[實用新型]用于片材雙面沉積涂層的夾具及沉積裝置

有效

• 申請號: 201821137629.0
• 申請日: 2018-07-16
• 公開（公告）號: CN208667847U
• 公開（公告）日: 2019-03-29
• 發明（設計）人: 唐永炳;陳波;楊揚;王陶
• 申請（專利權）人: 深圳先進技術研究院
• 主分類號: C23C16/458
• 分類號: C23C16/458;C23C16/27
• 代理公司: 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙) 11371
• 代理人: 逯恒

本實用新型提供了一種用于片材雙面沉積涂層的夾具及沉積裝置，涉及涂層沉積輔助設備技術領域。該用于片材雙面沉積涂層的夾具包括夾具本體和第一驅動件；夾具本體包括用于固定片材的固定件以及與固定件連接的第二驅動件，第二驅動件能夠隨第一驅動件轉動，從而帶動片材翻轉。本實用新型的夾具利用磁電感應力或磁力等作用力在不開爐情況下實現片材的翻轉，在不改變爐子現有結構的前提下實現了片材雙面涂層的連續沉積，使用該夾具雙面沉積涂層效率高、成本低且易于實施。本實用新型還提供一種沉積裝置，包括爐體，上述夾具的夾具本體位于爐體內，第一驅動件位于爐體外，該沉積裝置適用于對片材雙面進行連續的涂層沉積，效率高，生產周期短。

技術領域

本實用新型涉及涂層沉積輔助設備技術領域，尤其是涉及一種用于片材雙面沉積涂層的夾具及沉積裝置。

背景技術

在熱絲氣相沉積法制備涂層工藝中，例如制備金剛石涂層工藝中，有時需要在片材的雙面沉積金剛石薄膜。目前并沒有專門針對雙面沉積涂層的沉積設備，受限于現有設備的結構，往往一次只能在片材正對熱絲和氣源的一面沉積上涂層，而另一面由于活性物質無法到達而不能沉積上涂層。

針對這一問題，現有技術一般采取以下手段：

在爐子設計的初期或后期改造使氣路絲爐子的結構更適用于片材雙面沉積，即上下都進氣，雖然這種結構的爐子能夠滿足片材雙面沉積涂層的要求，但這種改造后的爐子一般就只能用作生產雙面涂層的片材，不能再去生產只需一面沉積的產品(例如銑刀)，降低了爐子的適用性，而且采用此種方式需要改變爐子現有結構，成本高、復雜不易于實施。

另外一種方式是先沉積一面然后取出翻轉片材沉積另一面，這種情況下往往需要重新開爐將片材取出重新裝夾，即原位翻轉180度。這種方法生產效率較低，將大大地增加生產周期，主要是需要重新抽真空，如果熱絲在開爐過程中斷裂，則需要重新上絲和碳化。

因此，所期望的是提供一種夾具，能夠解決上述問題中的至少一個。

有鑒于此，特提出本實用新型。

實用新型內容

本實用新型的第一目的在于提供一種用于片材雙面沉積涂層的夾具，利用磁電感應力或磁力等作用力在不開爐情況下實現片材的翻轉，在不改變爐子現有結構的前提下實現了片材雙面涂層的連續沉積，使用該夾具雙面沉積涂層效率高、成本低且易于實施。

本實用新型的第二目的在于提供一種沉積裝置，包括爐體，上述用于片材雙面沉積涂層的夾具的夾具本體位于爐體內，第一驅動件位于爐體外。使用該沉積裝置對片材雙面進行涂層沉積的效率高，生產周期短。

為解決上述技術問題，本實用新型特采用如下技術方案：

第一方面，提供了一種用于片材雙面沉積涂層的夾具，包括夾具本體和第一驅動件；所述夾具本體包括用于固定片材的固定件以及與所述固定件連接的第二驅動件，所述第二驅動件能夠隨所述第一驅動件轉動，從而帶動片材翻轉。

優選地，在本實用新型技術方案的基礎之上，所述第一驅動件和所述第二驅動件均獨立地為磁性件，優選為磁鐵，進一步優選為鋁鎳鈷磁鐵。

優選地，在本實用新型技術方案的基礎之上，所述第一驅動件為磁鐵，所述第二驅動件為鐵磁金屬件；或，所述第一驅動件為鐵磁金屬件，所述第二驅動件為磁鐵。

進一步的，在本實用新型技術方案的基礎之上，所述夾具本體包括底座、設置于所述底座上并與所述底座垂直的第一支撐桿以及設置于所述第一支撐桿上并與所述底座平行的第二支撐桿；

所述第二支撐桿的一端設置有所述固定件，所述第二支撐桿的另一端設置有所述第二驅動件。

進一步的，在本實用新型技術方案的基礎之上，所述第一支撐桿遠離所述底座的一端設置有承載件，所述承載件包括承載環以及沿所述承載環軸向突出的突出部，所述第二支撐桿穿入所述承載環并放置于所述突出部上。