[實用新型]一種晶棒調(diào)整機構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821143269.5
• 申請日: 2018-07-19
• 公開（公告）號: CN208528735U
• 公開（公告）日: 2019-02-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 甄偉;趙松彬
• 申請（專利權(quán)）人: 丹東新東方晶體儀器有限公司
• 主分類號: B24B19/00
• 分類號: B24B19/00;B24B41/00;B24B41/06;B24B49/00
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 汪海

1.一種晶棒調(diào)整機構(gòu)，其特征在于：包括驅(qū)動輥組件和從動輥組件，所述驅(qū)動輥組件包括驅(qū)動輥、驅(qū)動輥座(2)、第一移動機構(gòu)和旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，所述驅(qū)動輥座(2)通過所述第一移動機構(gòu)驅(qū)動沿左右方向水平移動，驅(qū)動輥和旋轉(zhuǎn)機構(gòu)設(shè)置于所述驅(qū)動輥座(2)上，且所述驅(qū)動輥通過所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)驅(qū)動旋轉(zhuǎn)，從動輥組件包括從動輥、從動輥座(7)和第二移動機構(gòu)，從動輥座(7)通過所述第二移動機構(gòu)驅(qū)動沿左右方向水平移動，且從動輥安裝于所述從動輥座(7)上，機構(gòu)工作時晶棒(1)通過所述驅(qū)動輥和從動輥夾持支撐，并通過所述驅(qū)動輥驅(qū)動旋轉(zhuǎn)，在所述驅(qū)動輥組件和從動輥組件上側(cè)設(shè)有沿前后方向移動的編碼器組件(9)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶棒調(diào)整機構(gòu)，其特征在于：所述第一移動機構(gòu)和第二移動機構(gòu)結(jié)構(gòu)相同，均包括移動驅(qū)動裝置(3)、絲杠(4)和絲母(5)，絲杠(4)通過所述移動驅(qū)動裝置(3)驅(qū)動旋轉(zhuǎn)，絲母(5)安裝于絲杠(4)上，驅(qū)動輥座(2)與第一移動機構(gòu)的絲母(5)固連，從動輥座(7)與第二移動機構(gòu)的絲母(5)固連。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶棒調(diào)整機構(gòu)，其特征在于：所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)包括旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置(10)和傳動組件(11)，所述驅(qū)動輥通過所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置(10)驅(qū)動旋轉(zhuǎn)，且所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置(10)通過傳動組件(11)傳遞轉(zhuǎn)矩。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶棒調(diào)整機構(gòu)，其特征在于：所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置(10)為電機，所述傳動組件(11)為皮帶輪傳動組件，其中主動帶輪安裝于所述電機上，從動帶輪安裝于所述驅(qū)動輥的軸端，所述主動帶輪和從動帶輪通過皮帶相連。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶棒調(diào)整機構(gòu)，其特征在于：所述編碼器組件(9)包括編碼器(12)、吸盤(18)、支撐臂(13)和移動座(15)，支撐臂(13)一端與所述移動座(15)轉(zhuǎn)動連接，支撐臂(13)另一端設(shè)有編碼器(12)和吸盤(18)，且所述吸盤(18)可轉(zhuǎn)動地設(shè)置于支撐臂(13)端部并與所述編碼器(12)轉(zhuǎn)軸同軸固連，機構(gòu)工作時，吸盤(18)吸附于晶棒(1)端面中心處。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的晶棒調(diào)整機構(gòu)，其特征在于：所述支撐臂(13)與移動座(15)相連的一端設(shè)有限位桿(20)，支撐臂(13)水平時，所述限位桿(20)下端與所述移動座(15)相抵。

7.根據(jù)權(quán)利要求1或5所述的晶棒調(diào)整機構(gòu)，其特征在于：所述驅(qū)動輥組件和從動輥組件設(shè)置于一個架體內(nèi)，在所述架體上部內(nèi)一側(cè)設(shè)有安裝架(17)，所述編碼器組件(9)設(shè)有移動座(15)，且所述移動座(15)與所述安裝架(17)滑動連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶棒調(diào)整機構(gòu)，其特征在于：所述驅(qū)動輥和從動輥高度相同。