[實(shí)用新型]一種氣體供應(yīng)裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821192419.1
• 申請日: 2018-07-24
• 公開（公告）號: CN208655583U
• 公開（公告）日: 2019-03-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 楊俊杰
• 申請（專利權(quán)）人: 合肥晶合集成電路有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 鄭星

1.一種氣體供應(yīng)裝置，其特征在于，包括用于容納第一氣體的第一氣源容納部和用于輸送氣體的氣體輸送管道；其中，

所述氣體輸送管道具有多個管道分支，包括：

第一管道分支，用于與所述第一氣源容納部連接，以引出所述第一氣源供給設(shè)備中的第一氣體；

第二管道分支，用于連接至一第二氣源供給設(shè)備，以輸送所述第二氣源供給設(shè)備中的第二氣體；以及，

第三管道分支，用于連接至一氣體接收設(shè)備，以為所述氣體接收設(shè)備輸送氣體；

其中，所述第一管道分支和所述第二管道分支均連接至所述第三管道分支，以用于將所述第一管道分支中的所述第一氣體經(jīng)由所述第三管道分支輸送至所述氣體接收設(shè)備；或者，用于將所述第二管道分支中的所述第二氣體經(jīng)由所述第三管道分支輸送至氣體接收設(shè)備。

2.如權(quán)利要求1所述氣體供應(yīng)裝置，其特征在于，所述氣體輸送管道還包括：

清潔管道分支，用于連接至一清潔氣體供給部以提供一清潔氣體，所述氣體輸送管道中的各個管道分支均連接至所述清潔管道分支；當(dāng)對所述氣體供應(yīng)裝置的所述氣體輸送管道進(jìn)行清潔保養(yǎng)時，所述清潔氣體經(jīng)由所述清潔管道分支進(jìn)入各個所述管道分支中，以進(jìn)行管道清潔。

3.如權(quán)利要求1所述氣體供應(yīng)裝置，其特征在于，所述第一管道分支上設(shè)置有第一閥件，所述第二管道分支上設(shè)置有第二閥件，所述第三管道分支上設(shè)置有第三閥件；其中，

當(dāng)所述氣體供應(yīng)裝置利用所述第一氣源容納部為所述氣體接收設(shè)備供應(yīng)第一氣體時，所述第一閥件和所述第三閥件均打開，以使所述第一氣源容納部的所述第一氣體由所述第一管道分支引出至所述第三管道分支，并輸送至所述氣體接收設(shè)備；以及，

當(dāng)所述氣體供應(yīng)裝置連通所述第二氣源供給設(shè)備用于為所述氣體接收設(shè)備供應(yīng)第二氣體時，所述第二閥件和所述第三閥件均打開，所述第一閥件關(guān)閉，以阻隔所述第一氣源容納部中的所述第一氣體，并使所述第二氣源供給設(shè)備的所述第二氣體由所述第二管道分支引出至所述第三管道分支，并輸送至所述氣體接收設(shè)備。

4.如權(quán)利要求1所述的氣體供應(yīng)裝置，其特征在于，所述氣體輸送管道還包括：

第四管道分支，連接在所述第二管道分支和所述第三管道分支之間，并與所述第一管道分支共同交匯至所述第三管道分支，用于將所述第二管道分支中的所述第二氣體經(jīng)由所述第四管道分支輸送至第三管道分支中。

5.如權(quán)利要求4所述的氣體供應(yīng)裝置，其特征在于，所述第四管道分支上設(shè)置有第四閥件；其中，

當(dāng)所述氣體供應(yīng)裝置供應(yīng)第一氣體時，所述第四閥件關(guān)閉，以阻隔所述第二氣體；以及，

當(dāng)所述氣體供應(yīng)裝置輸送第二氣體時，所述第二閥件、所述第三閥件和所述第四閥件均打開，以使所述第二氣源供給設(shè)備的所述第二氣體由所述第二管道分支經(jīng)由所述第四管道分支輸入至所述第三管道分支中。

6.如權(quán)利要求5所述的氣體供應(yīng)裝置，其特征在于，所述第四閥件設(shè)置在所述第四管道分支靠近所述第三管道分支的端部上。

7.如權(quán)利要求5所述的氣體供應(yīng)裝置，其特征在于，所述氣體輸送管道還包括：

尾氣管道分支，連接至所述第二管道分支，并且所述尾氣管道分支還用于連接至一尾氣處理部，用于將所述第二管道分支中的氣體經(jīng)由所述尾氣管道分支傳輸至所述尾氣處理部，以對所述第二管道分支中的殘余氣體進(jìn)行尾氣處理。

8.如權(quán)利要求7所述氣體供應(yīng)裝置，其特征在于，在所述尾氣管道分支和所述尾氣處理部之間還設(shè)置有一抽氣泵，用于抽取所述第二管道分支和所述尾氣管道分支中的殘余氣體。

9.如權(quán)利要求7所述氣體供應(yīng)裝置，其特征在于，所述尾氣管道分支上設(shè)置有第五閥件；其中，

當(dāng)所述氣體供應(yīng)裝置供應(yīng)第一氣體時，所述第四閥件關(guān)閉，所述第二閥件和所述第五閥件均打開，以將所述第二管道分支中的氣體引入至所述尾氣管道分支中，進(jìn)行尾氣處理；以及，

當(dāng)所述氣體供應(yīng)裝置輸送第二氣體時，所述第五閥件關(guān)閉，以阻隔所述第二氣體進(jìn)入到所述尾氣處理部中。