[實用新型]一種用于垂直腔面發射激光器的測試裝置

有效

• 申請號: 201821125299.3
• 申請日: 2018-07-17
• 公開（公告）號: CN209148245U
• 公開（公告）日: 2019-07-23
• 發明（設計）人: 楊為家;陳明輝;何鑫;吳質樸;何畏;陳強;曾慶光;劉樂
• 申請（專利權）人: 五邑大學;深圳市奧倫德科技股份有限公司
• 主分類號: G01M11/00
• 分類號: G01M11/00
• 代理公司: 廣州市紅荔專利代理有限公司 44214
• 代理人: 吳偉文

本實用新型涉及一種用于垂直腔面發射激光器的測試裝置，包括氧化爐腔體、加熱裝置、高溫水蒸氣發生裝置、紅外成像儀、控制系統，加熱裝置設置在氧化爐腔體下端，高溫水蒸氣發生裝置通過管道與氧化爐腔體相連通，所述的紅外成像儀設置在氧化腔體的上端，部分所述的紅外成像儀伸入氧化爐腔體內，紅外成像儀與控制系統連接，本實用新型結構簡單、設計合理、實用性強，通過加熱裝置VCSEL加熱，并通過高溫水蒸氣發生裝置將產生的高溫水蒸氣輸送至腔體中，實現VCSEL的氧化，然后通過紅外成像儀實現氧化前后的圖像采集，并通過控制系統處理得到氧化物限制窗口的大小和氧化速率，該裝置結構簡單，進一步降低了測試成本，而且測試簡單、易操作，測試結果準確。

技術領域

本實用新型涉及一種測試裝置，尤其是一種用于垂直腔面發射激光器的測試裝置。

背景技術

垂直腔面發射激光器(VCSEL)具有單色性好、電致發光光譜峰的半峰寬小(一般在0.2-3nm)等突出優點，可在通信、激光測距、激光顯示、人臉識別等領域發揮重要作用。據預測，2020年全球VCSEL的產值將達到200億美元。因此，VCSEL已經成為未來智能手機產品、通信、智能控制等領域的一個必然趨勢。

在VCSEL生產過程中，側向水氧法制備氧化物(Al_xO_y)限制窗口是一個非常重要的工序。氧化物限制窗口可以有效控制VCSEL器件中電流的分布，并控制VCSEL的發光波長和半峰寬。因此，氧化物限制窗口的尺寸就顯得尤為重要。目前，限制窗口的測試主要采用原位光學測量法和破壞性的截面測試法。其中，原位光學測量法是利用氧化物(Al_xO_y)和VCSEL主體材料GaAs、GaAlAs等對光具有不同的反射率，并利用CCD探頭成像，從而實現對氧化物限制窗口的尺寸的測量；而破壞性的截面測試法則是將VCSEL進行剖面，并在掃面電子顯微鏡(SEM)進行觀察，根據氧化物(Al_xO_y)和VCSEL主體材料GaAs、GaAlAs等材料的不同，在SEM顯示成不同襯度(顏色，通常Al_xO_y顏色較深)，從而確定氧化物限制窗口的尺寸。

然而，原位光學測量法的裝置基本被國外壟斷，設備價格昂貴(200萬以上)，而破壞性的截面測試法不但滯后，而且破壞VCSEL，并不符合工業生產的需求。

發明內容

針對現有技術的不足，本實用新型提供一種用于垂直腔面發射激光器的測試裝置。

本實用新型的技術方案為：一種用于垂直腔面發射激光器的測試裝置，包括氧化爐腔體、加熱裝置、高溫水蒸氣發生裝置、紅外成像儀、控制系統，所述的加熱裝置設置在氧化爐腔體下端，所述的氧化爐腔體內放置有待測試的垂直腔面發射激光器(VCSEL)，通過加熱裝置給氧化爐腔體加熱，從而給放置于其內的待測試的垂直腔面發射激光器(VCSEL)加熱；

所述的高溫水蒸氣發生裝置通過管道與氧化爐腔體相連通，通過高溫水蒸氣發生裝置將產生的高溫水蒸氣輸送至氧化爐腔體中，從而對待測試的垂直腔面發射激光器(VCSEL)進行氧化處理；

所述的紅外成像儀設置在氧化腔體的上端，部分所述的紅外成像儀伸入氧化爐腔體內，并且該所述的紅外成像儀與控制系統連接，所述的紅外成像儀用于拍攝待測試的垂直腔面發射激光器(VCSEL)氧化前的圖像或視頻、以及氧化后的圖像或視頻，并且對拍攝的圖像自動標尺，并將標尺后的圖像傳輸給控制系統；