[實(shí)用新型]電池片測試裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201821173403.6 | 申請(qǐng)日: | 2018-07-23 |
| 公開(公告)號(hào): | CN208478302U | 公開(公告)日: | 2019-02-05 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 楊冰;劉恩華;費(fèi)正洪 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 鹽城阿特斯協(xié)鑫陽光電力科技有限公司;阿特斯陽光電力集團(tuán)有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/67 | 分類號(hào): | H01L21/67;H01L21/683 |
| 代理公司: | 蘇州攜智匯佳專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32278 | 代理人: | 尹麗 |
| 地址: | 224431 江蘇省*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 導(dǎo)電玻璃 測試臺(tái) 電池片測試裝置 臺(tái)面 鍍金 本實(shí)用新型 測試準(zhǔn)確度 真空吸附孔 導(dǎo)電性 待測樣品 光譜響應(yīng) 內(nèi)部中空 雙面電池 探針裝置 真空吸附 電池片 反射率 光響應(yīng) 支撐 反射 生產(chǎn)成本 背面 測試 吸收 | ||
1.一種電池片測試裝置,包括測試臺(tái)、探針裝置以及與所述測試臺(tái)連接的真空吸附管;其特征在于:所述測試臺(tái)包括內(nèi)部中空的支撐部和設(shè)于所述支撐部上用于放置待測樣品的導(dǎo)電玻璃;所述導(dǎo)電玻璃上設(shè)有若干真空吸附孔。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電池片測試裝置,其特征在于:所述導(dǎo)電玻璃呈棱臺(tái)結(jié)構(gòu)設(shè)置;所述支撐部上設(shè)有與所述導(dǎo)電玻璃的形狀相對(duì)應(yīng)的收容腔,以使所述導(dǎo)電玻璃嵌入所述收容腔。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電池片測試裝置,其特征在于:所述支撐部的上表面設(shè)有用于限定所述待測樣品位置的定位條。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電池片測試裝置,其特征在于:所述探針裝置包括可調(diào)節(jié)高度的探針支架和設(shè)置于所述探針支架上的探針。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電池片測試裝置,其特征在于:所述導(dǎo)電玻璃為通過磁控濺射方法在透明玻璃基體表面制備氧化銦錫薄膜得到的ITO透明導(dǎo)電玻璃。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電池片測試裝置,其特征在于:所述棱臺(tái)結(jié)構(gòu)為方棱臺(tái),其上表面的邊長大于下表面的邊長。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電池片測試裝置,其特征在于:所述若干真空吸附孔均勻分布于所述導(dǎo)電玻璃上。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的電池片測試裝置,其特征在于:所述若干真空吸附孔呈圓環(huán)狀排布。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電池片測試裝置,其特征在于:所述支撐部的材質(zhì)為黑色塑料。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





