[實(shí)用新型]一種用于步進(jìn)器曝光系統(tǒng)的自動(dòng)對焦部

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821174903.1
• 申請日: 2018-07-24
• 公開（公告）號: CN208834096U
• 公開（公告）日: 2019-05-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周杰;張琪
• 申請（專利權(quán)）人: 安徽睿芯半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 杭州君度專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 33240
• 代理人: 王桂名

本實(shí)用新型涉及一種用于步進(jìn)器曝光系統(tǒng)的自動(dòng)對焦部，包括晶片裝載臺、第一馬達(dá)、第二馬達(dá)、裝載臺中繼基板、自動(dòng)對焦中繼基板、系統(tǒng)測試單元和LED水銀燈，晶片裝載臺頂部固定連接有與晶片裝載臺相適配的對焦面，晶片裝載臺底部通過裝載臺中繼基板雙向連接有系統(tǒng)測試單元，系統(tǒng)測試單元一側(cè)雙向連接有自動(dòng)對焦中繼基板，自動(dòng)對焦中繼基板頂部通過自動(dòng)對焦傳感器連接有受光器，受光器底端兩側(cè)分別連接有第二馬達(dá)和校正器，LED水銀燈底部發(fā)射出的光線貫穿送光器并延伸至送光側(cè)上，送光側(cè)上的光線通過折返像鏡發(fā)射到對物鏡頭內(nèi)，振動(dòng)子和LED水銀燈之間設(shè)有縮小投影鏡頭。有益效果：有效的提高對準(zhǔn)焦點(diǎn)和水準(zhǔn)測量精度，使用性強(qiáng)。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及自動(dòng)對焦設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種用于步進(jìn)器曝光系統(tǒng)的自動(dòng)對焦部。

背景技術(shù)

步進(jìn)器曝光系統(tǒng)在露光過程中，為了保證硅片能夠始終在透鏡的最佳對焦位置進(jìn)行露光所需要采用焦點(diǎn)自動(dòng)對準(zhǔn)系統(tǒng)，對焦系統(tǒng)中含有獨(dú)立的光路，光路不經(jīng)過透鏡，自動(dòng)對焦系統(tǒng)探測到的是硅片表面的高度，通過晶片裝載臺的上下移動(dòng)，以此來尋找到焦點(diǎn)的位置，然而現(xiàn)有的步進(jìn)器曝光系統(tǒng)自動(dòng)對焦部在進(jìn)行對準(zhǔn)時(shí)不能夠與光束進(jìn)行很好的校正與信號處理，也沒有較好的投影設(shè)備來輔助尋找最佳焦點(diǎn)位置，不利于焦點(diǎn)和水準(zhǔn)測量精度，降低了使用性。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型目的是提供一種用于步進(jìn)器曝光系統(tǒng)的自動(dòng)對焦部，提供一種對焦精度高和使用方便的自動(dòng)對焦部。

為了實(shí)現(xiàn)以上目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案為：一種用于步進(jìn)器曝光系統(tǒng)的自動(dòng)對焦部，包括晶片裝載臺、第一馬達(dá)、第二馬達(dá)、裝載臺中繼基板、自動(dòng)對焦中繼基板、系統(tǒng)測試單元和LED水銀燈，所述晶片裝載臺頂部固定連接有與晶片裝載臺相適配的對焦面，所述晶片裝載臺底部通過所述裝載臺中繼基板雙向連接有所述系統(tǒng)測試單元，所述系統(tǒng)測試單元一側(cè)雙向連接有所述自動(dòng)對焦中繼基板，所述自動(dòng)對焦中繼基板頂部通過自動(dòng)對焦傳感器連接有受光器，所述受光器底端兩側(cè)分別連接有所述第二馬達(dá)和校正器，所述LED水銀燈底部發(fā)射出的光線貫穿送光器并延伸至送光側(cè)上，所述送光側(cè)上的光線通過折返像鏡發(fā)射到對物鏡頭內(nèi)，所述對物鏡頭上的光線穿射至所述對焦面上，所述對焦面發(fā)射出的光線穿過受光側(cè)連接有所述折返像鏡，所述折返像鏡上方設(shè)有與所述受光器相連接的振動(dòng)子，所述振動(dòng)子和所述LED水銀燈之間設(shè)有位于所述晶片裝載臺上方的縮小投影鏡頭。

進(jìn)一步的，所述第一馬達(dá)一側(cè)通過伸縮桿連接有所述晶片裝載臺。

進(jìn)一步的，所述受光器和所述送光器中心處均設(shè)有貫穿其厚度的開口槽。

進(jìn)一步的，所述縮小投影鏡頭外部靠近所述晶片裝載臺上連接有罩體。

進(jìn)一步的，所述對焦面和所述晶片裝載臺頂部的平面度保持一致。

進(jìn)一步的，所述自動(dòng)對焦傳感器型號為45點(diǎn)雙十字自動(dòng)對焦感應(yīng)器。

本實(shí)用新型的技術(shù)效果在于：晶片裝載臺上裝載臺中繼基板連接的自動(dòng)對焦中繼基板，可以在第一馬達(dá)和第二馬達(dá)的雙向作用下，對晶片裝載臺進(jìn)行上下前后的移動(dòng)，LED水銀燈發(fā)射的光線從送光器經(jīng)過折返鏡頭上，從而發(fā)射到對焦面上，對焦面上的焦點(diǎn)精度位置同時(shí)也會在縮小投影鏡頭上反應(yīng)出來，發(fā)射過后的的光線通過振動(dòng)子發(fā)射到受光器上，自動(dòng)對焦傳感器感應(yīng)的信息傳輸至系統(tǒng)測試單元上，從而根據(jù)焦點(diǎn)位置讓晶片裝載臺進(jìn)行移動(dòng)調(diào)節(jié)，配合晶片裝載臺上的水準(zhǔn)測量，調(diào)節(jié)到最佳聚焦精度，這樣的步進(jìn)器曝光系統(tǒng)自動(dòng)對焦部大大提高了使用性能，焦點(diǎn)和水準(zhǔn)測量精度高，實(shí)用性強(qiáng)。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型用于步進(jìn)器曝光系統(tǒng)自動(dòng)對焦部的結(jié)構(gòu)示意圖。