[實用新型]一種預包封框架結構有效
| 申請號: | 201821179620.6 | 申請日: | 2018-07-24 |
| 公開(公告)號: | CN208655624U | 公開(公告)日: | 2019-03-26 |
| 發明(設計)人: | 張凱;周佳偉;任姣;陸曉燕;王津;林昀濤 | 申請(專利權)人: | 江陰芯智聯電子科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L23/495 | 分類號: | H01L23/495;H01L21/48 |
| 代理公司: | 北京中濟緯天專利代理有限公司 11429 | 代理人: | 趙海波;孫燕波 |
| 地址: | 214400 江蘇省*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 特征層 蝕刻 載板 本實用新型 介電材料 框架結構 包封 光解 蝕刻均勻性 表面涂覆 機械方式 生產效率 產品卡 后表面 外包覆 剝除 生產成本 空洞 破裂 報廢 玻璃 覆蓋 | ||
【權利要求書】:
1.一種預包封框架結構,其特征在于:它包括第一特征層(1)和第二特征層(2),所述第一特征層(1)和第二特征層(2)外包覆有介電材料(3),所述第二特征層(2)和介電材料(3)表面涂覆有一層光解膠(4),所述光解膠(4)上覆蓋有一層玻璃(5)。
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