[實用新型]一種利于冷卻的旋轉靶靶管

有效

• 申請號: 201821147027.3
• 申請日: 2018-07-19
• 公開（公告）號: CN208791743U
• 公開（公告）日: 2019-04-26
• 發明（設計）人: 王正安
• 申請（專利權）人: 北京鉑陽頂榮光伏科技有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/32
• 代理公司: 北京風雅頌專利代理有限公司 11403
• 代理人: 鮑勝如

1.一種利于冷卻的旋轉靶靶管，其特征在于，包括：靶材背管(2)及與所述靶材背管同軸設置的冷卻液出口通道(5)；所述靶材背管(2)內壁與所述冷卻液出口通道(5)外壁組成的空間為冷卻液進口通道(4)；所述冷卻液出口通道(5)外壁一側通過支架(7)設置有磁棒(8)；所述冷卻液進口通道(4)的內壁設置有用于增強冷卻液擾動的凸起結構。

2.根據權利要求1所述的一種利于冷卻的旋轉靶靶管，其特征在于，所述凸起結構為設置在所述冷卻液進口通道(4)內壁的螺紋凸起(11)。

3.根據權利要求1所述的一種利于冷卻的旋轉靶靶管，其特征在于，所述凸起結構為設置在所述冷卻液進口通道(4)內壁的若干凸起棱(12)；若干所述凸起棱(12)沿所述冷卻液進口通道(4)內壁軸向延伸，且若干所述凸起棱(12)在所述冷卻液進口通道(4)內壁周向均勻分布。

4.根據權利要求2或3所述的一種利于冷卻的旋轉靶靶管，其特征在于，所述凸起結構橫截面為圓形、矩形或三角形。

5.根據權利要求1所述的一種利于冷卻的旋轉靶靶管，其特征在于，所述冷卻液進口通道(4)沿所述靶材背管(2)軸向設置有多個彎曲隔板(9)。

6.根據權利要求5所述的一種利于冷卻的旋轉靶靶管，其特征在于，所述彎曲隔板(9)的表面設置有多個點狀凸起。

7.根據權利要求1所述的一種利于冷卻的旋轉靶靶管，其特征在于，所述冷卻液出口通道(5)的橫截面為圓形、矩形或三角形。

8.根據權利要求1所述的一種利于冷卻的旋轉靶靶管，其特征在于，所述靶材背管(2)通綁定材料(3)綁定有靶材，所述綁定材料(3)為金屬材料，所述綁定材料(3)為銦。

9.根據權利要求1所述的一種利于冷卻的旋轉靶靶管，其特征在于，所述旋轉靶靶管還包括驅動裝置，所述旋轉靶靶管能夠在所述驅動裝置的驅動下旋轉。

10.根據權利要求1所述的一種利于冷卻的旋轉靶靶管，其特征在于，所述冷卻液進口通道(4)內壁還設置有柔性頁片(10)，所述柔性頁片(10)用于增加冷卻液的流動阻力。