[實(shí)用新型]半導(dǎo)體設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821184808.X
• 申請(qǐng)日: 2018-07-25
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN208478303U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-02-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 武學(xué)偉;董博宇;郭冰亮;李麗;徐寶崗;劉玉杰;武樹(shù)波;楊依龍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67
• 代理公司: 北京思創(chuàng)畢升專利事務(wù)所 11218
• 代理人: 孫向民;廉莉莉

1.一種半導(dǎo)體設(shè)備，包括腔室和真空泵，其特征在于，還包括柔性密封管和真空泵支架，其中，

所述柔性密封管連接在所述腔室的出口和所述真空泵的入口之間，以減小所述真空泵傳遞給所述腔室的震動(dòng)；

所述真空泵支架用于支撐所述真空泵。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體設(shè)備，其特征在于，所述真空泵支架包括底座、設(shè)置在所述底座上的第一卡具組和第二卡具組；

所述第一卡具組用于在豎直方向上對(duì)所述真空泵限位，所述第二卡具組用于在水平方向上對(duì)所述真空泵限位。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體設(shè)備，其特征在于，所述柔性密封管為波紋管。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體設(shè)備，其特征在于，還包括閥門和法蘭，其中，

所述法蘭連接在所述真空泵的入口一側(cè)，所述閥門的出口與所述法蘭連接；

所述柔性密封管的一端與所述閥門的入口連接，所述柔性密封管的另一端與所述腔室的出口的連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體設(shè)備，其特征在于，還包括閥門和法蘭，其中，

所述法蘭連接在所述真空泵的入口一側(cè)，所述閥門的入口連接在所述腔室的出口一側(cè)；

所述柔性密封管的一端與所述閥門的出口連接，所述柔性密封管的另一端與所述法蘭連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的半導(dǎo)體設(shè)備，其特征在于，所述第一卡具組包括第一卡具和第二卡具，所述第一卡具和所述第二卡具形成第一圓環(huán)形結(jié)構(gòu)，所述第一圓環(huán)形結(jié)構(gòu)套設(shè)在所述法蘭的外周，且將所述法蘭抱緊；

所述第二卡具組包括第三卡具和第四卡具，所述第三卡具和所述第四卡具形成第二圓環(huán)形結(jié)構(gòu)，所述第二圓環(huán)形結(jié)構(gòu)套設(shè)在所述真空泵的泵體上，且將所述泵體抱緊。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體設(shè)備，其特征在于，所述第一卡具和所述第二卡具通過(guò)螺栓緊固在一起，所述第三卡具和所述第四卡具通過(guò)螺栓緊固在一起。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體設(shè)備，其特征在于，所述底座由多個(gè)地腳支撐，每個(gè)所述地腳均由固定件固定。

9.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的半導(dǎo)體設(shè)備，其特征在于，所述柔性密封管的內(nèi)徑不小于所述法蘭的內(nèi)徑。

10.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的半導(dǎo)體設(shè)備，其特征在于，所述柔性密封管的長(zhǎng)度為100mm～150mm。