[實(shí)用新型]一種用于圓管ITO靶材的表面清理裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201821151023.2 | 申請(qǐng)日： | 2018-07-20 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN208583738U | 公開(kāi)（公告）日： | 2019-03-08 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 劉洪浩 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 江蘇比昂電子材料有限公司 |
| 主分類號(hào)： | B08B9/023 | 分類號(hào)： | B08B9/023;B08B5/02 |
| 代理公司： | 蘇州市指南針專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 32268 | 代理人： | 馮現(xiàn)偉 |
| 地址： | 215000 江蘇省*** | 國(guó)省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 夾持環(huán) 安裝板 支撐架 焊接 表面清理裝置 本實(shí)用新型 底座上表面 防脫塊 上表面 下表面 圓管 電機(jī) 整體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì) 兩側(cè)邊緣處 支撐架頂部 安全穩(wěn)定 傳動(dòng)連接 對(duì)稱固定 對(duì)稱焊接 滑動(dòng)連接 滑桿表面 傳動(dòng)桿 卡接柱 連接桿 內(nèi)表面 噴氣管 外表壁 中心處 底座 墊塊 滑桿 毛刷 轉(zhuǎn)軸 廢渣 軸承 穿過(guò) 靈活 | ||
1.一種用于圓管ITO靶材的表面清理裝置，包括底座(4)，其特征在于，所述底座(4)上表面中心處固定有廢渣倉(cāng)(5)，所述底座(4)上表面兩側(cè)邊緣處對(duì)稱焊接有支撐架(1)，所述支撐架(1)一側(cè)外表壁固定有電機(jī)(2)，且電機(jī)(2)通過(guò)轉(zhuǎn)軸(15)穿過(guò)支撐架(1)內(nèi)的軸承(3)與防脫塊(16)傳動(dòng)連接，所述防脫塊(16)內(nèi)側(cè)焊接有卡接柱(6)，所述支撐架(1)頂部焊接有滑桿(7)，且滑桿(7)表面滑動(dòng)連接有夾持環(huán)(8)，所述夾持環(huán)(8)上表面焊接有傳動(dòng)桿(9)，所述夾持環(huán)(8)內(nèi)表面設(shè)置有墊塊(14)，所述夾持環(huán)(8)下表面通過(guò)連接桿(12)與安裝板(10)連接，所述安裝板(10)上表面兩側(cè)對(duì)稱固定有噴氣管(11)，所述安裝板(10)下表面連接有毛刷(13)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于圓管ITO靶材的表面清理裝置，其特征在于，所述卡接柱(6)共安裝有兩個(gè)，且兩個(gè)卡接柱(6)均處于同一水平面上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于圓管ITO靶材的表面清理裝置，其特征在于，所述傳動(dòng)桿(9)兩側(cè)外表面對(duì)稱焊接有導(dǎo)氣管。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于圓管ITO靶材的表面清理裝置，其特征在于，所述噴氣管(11)共安裝有兩個(gè)，且兩個(gè)噴氣管(11)關(guān)于安裝板(10)的豎直中線對(duì)稱。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于圓管ITO靶材的表面清理裝置，其特征在于，所述連接桿(12)為三段式豎直結(jié)構(gòu)，其兩端為連接塊，中端為彈簧管。
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