[實用新型]帶有水冷熱屏升降裝置的單晶爐

有效

• 申請號: 201821143778.8
• 申請日: 2018-07-19
• 公開（公告）號: CN208485982U
• 公開（公告）日: 2019-02-12
• 發明（設計）人: 毛家信
• 申請（專利權）人: 浙江晶陽機電有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00;C30B29/06
• 代理公司: 嘉興啟帆專利代理事務所(普通合伙) 33253
• 代理人: 吳宏宇

本實用新型公開了帶有水冷熱屏升降裝置的單晶爐，包括單晶爐爐蓋、以及安裝該單晶爐爐蓋上的升降裝置，升降裝置包括安裝在單晶爐爐蓋上的安裝座、水冷熱屏連接管，安裝座一端設置安裝底板，另一端設有波紋管，波紋管下端固定在安裝座上，上端安裝在安裝支架上，安裝底板上設置直線導軌，直線導軌上安裝滑動模組，滑動模組在所述直線導軌上的運動方向與波紋管軸線方向平行，滑動模組固定連接安裝支架，單晶爐爐蓋上設有通孔，水冷熱屏連接管穿過所述的通孔與安裝支架固定連接。利用升降裝置，減少人工晶棒拉制的時間和勞動強度，提高控制的準確性；利用滑動模組實現熱屏的升降，降低晶棒拉制等因素對設備的影響，同時，因為其投入少，便于推廣。

技術領域

本實用新型涉及單晶爐，具體涉及帶有水冷熱屏升降裝置的單晶爐。

背景技術

單晶爐是多晶硅轉化為單晶硅工藝過程中的必備設備，而單晶硅又是光伏發電和半導體行業中的基礎原料。單晶硅作為現代信息社會的關鍵支撐材料，是目前世界上最重要的單晶材料之一，它不僅是發展計算機與集成電路的主要功能材料，也是光伏發電利用太陽能的主要功能材料。

單晶爐用熱屏升降裝置的作用如下：在晶棒拉制過程中，通過熱屏升降裝置將水冷熱屏升降，加快晶棒的冷卻速度，提高晶棒的拉制速度，降低晶棒拉制成本。一般的單晶爐都沒有水冷熱屏升降裝置，都是采用固定水冷熱屏的方式，容易造成晶棒冷卻不均勻，晶棒成品率低等現象。

發明內容

針對上述技術問題，本實用新型提供了帶有水冷熱屏升降裝置的單晶爐，利用升降裝置，減少人工晶棒拉制的時間和勞動強度，提高控制的準確性；利用滑動模組實現熱屏的升降，降低晶棒拉制等因素對設備的影響，同時，因為其投入少，便于推廣。

為解決上述技術問題，本實用新型采用的一個技術方案是：帶有水冷熱屏升降裝置的單晶爐，包括單晶爐爐蓋、以及安裝該單晶爐爐蓋上的升降裝置，升降裝置包括安裝在單晶爐爐蓋上的安裝座、水冷熱屏連接管，安裝座一端設置安裝底板，另一端設有波紋管，波紋管下端固定在安裝座上，上端安裝在安裝支架上，

安裝底板上設置直線導軌，直線導軌上安裝滑動模組，滑動模組在所述直線導軌上的運動方向與波紋管軸線方向平行，滑動模組固定連接過渡板，過渡板固定連接安裝支架，

單晶爐爐蓋上設有通孔，水冷熱屏連接管穿過所述的通孔與安裝支架固定連接。

作為上述方案的優選，水冷熱屏連接管穿過通孔、安裝座上的通孔伸入波紋管內并由波紋管上端伸出后與所述的安裝支架固定連接。

作為上述方案的優選，安裝座與所述單晶爐爐蓋之間螺接固定。

本實用新型的有益效果是：在單晶爐作業過程中，采用熱屏升降裝置，有效的提高了作業的簡單化，降低勞動強度和成本，徹底解決了原技術作業產生的水冷熱屏不能升降、晶棒生產成本高的現象；

升降裝置，減少人工晶棒拉制的時間和勞動強度，提高控制的準確性；

升降裝置，利用滑動模組實現熱屏的升降，降低晶棒拉制等因素對設備的影響，同時，因為其投入少，便于推廣。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構示意圖；

圖2是圖1的右視圖；

圖3是圖1的左視圖；

圖4是本實用新型的立體圖；

圖5水冷熱屏結構的結構示意圖；

圖6是內屏的結構示意圖。

具體實施方式

下面結合實施例，對本實用新型的具體實施方式作進一步描述。