[實用新型]一種用于圓管ITO靶材的表面清理裝置

有效

• 申請號: 201821151023.2
• 申請日: 2018-07-20
• 公開（公告）號: CN208583738U
• 公開（公告）日: 2019-03-08
• 發明（設計）人: 劉洪浩
• 申請（專利權）人: 江蘇比昂電子材料有限公司
• 主分類號: B08B9/023
• 分類號: B08B9/023;B08B5/02
• 代理公司: 蘇州市指南針專利代理事務所(特殊普通合伙) 32268
• 代理人: 馮現偉

本實用新型公開了一種用于圓管ITO靶材的表面清理裝置，包括底座，所述底座上表面中心處固定有廢渣倉，所述底座上表面兩側邊緣處對稱焊接有支撐架，所述支撐架一側外表壁固定有電機，且電機通過轉軸穿過支撐架內的軸承與防脫塊傳動連接，所述防脫塊內側焊接有卡接柱，所述支撐架頂部焊接有滑桿，且滑桿表面滑動連接有夾持環，所述夾持環上表面焊接有傳動桿，所述夾持環內表面設置有墊塊，所述夾持環下表面通過連接桿與安裝板連接，所述安裝板上表面兩側對稱固定有噴氣管，所述安裝板下表面連接有毛刷。本實用新型中，該裝置整體結構設計簡單合理，操作靈活便捷，運行安全穩定，具有較強的實用性。

技術領域

本實用新型涉及ITO靶材生產加工技術領域，尤其涉及一種用于圓管ITO靶材的表面清理裝置。

背景技術

ITO靶材就是氧化銦和氧化錫粉末按一定比例混合后經過一系列的生產工藝加工成型，再高溫氣氛燒結(1600度，通氧氣燒結)形成的黑灰色陶瓷半導體，ITO靶材用于生產ITO薄膜，ITO薄膜是利用ITO靶材作為原材料，通過磁控濺射把ITO靶氣化濺渡到玻璃基板或柔性有機薄膜上形成的薄膜，ITO薄膜具有導電性和透光性，厚度一般30納米-200納米，在圓管ITO靶材的生產加工中，需要對其表面進行清理處理，以提高圓管靶材的整潔性。

然而現有的圓管ITO靶材的表面清理裝置在使用過程中存在著一些不足之處，在清理過程中容易對圓管靶材造成意外損壞現象，同時工作環境的整潔性不夠完善，降低了裝置的實用性。

實用新型內容

本實用新型的目的是為了解決現有技術中存在的缺點，而提出的一種用于圓管ITO靶材的表面清理裝置。

為了實現上述目的，本實用新型采用了如下技術方案：一種用于圓管ITO靶材的表面清理裝置，包括底座，所述底座上表面中心處固定有廢渣倉，所述底座上表面兩側邊緣處對稱焊接有支撐架，所述支撐架一側外表壁固定有電機，且電機通過轉軸穿過支撐架內的軸承與防脫塊傳動連接，所述防脫塊內側焊接有卡接柱，所述支撐架頂部焊接有滑桿，且滑桿表面滑動連接有夾持環，所述夾持環上表面焊接有傳動桿，所述夾持環內表面設置有墊塊，所述夾持環下表面通過連接桿與安裝板連接，所述安裝板上表面兩側對稱固定有噴氣管，所述安裝板下表面連接有毛刷。

作為上述技術方案的進一步描述：

所述卡接柱共安裝有兩個，且兩個卡接柱均處于同一水平面上。

作為上述技術方案的進一步描述：

所述傳動桿兩側外表面對稱焊接有導氣管。

作為上述技術方案的進一步描述：

所述噴氣管共安裝有兩個，且兩個噴氣管關于安裝板的豎直中線對稱。

作為上述技術方案的進一步描述：

所述連接桿為三段式豎直結構，其兩端為連接塊，中端為彈簧管。

本實用新型中，首先通過設置的傳動桿，能夠將外界氣動力作用在夾持環上，使得夾持環在滑桿表面左右移動，從而控制毛刷對圓管靶材表面進行清理，提高了裝置的操作靈活性，其次通過設置的連接桿，并且連接桿內設置有彈簧管，能夠對安裝板受到的擠壓力起到緩沖效果，從而避免毛刷對圓管靶材表面產生過大的擠壓力，降低了圓管靶材的使用磨損現象，最后通過設置的噴氣管，能夠在毛刷對圓管靶材表面清理之后，將毛刷表面的殘渣吹落落入廢渣倉內收集，在提高毛刷整潔度的同時，也便于裝置的長時間連續使用。

附圖說明

圖1為本實用新型提出的一種用于圓管ITO靶材的表面清理裝置的結構示意圖；

圖2為本實用新型清理機構的結構示意圖；

圖3為本實用新型夾持環的側視結構示意圖；

圖4為本實用新型卡接柱的結構示意圖。