[實用新型]一種基于步進器的掩模裝載機

有效

• 申請號: 201821174479.0
• 申請日: 2018-07-24
• 公開（公告）號: CN208654545U
• 公開（公告）日: 2019-03-26
• 發明（設計）人: 周杰;張琪
• 申請（專利權）人: 安徽睿芯半導體科技有限公司
• 主分類號: G03F9/00
• 分類號: G03F9/00
• 代理公司: 杭州君度專利代理事務所(特殊普通合伙) 33240
• 代理人: 王桂名

本實用新型涉及一種基于步進器的掩模裝載機，包括掩膜板、傳送皮帶、傳送導軌、第一單位指南、第二單位指南、裝載機滑板和十字線叉，掩膜板頂部固定連接有異物檢測裝置，異物檢測裝置頂部通過掩膜臺連接有十字線叉，十字線叉一端分別同時連接有第一單位指南、第二單位指南和裝載機滑板，裝載機滑板一端設置有與裝載機滑板相適配的無載滑塊，第一單位指南一側遠離裝載機滑板一端連接有露光位置，露光位置上通過傳送導軌連接有與露光位置相適配的傳送皮帶，掩膜臺和十字線叉之間設置有位于掩膜板上方的指導標記處。有益效果：本實用新型能夠對掩膜板預對準精度和輔助坐標進行有效確認。

技術領域

本實用新型涉及掩模裝載機技術領域，具體涉及一種基于步進器的掩模裝載機。

背景技術

步進器是通過切換步進觸點的方式將輸入脈沖數轉換成步進信號的器件。一般用電磁線圈通電驅動步進觸點和電磁線圈斷電驅動步進觸點兩種。多用于輸入脈沖的計數、插孔操縱臺轉換回路、時序控制回路和多點巡回檢測切換回路。

步進器內的掩模裝載機是由搬運叉從掩膜板盒里把掩膜板取出，然后搬送到掩膜板預對準部，掩膜板預對準校正完成后再通過裝載機滑板把掩膜板搬送到裝載臺上，掩膜板購買價格昂貴并且容易破碎，因此掩膜板預對部指導的開閉速度調整一定要校正，此處調整不當極易出現掉板，校正精度低，降低了使用性。

實用新型內容

本實用新型目的是提供一種基于步進器的掩模裝載機，提供一種對準精度高和不易出現掉板的步進器掩模裝載機。

為了實現以上目的，本實用新型采用的技術方案為：一種基于步進器的掩模裝載機，包括掩膜板、傳送皮帶、傳送導軌、第一單位指南、第二單位指南、裝載機滑板和十字線叉，所述掩膜板頂部固定連接有異物檢測裝置，所述異物檢測裝置頂部通過掩膜臺連接有所述十字線叉，所述十字線叉一端分別同時連接有所述第一單位指南、所述第二單位指南和所述裝載機滑板，所述裝載機滑板一端設置有與所述裝載機滑板相適配的無載滑塊，所述第一單位指南一側遠離所述裝載機滑板一端連接有露光位置，所述露光位置上通過所述傳送導軌連接有與所述露光位置相適配的所述傳送皮帶，所述掩膜臺和所述十字線叉之間設置有位于所述掩膜板上方的指導標記處。

進一步的，所述掩膜板外部增設有護罩膜。

進一步的，所述傳送導軌一端設置有所述傳送皮帶相連接的待機位置。

進一步的，所述第二單位指南上安裝有與所述指導標記處的對準部。

進一步的，所述傳送皮帶一端連接有位于所述異物檢測裝置內的氣管或是真空管。

本實用新型的技術效果在于：通過掩膜板上設置異物檢測裝置，配合第一單位指南連接有露光位置和第二單位指南上的對準部，可以有效掩膜板上板與掩膜臺的對準精度，而十字線叉上傳送皮帶更換、傳送導軌的清掃上油、傳送馬達的保養和更換有利于對掩模裝載機的更新，同時讓掩膜板搬送到掩膜臺上后減小兩者間的距離，使得掩膜板對準時及時尋找到指導標記處，這樣的步進器掩模裝載機大大提高了使用性能，對準精度高，能夠及時尋找確認到輔助坐標。

附圖說明

圖1為本實用新型步進器掩模裝載機結構示意圖。

附圖標記：1-掩膜板；2-傳送皮帶；3-傳送導軌；4-第一單位指南；5-第二單位指南；6-裝載機滑板；7-十字線叉；8-異物檢測裝置；9-掩膜臺；10-無載滑塊；11-露光位置；12-指導標記處；13-護罩膜；14-待機位置。

具體實施方式