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[實用新型]帶有水冷熱屏升降裝置的單晶爐有效

專利信息
申請號: 201821143778.8 申請日: 2018-07-19
公開(公告)號: CN208485982U 公開(公告)日: 2019-02-12
發明(設計)人: 毛家信 申請(專利權)人: 浙江晶陽機電有限公司
主分類號: C30B15/00 分類號: C30B15/00;C30B29/06
代理公司: 嘉興啟帆專利代理事務所(普通合伙) 33253 代理人: 吳宏宇
地址: 314000 浙江省嘉*** 國省代碼: 浙江;33
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 單晶爐 升降裝置 滑動模組 冷熱 爐蓋 安裝支架 直線導軌 安裝座 安裝底板 拉制 波紋管 連接管 晶棒 通孔 本實用新型 波紋管軸線 方向平行 一端設置 對設備 上端 熱屏 下端 升降 穿過
【權利要求書】:

1.帶有水冷熱屏升降裝置的單晶爐,其特征在于,包括單晶爐爐蓋、以及安裝該單晶爐爐蓋上的升降裝置,升降裝置包括安裝在單晶爐爐蓋上的安裝座、水冷熱屏連接管,安裝座一端設置安裝底板,另一端設有波紋管,波紋管下端固定在安裝座上,上端安裝在安裝支架上,

安裝底板上設置直線導軌,直線導軌上安裝滑動模組,滑動模組在所述直線導軌上的運動方向與波紋管軸線方向平行,滑動模組固定連接過渡板,過渡板固定連接安裝支架,

單晶爐爐蓋上設有通孔,水冷熱屏連接管穿過所述的通孔與安裝支架固定連接。

2.如權利要求1所述的帶有水冷熱屏升降裝置的單晶爐,其特征在于,水冷熱屏連接管穿過通孔、安裝座上的通孔伸入波紋管內并由波紋管上端伸出后與所述的安裝支架固定連接。

3.如權利要求1所述的帶有水冷熱屏升降裝置的單晶爐,其特征在于,安裝座與所述單晶爐爐蓋之間螺接固定。

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