[實用新型]一種電容式壓差傳感器結構

有效

• 申請號: 201821137731.0
• 申請日: 2018-07-18
• 公開（公告）號: CN208579860U
• 公開（公告）日: 2019-03-05
• 發明（設計）人: 張和毅;張建忠
• 申請（專利權）人: 上海賢日測控科技有限公司
• 主分類號: G01L13/06
• 分類號: G01L13/06;G01L19/14
• 代理公司: 上海精晟知識產權代理有限公司 31253
• 代理人: 馮子玲

本實用新型的目的在于公開一種電容式壓差傳感器結構，它包括左右對稱設置的左半組件和右半組件及受壓膜片；與現有技術相比，左半組件和右半組件是對稱結構，受壓膜片與左極板和右極板間距離很小，過載時受壓膜片受到保護而不致破裂，連接針電極可以方便的插在PCB板上，避免信號干擾，減少寄生電容的存在因素，減少非線性，提高靈敏度和準確性并具有溫度補償能力；直接與被測氣體連通，受壓膜片直接感受氣體壓力變化，具有結構簡單、耐高溫、耐輻射、分辨率高、動態響應特性好等優點，廣泛用于壓力、液位等測量中，特別是微小壓差的測量，實現本實用新型的目的。

技術領域

本實用新型涉及一種傳感器結構，特別涉及一種電容式壓差傳感器結構。

背景技術

在現有技術中，現有的電容式壓差傳感器，它的受壓膜片電極位于兩個固定電極之間,構成兩個電容器。在壓力的作用下，一個電容器的容量增大而另一個電容器的容量則相應減小，測量結果由差動式電路輸出。測量的受壓膜片的左右兩室中充滿硅油，它的固定電極是在凹曲的玻璃表面上鍍金屬層而制成。過載時，受壓膜片受到凹面的保護而不致破裂。差動電容式壓力傳感器比單電容式的靈敏度高、線性度好。

但是，上述結構中，測量的受壓膜片的左右兩室中充滿硅油，密封要求高，結構復雜，制造工藝較復雜，加工較困難，成本高，寄生電容影響大，降低了測量靈敏度，而且引起非線性輸出；且由于寄生電容是隨機變化的，因而使傳感器處于不穩定的工作狀態．影響測量準確度，不適合測量很小的壓差。

因此，特別需要一種電容式壓差傳感器結構，以解決上述現有存在的問題。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種電容式壓差傳感器結構，針對現有技術的不足，具有變極距，電容極板為差動式結構，寄生電容很小，非線性輸出小，靈敏度高，準確度高，誤差小，且具有溫度補償功能，適合測量很小的壓差。

本實用新型所解決的技術問題可以采用以下技術方案來實現：

一種電容式壓差傳感器結構，其特征在于，它包括左右對稱設置的左半組件和右半組件及受壓膜片；所述左半組件包括左連接針組、左殼體和左極板，所述左連接針組與所述左殼體互相密封鎖緊，所述左連接針組的一端與左極板互相電接觸導通，所述左極板與所述左殼體之間通過帶四通孔的絕緣螺栓組互相連接；所述右半組件包括右連接針組、右殼體和右極板，所述右連接針組與所述右殼體互相密封鎖緊，所述右連接針組的一端與右極板互相電接觸導通，所述右極板與所述右殼體之間通過帶四通孔的絕緣螺栓組互相連接；所述受壓膜片設置在所述左極板和所述右極板之間，形成一個差動式電容結構。

在本實用新型的一個實施例中，所述左半組件和所述右半組件之間通過螺栓互相緊密結合并鎖緊。

在本實用新型的一個實施例中，所述左極板與所述左殼體之間通過絕緣墊片互相隔離并有效絕緣。

在本實用新型的一個實施例中，所述左殼體通過左極板和絕緣墊片將左殼體的內腔分成左上腔和左下腔，所述左上腔和所述左下腔之間通過工藝導通孔連通。

在本實用新型的一個實施例中，所述左殼體的工藝孔上設置有密封堵頭螺絲，所述左殼體的導氣孔通過氣管接頭組件密封鎖緊。

在本實用新型的一個實施例中，所述右極板與所述右殼體之間通過絕緣墊片互相隔離并有效絕緣。

在本實用新型的一個實施例中，所述右殼體通過右極板和絕緣墊片將右殼體的內腔分成右上腔和右下腔，所述右上腔和所述右下腔之間通過工藝導通孔連通。

在本實用新型的一個實施例中，所述右殼體的工藝孔上設置有密封堵頭螺絲，所述右殼體的導氣孔通過氣管接頭組件密封鎖緊。

在本實用新型的一個實施例中，所述左殼體的端面上設置有凸形環，所述右殼體的端面上設置有凹形環槽，所述凸形環與所述凹形環槽相配合。