[實用新型]一種連續(xù)測量薄膜厚度的裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201821172409.1 | 申請日： | 2018-07-23 |
| 公開（公告）號： | CN208620983U | 公開（公告）日： | 2019-03-19 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 程躍;胡園園;鮑晉珍;方宏晨;鄭春良 | 申請（專利權(quán)）人： | 上海恩捷新材料科技股份有限公司 |
| 主分類號： | G01B7/06 | 分類號： | G01B7/06 |
| 代理公司： | 上海光華專利事務(wù)所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明偉 |
| 地址： | 201399 上*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 薄膜 從動輥 主動輥 平板電容器 活動極板 本實用新型 電容信號 連續(xù)測量 轉(zhuǎn)化裝置 電容 底板 固定極板 平行設(shè)置 施加壓力 在線測試 中控系統(tǒng) 連接件 對輥 測量 穿過 測試 檢測 支撐 保證 | ||
1.一種連續(xù)測量薄膜厚度的裝置，其特征在于，所述裝置至少包括：
對輥，包括主動輥和從動輥，所述主動輥固定在底板上，所述從動輥設(shè)置在所述主動輥上，待測薄膜穿過所述主動輥和所述從動輥之間，通過所述主動輥和所述從動輥對所述待測薄膜施加壓力；
平板電容器，至少包括固定極板和活動極板，所述固定極板和所述活動極板平行設(shè)置，所述活動極板通過連接件支撐在所述從動輥上；
中控系統(tǒng)，至少包括電容信號轉(zhuǎn)化裝置，所述電容信號轉(zhuǎn)化裝置與所述平板電容器相連；
當(dāng)所述待測薄膜的厚度發(fā)生變化時，所述從動輥沿所述待測薄膜的厚度方向發(fā)生位移，進而引起所述活動極板發(fā)生位移，從而使所述平板電容器的電容發(fā)生變化，所述電容的變化由所述電容信號轉(zhuǎn)化裝置檢測出來，實現(xiàn)對所述待測薄膜厚度的測量。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的連續(xù)測量薄膜厚度的裝置，其特征在于：所述主動輥利用不銹鋼架固定于所述底板上，并且所述主動輥與驅(qū)動電機相連。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的連續(xù)測量薄膜厚度的裝置，其特征在于：所述電容信號轉(zhuǎn)化裝置包括以所述平板電容器作為反饋元件的振蕩電路，利用所述振蕩電路將所述電容的變化轉(zhuǎn)換為輸出振蕩頻率的變化，實現(xiàn)對薄膜厚度的測量。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的連續(xù)測量薄膜厚度的裝置，其特征在于：所述中控系統(tǒng)還包括報警裝置，所述報警裝置與所述電容信號轉(zhuǎn)化裝置相連，所述電容的變化由所述電容信號轉(zhuǎn)化裝置檢測出來后引發(fā)所述報警裝置報警。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的連續(xù)測量薄膜厚度的裝置，其特征在于：所述主動輥和所述從動輥的材質(zhì)包括304不銹鋼。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的連續(xù)測量薄膜厚度的裝置，其特征在于：所述連接件包括片彈簧及螺旋狀壓縮彈簧中的一種。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的連續(xù)測量薄膜厚度的裝置，其特征在于：所述固定極板和所述活動極板的材質(zhì)包括鋁板。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的連續(xù)測量薄膜厚度的裝置，其特征在于：所述待測薄膜包括間斷或連續(xù)傳輸?shù)匿X塑膜或電池隔離膜。
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