[實用新型]一種電容式壓差傳感器結構有效

申請號：	201821137731.0	申請日：	2018-07-18
公開（公告）號：	CN208579860U	公開（公告）日：	2019-03-05
發明（設計）人：	張和毅;張建忠	申請（專利權）人：	上海賢日測控科技有限公司
主分類號：	G01L13/06	分類號：	G01L13/06;G01L19/14
代理公司：	上海精晟知識產權代理有限公司 31253	代理人：	馮子玲
地址：	201611 上海市松***	國省代碼：	上海;31
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摘要：
搜索關鍵詞：	受壓膜片半組件本實用新型壓差傳感器電容式測量動態響應特性氣體壓力變化溫度補償能力左右對稱設置極板間距離被測氣體對稱結構寄生電容信號干擾靈敏度電極連接針耐輻射耐高溫分辨率過載極板壓差液位連通破裂
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【權利要求書】：

1.一種電容式壓差傳感器結構，其特征在于，它包括左右對稱設置的左半組件和右半組件及受壓膜片；所述左半組件包括左連接針組、左殼體和左極板，所述左連接針組與所述左殼體互相密封鎖緊，所述左連接針組的一端與左極板互相電接觸導通，所述左極板與所述左殼體之間通過帶四通孔的絕緣螺栓組互相連接；所述右半組件包括右連接針組、右殼體和右極板，所述右連接針組與所述右殼體互相密封鎖緊，所述右連接針組的一端與右極板互相電接觸導通，所述右極板與所述右殼體之間通過帶四通孔的絕緣螺栓組互相連接；所述受壓膜片設置在所述左極板和所述右極板之間，形成一個差動式電容結構。

2.如權利要求1所述的電容式壓差傳感器結構，其特征在于，所述左半組件和所述右半組件之間通過螺栓互相緊密結合并鎖緊。

3.如權利要求1所述的電容式壓差傳感器結構，其特征在于，所述左極板與所述左殼體之間通過絕緣墊片互相隔離并有效絕緣。

4.如權利要求1所述的電容式壓差傳感器結構，其特征在于，所述左殼體通過左極板和絕緣墊片將左殼體的內腔分成左上腔和左下腔，所述左上腔和所述左下腔之間通過工藝導通孔連通。

5.如權利要求1所述的電容式壓差傳感器結構，其特征在于，所述左殼體的工藝孔上設置有密封堵頭螺絲，所述左殼體的導氣孔通過氣管接頭組件密封鎖緊。

6.如權利要求1所述的電容式壓差傳感器結構，其特征在于，所述右極板與所述右殼體之間通過絕緣墊片互相隔離并有效絕緣。

7.如權利要求1所述的電容式壓差傳感器結構，其特征在于，所述右殼體通過右極板和絕緣墊片將右殼體的內腔分成右上腔和右下腔，所述右上腔和所述右下腔之間通過工藝導通孔連通。

8.如權利要求1所述的電容式壓差傳感器結構，其特征在于，所述右殼體的工藝孔上設置有密封堵頭螺絲，所述右殼體的導氣孔通過氣管接頭組件密封鎖緊。

9.如權利要求1所述的電容式壓差傳感器結構，其特征在于，所述左殼體的端面上設置有凸形環，所述右殼體的端面上設置有凹形環槽，所述凸形環與所述凹形環槽相配合。

10.如權利要求1所述的電容式壓差傳感器結構，其特征在于，所述左殼體的端面上裝有密封圈，所述右殼體的端面上裝有密封圈。

11.如權利要求1所述的電容式壓差傳感器結構，其特征在于，所述左殼體和所述右殼體電接觸導通并連接有兩個連接柱。

12.如權利要求1所述的電容式壓差傳感器結構，其特征在于，所述左殼體、右殼體、左極板、右極板、連接柱、左連接針組的針和右連接針組的針采用耐腐蝕、溫度系數低和電阻率很低的導體金屬材料制成；所述受壓膜片采用耐腐蝕、電阻率很低和彈性好的導體金屬材料制成。

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