[實(shí)用新型]一種基于步進(jìn)器的掩模裝載機(jī)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201821174479.0 | 申請日： | 2018-07-24 |
| 公開（公告）號： | CN208654545U | 公開（公告）日： | 2019-03-26 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 周杰;張琪 | 申請（專利權(quán)）人： | 安徽睿芯半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 主分類號： | G03F9/00 | 分類號： | G03F9/00 |
| 代理公司： | 杭州君度專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人： | 王桂名 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市經(jīng)開區(qū)*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 裝載機(jī) 滑板 十字線 掩膜板 指南 異物檢測裝置 本實(shí)用新型 傳送導(dǎo)軌 傳送皮帶 步進(jìn)器 掩膜臺(tái) 適配 掩模 輔助坐標(biāo) 一端連接 一端設(shè)置 標(biāo)記處 預(yù)對準(zhǔn) 滑塊 無載 | ||
1.一種基于步進(jìn)器的掩模裝載機(jī)，其特征在于，包括掩膜板(1)、傳送皮帶(2)、傳送導(dǎo)軌(3)、第一單位指南(4)、第二單位指南(5)、裝載機(jī)滑板(6)和十字線叉(7)，所述掩膜板(1)頂部固定連接有異物檢測裝置(8)，所述異物檢測裝置(8)頂部通過掩膜臺(tái)(9)連接有所述十字線叉(7)，所述十字線叉(7)一端分別同時(shí)連接有所述第一單位指南(4)、所述第二單位指南(5)和所述裝載機(jī)滑板(6)，所述裝載機(jī)滑板(6)一端設(shè)置有與所述裝載機(jī)滑板(6)相適配的無載滑塊(10)，所述第一單位指南(4)一側(cè)遠(yuǎn)離所述裝載機(jī)滑板(6)一端連接有露光位置(11)，所述露光位置(11)上通過所述傳送導(dǎo)軌(3)連接有與所述露光位置(11)相適配的所述傳送皮帶(2)，所述掩膜臺(tái)(9)和所述十字線叉(7)之間設(shè)置有位于所述掩膜板(1)上方的指導(dǎo)標(biāo)記處(12)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于步進(jìn)器的掩模裝載機(jī)，其特征在于，所述掩膜板(1)外部增設(shè)有護(hù)罩膜(13)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于步進(jìn)器的掩模裝載機(jī)，其特征在于，所述傳送導(dǎo)軌(3)一端設(shè)置有所述傳送皮帶(2)相連接的待機(jī)位置(14)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于步進(jìn)器的掩模裝載機(jī)，其特征在于，所述第二單位指南(5)上安裝有與所述指導(dǎo)標(biāo)記處(12)的對準(zhǔn)部。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于步進(jìn)器的掩模裝載機(jī)，其特征在于，所述傳送皮帶(2)一端連接有位于所述異物檢測裝置(8)內(nèi)的氣管或是真空管。
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