[實用新型]晶圓光阻及金屬剝離工藝金屬回收和分類排廢裝置

有效

• 申請號: 201821144243.2
• 申請日: 2018-07-19
• 公開（公告）號: CN208562482U
• 公開（公告）日: 2019-03-01
• 發明（設計）人: 孫俊主;劉遲
• 申請（專利權）人: 沈陽芯源微電子設備有限公司
• 主分類號: C22B7/00
• 分類號: C22B7/00
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 何麗英

1.一種晶圓光阻及金屬剝離工藝金屬回收和分類排廢裝置，其特征在于，包括一級過濾裝置(1)、二級過濾裝置(2)及分類排放裝置(3)，其中一級過濾裝置(1)設置于單元腔體內、且安裝在腔體底板(6)上，所述二級過濾裝置(2)設置于所述單元腔體的外部、且通過第一排放管路(10)與所述一級過濾裝置(1)連接，所述分類排放裝置(3)通過第二排放管路(20)與所述二級過濾裝置(2)連接，用于多種藥液的分類排放。

2.根據權利要求1所述的晶圓光阻及金屬剝離工藝金屬回收和分類排廢裝置，其特征在于，所述一級過濾裝置(1)包括防堵上罩(101)、濾網(102)及連接組件，其中濾網(102)設置于所述腔體底板(6)上的排廢口內，所述防堵上罩(101)設置于所述濾網(102)的上方、且與所述濾網(102)連接，所述連接組件設置于所述腔體底板(6)的外側、且與所述排廢口連接。

3.根據權利要求2所述的晶圓光阻及金屬剝離工藝金屬回收和分類排廢裝置，其特征在于，所述濾網(102)的外圓周上設有圍板(1021)，所述濾網(102)的中心設有連接柱(1022)，所述防堵上罩(101)的中心設有凸起(1011)，所述防堵上罩(101)通過凸起(1011)與所述連接柱(1022)螺紋連接，所述防堵上罩(101)與所述圍板(1021)之間留有環隙(103)。

4.根據權利要求2所述的晶圓光阻及金屬剝離工藝金屬回收和分類排廢裝置，其特征在于，所述連接組件包括過濾連接塊(105)和排廢接頭(106)，其中過濾連接塊(105)與所述腔體底板(6)固定連接，所述排廢接頭(106)與所述過濾連接塊(105)螺紋連接。

5.根據權利要求1所述的晶圓光阻及金屬剝離工藝金屬回收和分類排廢裝置，其特征在于，所述二級過濾裝置(2)包括廢液桶(207)及由上至下設置于所述廢液桶(207)內的多級過濾盒，所述廢液桶(207)的頂部設有廢液桶進液口(201)，底部設有與所述第二排放管路(20)連接的廢液桶出液口(205)。

6.根據權利要求5所述的晶圓光阻及金屬剝離工藝金屬回收和分類排廢裝置，其特征在于，所述過濾盒包括由上至下設置的一級過濾盒(202)、二級過濾盒(203)及三級過濾盒(204)，其中二級過濾盒(203)嵌設于三級過濾盒(204)的上端，所述一級過濾盒(202)、二級過濾盒(203)及三級過濾盒(204)的濾網目數依次遞增。

7.根據權利要求6所述的晶圓光阻及金屬剝離工藝金屬回收和分類排廢裝置，其特征在于，所述一級過濾盒(202)包括盒體(2021)和過濾網(2023)，其中盒體(2021)的四周為鏤空結構，所述過濾網(2023)設置于盒體(2021)的內壁上，所述盒體(2021)的側面設有拉手(2022)。

8.根據權利要求6所述的晶圓光阻及金屬剝離工藝金屬回收和分類排廢裝置，其特征在于，所述一級過濾盒(202)的濾網目數為50-90目，所述二級過濾盒(203)的濾網目數為90-150目，所述三級過濾盒(204)的濾網目數為150-250目。

9.根據權利要求5所述的晶圓光阻及金屬剝離工藝金屬回收和分類排廢裝置，其特征在于，所述分類排放裝置(3)包括排廢桶(301)、第三排放管路(30)及排放泵，其中排廢桶(301)的一端設有與所述第二排放管路(20)連接的排廢桶進液口(302)，另一端設有清洗口，所述清洗口通過堵頭(305)封堵，所述排廢桶(301)的另一端側壁上設有多個廢液桶排液口，各廢液桶排液口分別與一第三排放管路(30)連接，各第三排放管路(30)上均設有排放泵。

10.根據權利要求9所述的晶圓光阻及金屬剝離工藝金屬回收和分類排廢裝置，其特征在于，所述廢液桶(207)的上部側面設有單開門(206)，所述廢液桶(207)的底部為倒錐形結構；所述廢液桶(207)的一側設有液位計，液位計上安裝有低位傳感器(208)、高位傳感器(209)和上極限位傳感器(210)，用于監測廢液桶(207)內廢液的液位高度，所述高位傳感器(209)的安裝高度要低于所述排放泵的出液口高度。