[實(shí)用新型]晶片篩盤及篩晶工裝

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821127117.6
• 申請(qǐng)日: 2018-07-10
• 公開（公告）號(hào): CN208507650U
• 公開（公告）日: 2019-02-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 梅寶城
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 常州銀河世紀(jì)微電子股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L23/28
• 分類號(hào): H01L23/28
• 代理公司: 常州市科誼專利代理事務(wù)所 32225
• 代理人: 孫彬

本實(shí)用新型公開了一種晶片篩盤及篩晶工裝，包括：篩盤本體；篩盤本體上陣列式分布有多個(gè)分向定位孔；分向定位孔包括適于與晶片的N端面貼合接觸的第一孔徑部、與第一孔徑部呈階梯狀結(jié)構(gòu)相連的第二孔徑部，以及與第二孔徑部呈階梯狀結(jié)構(gòu)相連的第三孔徑部；第一孔徑部、第二孔徑部和第三孔徑部均同軸分布，且第一孔徑部、第二孔徑部和第三孔徑部的孔徑依次增大；以及第一孔徑部和第二孔徑部的孔壁均相對(duì)于第一孔徑部的軸線平行；第三孔徑部的孔壁相對(duì)于第二孔徑部的孔壁呈55～65°夾角。本實(shí)用新型的晶片篩盤及篩晶工裝可有效提高晶片分向篩選的效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體篩選技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種晶片篩盤及篩晶工裝。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體二極管的封裝工藝中，請(qǐng)參閱圖1所示，普通的半導(dǎo)體晶片包括面積大小不一的N端面和P端面，其中，N端面的表面積大于P端面的表面積。在對(duì)若干個(gè)半導(dǎo)體晶片進(jìn)行封裝加工的過程中，就需要將這樣的半導(dǎo)體晶片使用篩盤實(shí)現(xiàn)分向以使得半導(dǎo)體晶體以同樣的形態(tài)(此處的形態(tài)是指半導(dǎo)體晶片的端面放置狀態(tài))進(jìn)行封裝。

在具體的使用篩盤篩選的過程中，需要將面積較小的P端面調(diào)整為全部背向篩盤的狀態(tài)，而面積較大的N端面則全部與篩盤的定位孔接觸，從而達(dá)到分向的目的?，F(xiàn)有技術(shù)中定位孔的結(jié)構(gòu)如圖2所示，孔壁為階梯型，且最上端的孔內(nèi)壁相對(duì)于孔的軸線呈平行結(jié)構(gòu)，當(dāng)晶片的面積較小的P端面落入孔中與定位孔底接觸時(shí)，此時(shí)需要利用晶片的面積較大的N端在受到周圍晶片的碰撞的作用下而使得晶片整體從定位孔中脫離，使得其它晶片便于進(jìn)入定位孔，以不斷實(shí)現(xiàn)面積較大的N端與定位孔底接觸，而圖2中的最上端的孔內(nèi)壁相對(duì)于孔的軸線呈平行結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)在使用過程中，存在由于平行結(jié)構(gòu)與面積較大的N端的兩側(cè)端平行的問題，使得當(dāng)晶片的面積較小的P端面落入孔中與定位孔底接觸時(shí)，在晶片的面積較大的N端在受到周圍晶片的碰撞的作用下不易從定位孔中脫離，也即從在脫離效率低下的問題，因此，直接影響整體的篩盤篩晶的效率。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的第一目的是提供一種晶片篩盤，以解決提高篩晶效率的技術(shù)問題。

本實(shí)用新型的第二目的是提供一種篩晶工裝，以解決提高篩晶效率的技術(shù)問題。

本實(shí)用新型的晶片篩盤是這樣實(shí)現(xiàn)的：

一種晶片篩盤，包括：篩盤本體；所述篩盤本體上陣列式分布有多個(gè)分向定位孔；

所述分向定位孔包括適于與晶片的N端面貼合接觸的第一孔徑部、與所述第一孔徑部呈階梯狀結(jié)構(gòu)相連的第二孔徑部，以及與所述第二孔徑部呈階梯狀結(jié)構(gòu)相連的第三孔徑部；所述第一孔徑部、第二孔徑部和第三孔徑部均同軸分布，且所述第一孔徑部、第二孔徑部和第三孔徑部的孔徑依次增大；以及

所述第一孔徑部和第二孔徑部的孔壁均相對(duì)于第一孔徑部的軸線平行；

所述第三孔徑部的孔壁相對(duì)于第二孔徑部的孔壁呈55～65°夾角。

在本實(shí)用新型較佳的實(shí)施例中，所述第三孔徑部的孔壁相對(duì)于第二孔徑部的孔壁呈60°夾角，即第三孔徑部相對(duì)的孔壁之間呈120°夾角。

在本實(shí)用新型較佳的實(shí)施例中，所述第一孔徑部包括呈對(duì)角線分布于四端角處的四個(gè)圓角端和用于使每相鄰的兩個(gè)圓角端相連的平直連接端。

在本實(shí)用新型較佳的實(shí)施例中，所述第一孔徑部的底部設(shè)有一通孔；以及

所述篩盤本體內(nèi)設(shè)有適于與所述通孔貫通的第一真空孔，以及與所述第一真空孔貫通的第二真空孔；其中

所述第一真空孔的內(nèi)徑小于第二真空孔的內(nèi)徑。

在本實(shí)用新型較佳的實(shí)施例中，所述第二孔徑部的深度小于第一孔徑部的深度。

在本實(shí)用新型較佳的實(shí)施例中，所述第三孔徑部的深度大于第二孔徑部的深度。