[實用新型]晶圓光阻及金屬剝離工藝金屬回收和分類排廢裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201821144243.2 | 申請日： | 2018-07-19 |
| 公開（公告）號： | CN208562482U | 公開（公告）日： | 2019-03-01 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 孫俊主;劉遲 | 申請（專利權(quán)）人： | 沈陽芯源微電子設(shè)備有限公司 |
| 主分類號： | C22B7/00 | 分類號： | C22B7/00 |
| 代理公司： | 沈陽科苑專利商標(biāo)代理有限公司 21002 | 代理人： | 何麗英 |
| 地址： | 110168 遼*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 分類 二級過濾裝置 一級過濾裝置 排放裝置 廢液 回收 本實用新型 工藝金屬 金屬剝離 排放管路 排廢管路 排廢裝置 金屬 排放 金屬回收裝置 單元腔體 腔體底板 單元腔 分管路 分級 晶圓 細屑 種晶 回收率 體內(nèi) 外部 制造 | ||
本實用新型屬于晶圓制造技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種晶圓光阻及金屬剝離工藝金屬回收和分類排廢裝置。包括一級過濾裝置、二級過濾裝置及分類排放裝置，其中一級過濾裝置設(shè)置于單元腔體內(nèi)、且安裝在腔體底板上，二級過濾裝置設(shè)置于單元腔體的外部、且通過第一排放管路與一級過濾裝置連接，分類排放裝置通過第二排放管路與二級過濾裝置連接，實現(xiàn)多種不同性質(zhì)廢液使用不同的排廢管路進行分類排放。本實用新型將金屬細屑按顆粒等級進行分級回收，大幅提高金屬的回收率，分類排放裝置可分管路排放不同種類的廢液，實現(xiàn)一套排廢管路排放多種廢液，進而實現(xiàn)了一種金屬回收裝置用于回收多種金屬的可能性，避免資源浪費，降低生產(chǎn)成本。
技術(shù)領(lǐng)域
本實用新型屬于晶圓制造技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種晶圓光阻及金屬剝離工藝金屬回收和分類排廢裝置。
背景技術(shù)
剝離(Lift-Off)工藝用于晶圓上細微金屬圖形的制作。基片經(jīng)過涂膠、曝光、顯影等不同工藝處理后得到光刻膠掩膜層圖形，然后制備金屬薄膜，再使用溶劑將掩膜層和形成在掩膜層上的金屬薄膜剝離干凈，而直接在基片上形成的金屬薄膜的則被保留下來得到所需圖形。
金屬薄膜鍍層通常為金、銀、鉑等難溶貴金屬，不同金屬使用的剝離溶劑也不相同。經(jīng)過剝離工藝后，金屬薄膜碎屑或殘留在單元腔體內(nèi)，或隨溶劑一起進入排廢管道，嚴重時堵塞排廢管路，廢液外溢，腐蝕元器件，甚至危害人員健康。參雜金屬屑的廢液難處理，并且流失大量貴金屬。現(xiàn)有的金屬回收裝置結(jié)構(gòu)復(fù)雜，回收金屬種類單一，金屬回收率低，造成資源浪費，增加生產(chǎn)成本。
實用新型內(nèi)容
針對上述問題，本實用新型的目的在于提供一種晶圓光阻及金屬剝離工藝金屬回收和分類排廢裝置，以解決現(xiàn)有剝離技術(shù)中金屬回收率低，回收金屬種類單一的問題。
為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用以下技術(shù)方案：
一種晶圓光阻及金屬剝離工藝金屬回收和分類排廢裝置，包括一級過濾裝置、二級過濾裝置及分類排放裝置，其中一級過濾裝置設(shè)置于單元腔體內(nèi)、且安裝在腔體底板上，所述二級過濾裝置設(shè)置于所述單元腔體的外部、且通過第一排放管路與所述一級過濾裝置連接，所述分類排放裝置通過第二排放管路與所述二級過濾裝置連接，用于多種藥液的分類排放。
所述一級過濾裝置包括防堵上罩、濾網(wǎng)及連接組件，其中濾網(wǎng)設(shè)置于所述腔體底板上的排廢口內(nèi)，所述防堵上罩設(shè)置于所述濾網(wǎng)的上方、且與所述濾網(wǎng)連接，所述連接組件設(shè)置于所述腔體底板的外側(cè)、且與所述排廢口連接。
所述濾網(wǎng)的外圓周上設(shè)有圍板，所述濾網(wǎng)的中心設(shè)有連接柱，所述防堵上罩的中心設(shè)有凸起，所述防堵上罩通過凸起與所述連接柱螺紋連接，所述防堵上罩與所述圍板之間留有環(huán)隙。
所述連接組件包括過濾連接塊和排廢接頭，其中過濾連接塊與所述腔體底板固定連接，所述排廢接頭與所述過濾連接塊螺紋連接。
所述二級過濾裝置包括廢液桶及由上至下設(shè)置于所述廢液桶內(nèi)的多級過濾盒，所述廢液桶的頂部設(shè)有廢液桶進液口，底部設(shè)有與所述第二排放管路連接的廢液桶出液口。
所述過濾盒包括由上至下設(shè)置的一級過濾盒、二級過濾盒及三級過濾盒，其中二級過濾盒嵌設(shè)于三級過濾盒的上端，所述一級過濾盒、二級過濾盒及三級過濾盒的濾網(wǎng)目數(shù)依次遞增。
所述一級過濾盒包括盒體和過濾網(wǎng)，其中盒體的四周為鏤空結(jié)構(gòu)，所述過濾網(wǎng)設(shè)置于盒體的內(nèi)壁上，所述盒體的側(cè)面設(shè)有拉手。
所述一級過濾盒的濾網(wǎng)目數(shù)為50-90目，所述二級過濾盒的濾網(wǎng)目數(shù)為90-150目，所述三級過濾盒的濾網(wǎng)目數(shù)為150-250目。
所述廢液桶的上部側(cè)面設(shè)有單開門，所述廢液桶的底部為倒錐形結(jié)構(gòu)；所述廢液桶的一側(cè)設(shè)有液位計，液位計上安裝有低位傳感器、高位傳感器和上極限位傳感器，用于監(jiān)測廢液桶內(nèi)廢液的液位高度。
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