[實用新型]一種用于步進器曝光系統的自動對焦部有效
| 申請號： | 201821174903.1 | 申請日： | 2018-07-24 |
| 公開（公告）號： | CN208834096U | 公開（公告）日： | 2019-05-07 |
| 發明（設計）人： | 周杰;張琪 | 申請（專利權）人： | 安徽睿芯半導體科技有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 杭州君度專利代理事務所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人： | 王桂名 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市經開區*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 中繼基板 自動對焦 晶片裝載 系統測試 水銀燈 馬達 曝光系統 雙向連接 步進器 受光器 裝載臺 自動對焦傳感器 本實用新型 光線通過 水準測量 投影鏡頭 發射 使用性 物鏡頭 校正器 振動子 折返 底端 對焦 適配 像鏡 對準 貫穿 焦點 延伸 | ||
1.一種用于步進器曝光系統的自動對焦部，其特征在于，包括晶片裝載臺(1)、第一馬達(2)、第二馬達(3)、裝載臺中繼基板(4)、自動對焦中繼基板(5)、系統測試單元(6)和LED水銀燈(7)，所述晶片裝載臺(1)頂部固定連接有與晶片裝載臺(1)相適配的對焦面(8)，所述晶片裝載臺(1)底部通過所述裝載臺中繼基板(4)雙向連接有所述系統測試單元(6)，所述系統測試單元(6)一側雙向連接有所述自動對焦中繼基板(5)，所述自動對焦中繼基板(5)頂部通過自動對焦傳感器(9)連接有受光器(10)，所述受光器(10)底端兩側分別連接有所述第二馬達(3)和校正器(11)，所述LED水銀燈(7)底部發射出的光線貫穿送光器(12)并延伸至送光側(13)上，所述送光側(13)上的光線通過折返像鏡(14)發射到對物鏡頭(15)內，所述對物鏡頭(15)上的光線穿射至所述對焦面(8)上，所述對焦面(8)發射出的光線穿過受光側(16)連接有所述折返像鏡(14)，所述折返像鏡(14)上方設有與所述受光器(10)相連接的振動子(17)，所述振動子(17)和所述LED水銀燈(7)之間設有位于所述晶片裝載臺(1)上方的縮小投影鏡頭(18)。
2.根據權利要求1所述的一種用于步進器曝光系統的自動對焦部，其特征在于，所述第一馬達(2)一側通過伸縮桿(19)連接有所述晶片裝載臺(1)。
3.根據權利要求1所述的一種用于步進器曝光系統的自動對焦部，其特征在于，所述受光器(10)和所述送光器(12)中心處均設有貫穿其厚度的開口槽(20)。
4.根據權利要求1所述的一種用于步進器曝光系統的自動對焦部，其特征在于，所述縮小投影鏡頭(18)外部靠近所述晶片裝載臺(1)上連接有罩體(21)。
5.根據權利要求1所述的一種用于步進器曝光系統的自動對焦部，其特征在于，所述對焦面(8)和所述晶片裝載臺(1)頂部的平面度保持一致。
6.根據權利要求1所述的一種用于步進器曝光系統的自動對焦部，其特征在于，所述自動對焦傳感器(9)型號為45點雙十字自動對焦感應器。
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