[實用新型]一種連續測量薄膜厚度的裝置

有效

• 申請號: 201821172409.1
• 申請日: 2018-07-23
• 公開（公告）號: CN208620983U
• 公開（公告）日: 2019-03-19
• 發明（設計）人: 程躍;胡園園;鮑晉珍;方宏晨;鄭春良
• 申請（專利權）人: 上海恩捷新材料科技股份有限公司
• 主分類號: G01B7/06
• 分類號: G01B7/06
• 代理公司: 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219
• 代理人: 余明偉

本實用新型提供一種連續測量薄膜厚度的裝置，所述裝置至少包括：對輥，包括主動輥和從動輥，主動輥固定在底板上，從動輥設置在主動輥上，待測薄膜穿過主動輥和從動輥之間并通過主動輥和從動輥對其施加壓力；平板電容器，包括平行設置的固定極板和活動極板，活動極板通過連接件支撐在從動輥上；中控系統，至少包括與平板電容器相連的電容信號轉化裝置；當待測薄膜的厚度發生變化時，從動輥沿所述待測薄膜的厚度方向發生位移，進而引起活動極板發生位移，從而使平板電容器的電容發生變化，電容的變化由電容信號轉化裝置檢測出來，實現對所述待測薄膜厚度的測量。本實用新型的裝置能夠在保證測試精度的同時，降低連續在線測試薄膜厚度的成本。

技術領域

本實用新型涉及多孔薄膜厚度的測試設備領域，特別是涉及一種連續測量薄膜厚度的裝置。

背景技術

薄膜產品，特別的在鋰離子電池領域，各類原材料，包括隔離膜和鋁塑膜等的厚度一致性也對對電池一致性和電化學性能等有重要影響。有必要對相關原材料薄膜產品的一致性均一性等特性進行連續在線測試。

薄膜的在線連續厚度測量，在薄膜產品的生產、品質、檢測等流程中起著重要的作用。目前，在對薄膜進行厚度測量時，通常是檢測人員利用千分尺或數顯尺等工具對待測試樣品進行測量。然而，由于檢測人員的測量個性差異情況，其測量準確度不高，而且檢測頻率不高，檢驗時間不能完全固定，很多都是產品下線后取樣測量，測試時間相對滯后，不能及時發現不良產品。當線下檢測發現不良現象時，已經有批量不良產品生成，產品不得不做降品或者報廢處理，造成良品率的大幅降低和原材料浪費。因而，需要一種能夠實現在線連續檢測薄膜厚度的裝置，來即時反饋薄膜厚度的變化，及時處理產品異常，提高良品率。

目前，對薄膜產品厚度測試方法主要分為接觸式和非接觸式等方法。如公開號為CN 107655415A和CN 207291027 U等的專利，該系列方法均為非接觸式測量方法，但是需要使用拉曼光譜儀和激光發射儀等精密儀器裝置，價格較為昂貴。公開號CN 101790672 B也公布了一種用于非接觸型電容式厚度測量的方法，該方法利用電容的變化反饋隔膜厚度的變化，但是在薄膜表面出現褶皺現象的時候，電容亦會發生變化，不能很好的從判定電容的變化是由于薄膜褶皺還是厚度變化引起的。

實用新型內容

鑒于以上所述現有技術的缺點，本實用新型的目的在于提供一種連續測量薄膜厚度的裝置，用于解決現有技術中薄膜厚度測量精度低、測量成本高的問題。

為實現上述目的及其他相關目的，本實用新型提供一種連續測量薄膜厚度的裝置，所述裝置至少包括：

對輥，包括主動輥和從動輥，所述主動輥固定在底板上，所述從動輥設置在所述主動輥上，待測薄膜穿過所述主動輥和所述從動輥之間，并通過所述主動輥和所述從動輥對所述待測薄膜施加壓力；

平板電容器，至少包括固定極板和活動極板，所述固定極板和所述活動極板平行設置，所述活動極板通過連接件支撐在所述從動輥上；

中控系統，至少包括電容信號轉化裝置，所述電容信號轉化裝置與所述平板電容器相連；

當所述待測薄膜的厚度發生變化時，所述從動輥沿所述待測薄膜的厚度方向發生位移，進而引起所述活動極板發生位移，從而使所述平板電容器的電容發生變化，所述電容的變化由所述電容信號轉化裝置檢測出來，實現所述待測薄膜厚度的測量。

作為本實用新型連續測量薄膜厚度的裝置的一種優化的方案，所述主動輥利用不銹鋼架固定于所述底板上，并且所述主動輥與驅動電機相連。

作為本實用新型連續測量薄膜厚度的裝置的一種優化的方案，所述電容信號轉化裝置包括以所述平板電容器作為反饋元件的振蕩電路，利用所述振蕩電路將所述電容的變化轉換為輸出振蕩頻率的變化，實現對薄膜厚度的測量。