[實用新型]用于片材雙面沉積涂層的夾具及沉積裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821137629.0
• 申請日: 2018-07-16
• 公開（公告）號: CN208667847U
• 公開（公告）日: 2019-03-29
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 唐永炳;陳波;楊揚;王陶
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳先進技術(shù)研究院
• 主分類號: C23C16/458
• 分類號: C23C16/458;C23C16/27
• 代理公司: 北京超凡志成知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11371
• 代理人: 逯恒

1.一種用于片材雙面沉積涂層的夾具，其特征在于，包括夾具本體和第一驅(qū)動件；所述夾具本體包括用于固定片材的固定件以及與所述固定件連接的第二驅(qū)動件，所述第二驅(qū)動件能夠隨所述第一驅(qū)動件轉(zhuǎn)動，從而帶動片材翻轉(zhuǎn)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于片材雙面沉積涂層的夾具，其特征在于，所述第一驅(qū)動件和所述第二驅(qū)動件均獨立地為磁鐵。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于片材雙面沉積涂層的夾具，其特征在于，所述第一驅(qū)動件為磁鐵，所述第二驅(qū)動件為鐵磁金屬件；或，所述第一驅(qū)動件為鐵磁金屬件，所述第二驅(qū)動件為磁鐵。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項所述的用于片材雙面沉積涂層的夾具，其特征在于，所述夾具本體包括底座、設(shè)置于所述底座上并與所述底座垂直的第一支撐桿以及設(shè)置于所述第一支撐桿上并與所述底座平行的第二支撐桿；

所述第二支撐桿的一端設(shè)置有所述固定件，所述第二支撐桿的另一端設(shè)置有所述第二驅(qū)動件。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于片材雙面沉積涂層的夾具，其特征在于，所述第一支撐桿遠離所述底座的一端設(shè)置有承載件，所述承載件包括承載環(huán)以及沿所述承載環(huán)軸向突出的突出部，所述第二支撐桿穿入所述承載環(huán)并放置于所述突出部上。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于片材雙面沉積涂層的夾具，其特征在于，所述突出部包括分別位于所述第二支撐桿兩側(cè)的第一端面和第二端面，所述第一端面和所述第二端面位于同一高度上；所述第二支撐桿的外壁設(shè)有突出的限位銷，使所述第二支撐桿轉(zhuǎn)動后能夠搭設(shè)于所述第一端面或所述第二端面。

7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于片材雙面沉積涂層的夾具，其特征在于，所述第一支撐桿包括第一空心管和套設(shè)于所述第一空心管內(nèi)的第一支桿，所述第一空心管的外壁設(shè)有第一緊固件，通過所述第一緊固件能夠調(diào)節(jié)所述第一支撐桿的長度。

8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于片材雙面沉積涂層的夾具，其特征在于，所述第二支撐桿包括第二空心管和套設(shè)于所述第二空心管內(nèi)的第二支桿，所述第二空心管的外壁設(shè)有第二緊固件，通過所述第二緊固件能夠調(diào)節(jié)所述第二支撐桿的長度。

9.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項所述的用于片材雙面沉積涂層的夾具，其特征在于，所述固定件為固定夾，所述固定夾包括上夾板和下夾板，片材位于所述上夾板和所述下夾板之間，所述上夾板和所述下夾板通過第三緊固件緊固。

10.一種沉積裝置，其特征在于，包括爐體，權(quán)利要求1-9任一項所述的用于片材雙面沉積涂層的夾具的所述夾具本體位于所述爐體內(nèi)，所述第一驅(qū)動件位于所述爐體外。