[實用新型]一種晶棒調整機構

有效

• 申請號: 201821143269.5
• 申請日: 2018-07-19
• 公開（公告）號: CN208528735U
• 公開（公告）日: 2019-02-22
• 發明（設計）人: 甄偉;趙松彬
• 申請（專利權）人: 丹東新東方晶體儀器有限公司
• 主分類號: B24B19/00
• 分類號: B24B19/00;B24B41/00;B24B41/06;B24B49/00
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 汪海

本實用新型涉及晶體加工技術領域，具體地說是一種晶棒調整機構，包括驅動輥組件和從動輥組件，所述驅動輥組件包括驅動輥、驅動輥座、第一移動機構和旋轉機構，所述驅動輥座通過所述第一移動機構驅動沿左右方向水平移動，驅動輥和旋轉機構設置于所述驅動輥座上，且所述驅動輥通過所述旋轉機構驅動旋轉，從動輥組件包括從動輥、從動輥座和第二移動機構，從動輥座通過所述第二移動機構驅動沿左右方向水平移動，且從動輥安裝于所述從動輥座上，機構工作時晶棒通過所述驅動輥和從動輥夾持支撐，并通過所述驅動輥驅動旋轉，在所述驅動輥組件和從動輥組件上側設有沿前后方向移動的編碼器組件。本實用新型能夠精確調整晶棒旋轉角度，有效保證后續晶體切片制品質量。

技術領域

本實用新型涉及晶體加工技術領域，具體地說是一種晶棒調整機構。

背景技術

人工生長出來的單晶硅晶棒在加工出各種規格的晶片前，需要先將毛胚晶棒進行定向，找出需要的方向后，利用磨削設備將晶棒柱面加工出參考邊或刻痕，然后按測定角度值將晶棒粘接在料板上，并且進行晶棒粘接時，晶棒柱面參考邊或刻痕需指向指定角度，而在上述過程中，晶棒調整尤為重要，如果晶棒位置調整不準確，就無法滿足方向精度要求，會嚴重影響后續單晶硅切片精度，導致晶體切片制品的不合格率較高。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種晶棒調整機構，能夠精確調整晶棒旋轉角度，有效保證后續晶體切片制品質量。

本實用新型的目的是通過以下技術方案來實現的：

一種晶棒調整機構，包括驅動輥組件和從動輥組件，所述驅動輥組件包括驅動輥、驅動輥座、第一移動機構和旋轉機構，所述驅動輥座通過所述第一移動機構驅動沿左右方向水平移動，驅動輥和旋轉機構設置于所述驅動輥座上，且所述驅動輥通過所述旋轉機構驅動旋轉，從動輥組件包括從動輥、從動輥座和第二移動機構，從動輥座通過所述第二移動機構驅動沿左右方向水平移動，且從動輥安裝于所述從動輥座上，機構工作時晶棒通過所述驅動輥和從動輥夾持支撐，并通過所述驅動輥驅動旋轉，在所述驅動輥組件和從動輥組件上側設有沿前后方向移動的編碼器組件。

所述第一移動機構和第二移動機構結構相同，均包括移動驅動裝置、絲杠和絲母，絲杠通過所述移動驅動裝置驅動旋轉，絲母安裝于絲杠上，驅動輥座與第一移動機構的絲母固連，從動輥座與第二移動機構的絲母固連。

所述旋轉機構包括旋轉驅動裝置和傳動組件，所述驅動輥通過所述旋轉驅動裝置驅動旋轉，且所述旋轉驅動裝置通過傳動組件傳遞轉矩。

所述旋轉驅動裝置為電機，所述傳動組件為皮帶輪傳動組件，其中主動帶輪安裝于所述電機上，從動帶輪安裝于所述驅動輥的軸端，所述主動帶輪和從動帶輪通過皮帶相連。

所述編碼器組件包括編碼器、吸盤、支撐臂和移動座，支撐臂一端與所述移動座轉動連接，支撐臂另一端設有編碼器和吸盤，且所述吸盤可轉動地設置于支撐臂端部并與所述編碼器轉軸同軸固連，機構工作時，吸盤吸附于晶棒端面中心處。

所述支撐臂與移動座相連的一端設有限位桿，支撐臂水平時，所述限位桿下端與所述移動座相抵。

所述驅動輥組件和從動輥組件設置于一個架體內，在所述架體上部內一側設有安裝架，所述編碼器組件設有移動座，且所述移動座與所述安裝架滑動連接。

所述驅動輥和從動輥高度相同。

本實用新型的優點與積極效果為：

1、本實用新型能夠精確調整晶棒旋轉角度，滿足晶棒加工生產要求，有效保證晶體切片制品質量。

2、本實用新型整體結構簡單緊湊，不會占用過多的安裝空間。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖，

圖2為圖1中的驅動輥組件和從動輥組件示意圖，