[實用新型]一種利于冷卻的旋轉靶靶管

有效

• 申請號: 201821147027.3
• 申請日: 2018-07-19
• 公開（公告）號: CN208791743U
• 公開（公告）日: 2019-04-26
• 發明（設計）人: 王正安
• 申請（專利權）人: 北京鉑陽頂榮光伏科技有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/32
• 代理公司: 北京風雅頌專利代理有限公司 11403
• 代理人: 鮑勝如

本實用新型公開了一種利于冷卻的旋轉靶靶管，包括：靶材背管(2)及與靶材背管同軸設置的冷卻液出口通道(5)；靶材背管(2)內壁與冷卻液出口通道(5)外壁組成的空間為冷卻液進口通道(4)；冷卻液出口通道(5)一側通過支架(7)設置有磁棒(8)；冷卻液進口通道(4)的內壁設置有用于增強冷卻液擾動的凸起結構。本實用新型提供的利于冷卻的旋轉靶靶管增強了冷卻過程中冷卻液的擾動，使得冷卻過程中溫度分布更均勻，同時，提高了冷卻液的利用率，節約了能量。

技術領域

本實用新型涉及磁控濺射領域，特別是指一種利于冷卻的旋轉靶靶管。

背景技術

鍍膜靶材是通過磁控濺射、多弧離子鍍或其他類型的鍍膜系統在適當工藝條件下濺射在基板上形成各種功能薄膜的濺射源。簡單地說，靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同輸出波形、不同波長的激光與不同的靶材相互作用時，會產生不同的殺傷破壞效應，例如:蒸發磁控濺射鍍膜是加熱蒸發鍍膜、鋁膜等。更換不同的靶材(如鋁、銅、不銹鋼、鈦、鎳靶等)，即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。

在濺射靶材生產過程中會發出大量的熱量，如果不及時進行冷卻，容易造成局部燒焦或呈現晶粒化現象；現有技術多采用靶管冷卻的方式，靶管內壁光滑，在冷卻液流動時對冷卻液擾動有限，靶管內部徑向傳熱效率低，冷卻液沒有很好的發揮冷卻作用，冷量利用效率低，能量損失大。

實用新型內容

有鑒于此，本實用新型的目的在于提出一種利于冷卻的旋轉靶靶管，主要目的是解決磁控濺射領域內靶材冷卻時冷卻效率低，冷量損失大的技術問題。

基于上述目的本實用新型提供的一種利于冷卻的旋轉靶靶管，包括：靶材背管及與所述靶材背管同軸設置的冷卻液出口通道；所述靶材背管內壁與所述冷卻液出口通道外壁組成的空間為冷卻液進口通道；所述冷卻液出口通道外壁一側通過支架設置有磁棒；其特征在于，所述冷卻液進口通道的內壁設置有用于增強冷卻液擾動的凸起結構。

較優地，所述凸起結構為設置在所述冷卻液進口通道內壁的螺紋凸起。

可選地，所述凸起結構為設置在所述冷卻液進口通道內壁的若干凸起棱；若干所述凸起棱沿所述冷卻液進口通道內壁軸向延伸，且若干所述凸起棱在所述冷卻液進口通道內壁周向均勻分布。

可選地，所述凸起結構橫截面為圓形、矩形或三角形。

較優地，所述冷卻液進口通道沿所述靶材背管軸向設置有多個彎曲的隔板。

較優地，所述彎曲的隔板表面上設置有點狀凸起。

可選地，所述冷卻液出口通由金屬空腔形成，所述金屬空腔橫截面為圓形、矩形或三角形。

進一步，所述靶材背管上通過綁定材料綁定有靶材，所述綁定材料為金屬材料。

較優地，所述綁定材料為銦。

進一步，所述旋轉靶靶管還包括驅動裝置，所述旋轉靶靶管能夠在所述驅動裝置的驅動下進行旋轉。

較優地，所述冷卻液進口通道內壁還設置有柔性頁片，所述柔性頁片用于增加冷卻液的流動阻力。

從上面所述可以看出，本實用新型提供的一種利于冷卻的旋轉靶靶管，通過在冷卻液進口通道內壁增加凸起結構，增強了冷卻過程中冷卻液的擾動，使得冷卻過程中溫度分布更均勻，同時，提高了冷卻液的利用率，節約了能量。

附圖說明

圖1為本實用新型實施例一種利于冷卻的旋轉靶靶管的截面示意圖；

圖2為本實用新型實施例冷卻液進口通道內壁的展開示意圖；

圖3為本實用新型另一個實施例冷卻液進口通道內壁的展開示意圖；