[實用新型]一種用于垂直腔面發射激光器的測試裝置

有效

• 申請號: 201821125299.3
• 申請日: 2018-07-17
• 公開（公告）號: CN209148245U
• 公開（公告）日: 2019-07-23
• 發明（設計）人: 楊為家;陳明輝;何鑫;吳質樸;何畏;陳強;曾慶光;劉樂
• 申請（專利權）人: 五邑大學;深圳市奧倫德科技股份有限公司
• 主分類號: G01M11/00
• 分類號: G01M11/00
• 代理公司: 廣州市紅荔專利代理有限公司 44214
• 代理人: 吳偉文

1.一種用于垂直腔面發射激光器的測試裝置，其特征在于：包括氧化爐腔體、加熱裝置、高溫水蒸氣發生裝置、紅外成像儀、控制系統，所述的加熱裝置設置在氧化爐腔體下端，所述的氧化爐腔體內放置有待測試的垂直腔面發射激光器VCSEL，所述的加熱裝置用于給氧化爐腔體加熱；

所述的高溫水蒸氣發生裝置用于產生高溫水蒸氣，所述的高溫水蒸氣發生裝置通過管道與氧化爐腔體相連通，通過高溫水蒸氣發生裝置將產生的高溫水蒸氣輸送至氧化爐腔體中，從而對待測試的垂直腔面發射激光器VCSEL進行氧化處理；

所述的紅外成像儀設置在氧化腔體的上端，部分所述的紅外成像儀伸入氧化爐腔體內，并且該所述的紅外成像儀與控制系統連接，所述的紅外成像儀用于拍攝待測試的垂直腔面發射激光器VCSEL氧化前的圖像或視頻、以及氧化后的圖像或視頻，并且對拍攝的圖像自動標尺，并將標尺后的圖像傳輸給控制系統；

所述的控制系統用于控制紅外成像儀拍攝待測試的垂直腔面發射激光器VCSEL的圖像或視頻，并對拍攝的圖像或視頻進行處理，通過圖像上的標尺，自動量取待測試的垂直腔面發射激光器VCSEL未氧化部分的長度L₂，從而得到氧化物限制窗口的尺寸。

2.根據權利要求1所述的一種用于垂直腔面發射激光器的測試裝置，其特征在于：所述的氧化腔體還與用于抽除氧化爐腔體內水蒸氣的水蒸氣泵連接。

3.根據權利要求1所述的一種用于垂直腔面發射激光器的測試裝置，其特征在于：所述的加熱裝置包括爐管、溫控器、以及設置在爐管內的多個加熱絲，多個所述的加熱絲均與溫控器連接。

4.根據權利要求1所述的一種用于垂直腔面發射激光器的測試裝置，其特征在于：所述的高溫水蒸氣發生裝置包括加熱爐、以及設置在加熱爐上的水蒸氣發生器，所述的水蒸氣發生器內裝有去離子水，所述的水蒸氣發生器還通過進氣管道與氮氣發生器相連通，所述的水蒸氣發生器通過水蒸氣管道與氧化爐腔體相連通。

5.根據權利要求1所述的一種用于垂直腔面發射激光器的測試裝置，其特征在于：所述的氧化爐腔體采用耐高溫、耐腐蝕的不銹鋼材料制成。

6.根據權利要求1所述的一種用于垂直腔面發射激光器的測試裝置，其特征在于：垂直腔面發射激光器VCSEL的氧化溫度為380-550℃。

7.根據權利要求3所述的一種用于垂直腔面發射激光器的測試裝置，其特征在于：所述的加熱裝置還包括多個溫度傳感器，并且多個所述的溫度傳感器均與溫控器連接。

8.根據權利要求3所述的一種用于垂直腔面發射激光器的測試裝置，其特征在于：所述的加熱裝置的加熱溫度為0-1500℃。

9.根據權利要求4所述的一種用于垂直腔面發射激光器的測試裝置，其特征在于：所述水蒸氣發生器產生的高溫水蒸氣的溫度為80-100℃。