域中，需要利用生產(chǎn)設(shè)備進(jìn)行半導(dǎo)體產(chǎn)品的加工制造，以及在執(zhí)行相應(yīng)工藝的過(guò)程中，通常還需要為生產(chǎn)設(shè)備提供相應(yīng)的生產(chǎn)氣體。其中，半導(dǎo)體制造中所需要的生產(chǎn)氣體通常是從一氣體供應(yīng)端中引出，并進(jìn)一步輸送至生產(chǎn)設(shè)備中。以及，在氣體供應(yīng)端中具有多種生產(chǎn)氣體，以滿(mǎn)足半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)不同生氣氣體的需求。

基于半導(dǎo)體產(chǎn)品量產(chǎn)化的生產(chǎn)需求，針對(duì)同一工藝制程而言，通常是利用多臺(tái)相同的生產(chǎn)設(shè)備進(jìn)行加工制造，以保證半導(dǎo)體產(chǎn)品的產(chǎn)量需求，此時(shí)，即需要為多臺(tái)相同的生產(chǎn)設(shè)備提供相同的工藝氣體。當(dāng)然，針對(duì)不同的工藝制程而言，所對(duì)應(yīng)的生產(chǎn)設(shè)備也可能需要采用相同的生產(chǎn)氣體，此時(shí)相應(yīng)的需要利用氣體供應(yīng)端同時(shí)為多臺(tái)對(duì)應(yīng)不同工藝制程的生產(chǎn)設(shè)備提供相同的生產(chǎn)氣體。

圖1為現(xiàn)有的一種半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖1所示，所述半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)包括：

氣體供應(yīng)端1，用于供應(yīng)一種或多種生產(chǎn)氣體；

二次配閥箱2，與氣體供應(yīng)端1連接，用于接收生產(chǎn)氣體并將生產(chǎn)氣體進(jìn)行二次分配至各個(gè)生產(chǎn)設(shè)備中；

生產(chǎn)設(shè)備端3，具有多臺(tái)生產(chǎn)設(shè)備，并且多臺(tái)生產(chǎn)設(shè)備均連接至所述二次配閥箱2，用于接收生產(chǎn)氣體。

如圖1所示，當(dāng)氣體供應(yīng)端1中具有多種生產(chǎn)氣體時(shí)，則一種生產(chǎn)氣體需對(duì)應(yīng)配置一個(gè)配閥箱，例如第一生產(chǎn)氣體對(duì)應(yīng)配置第一配閥箱，第二生產(chǎn)氣體對(duì)應(yīng)配置第二配閥箱等，以使各種生產(chǎn)氣體經(jīng)由對(duì)應(yīng)的配閥箱輸送至各個(gè)生產(chǎn)設(shè)備中。

然而，基于現(xiàn)有的半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)，當(dāng)需要對(duì)一種新引入的測(cè)試氣體進(jìn)行測(cè)試評(píng)估時(shí)，則需要在氣體供應(yīng)端1中相應(yīng)的設(shè)置用于容納測(cè)試氣體的容納組件，并且還需要對(duì)應(yīng)添加一個(gè)二次配閥箱，導(dǎo)致成本的增加。同時(shí)，在測(cè)試過(guò)程中，還需要對(duì)生產(chǎn)設(shè)備的氣體管道進(jìn)行管道切換，以切換至對(duì)應(yīng)測(cè)試氣體的二次配閥箱，而在氣體管道的拆裝過(guò)程中將極易導(dǎo)致生產(chǎn)設(shè)備的氣體管道受到污染，并且氣體管道的拆裝過(guò)程還需要耗費(fèi)大量的時(shí)間。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種氣體供應(yīng)裝置，以用于提高生產(chǎn)氣體的供應(yīng)靈活性，并能夠便捷的切換不同的生產(chǎn)氣體。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種氣體供應(yīng)裝置，包括用于容納第一氣體的第一氣源容納部和用于輸送氣體的氣體輸送管道；其中，

所述氣體輸送管道具有多個(gè)管道分支，包括：

一第一管道分支，與所述第一氣源容納部連接，用于引出所述第一氣源供給設(shè)備中的第一氣體；

一第二管道分支，用于連接至一第二氣源供給設(shè)備，以輸送所述第二氣源供給設(shè)備中的第二氣體；以及，

一第三管道分支，用于連接至一氣體接收設(shè)備，以為所述氣體接收設(shè)備輸送氣體；

其中，所述第一管道分支和所述第二管道分支均連接至所述第三管道分支，以用于將所述第一管道分支中的所述第一氣體經(jīng)由所述第三管道分支輸送至所述氣體接收設(shè)備；或者，用于將所述第二管道分支中的所述第二氣體經(jīng)由所述第三管道分支輸送至氣體接收設(shè)備。

可選的，所述氣體輸送管道還包括：