[實用新型]一種自反饋密封腔氣體取樣裝置

有效

• 申請號: 201821120497.0
• 申請日: 2018-07-10
• 公開（公告）號: CN208432441U
• 公開（公告）日: 2019-01-25
• 發明（設計）人: 田先清;王新鋒
• 申請（專利權）人: 中國工程物理研究院化工材料研究所
• 主分類號: G01N1/22
• 分類號: G01N1/22
• 代理公司: 四川省成都市天策商標專利事務所 51213
• 代理人: 劉興亮;吳瑞芳

本實用新型公開了一種自反饋密封腔氣體取樣裝置，包括工作臺，樣品載物臺通過上蓋組件固定在工作臺上，密封穿刺組件通過密封法蘭盤與工作臺連接，真空壓力傳感器通過密封法蘭盤與工作臺連接，上蓋組件通過設置在上蓋組件卡槽內的密封圈與工作臺固定，并通過限位塊固定在工作臺上，在上蓋組件的內腔中設置有樣品載物臺，樣品載物臺和上蓋組件之間有相互連通的排氣管路。本實用新型密封腔氣體取樣裝置集樣品整體檢漏、樣品內密封腔體積測定以及樣品內密封腔氣氛取樣與分析等功能于一體；易于實現一鍵式操控；樣品載物臺適用于不同規格的樣品，無螺釘等緊固件，更換樣品方便。

技術領域

本實用新型涉及一種氣體取樣裝置，具體涉及一種自反饋密封腔氣體取樣裝置，屬于氣體分析技術領域。

背景技術

密封產品內部氣氛分析在電子、航空、通訊、醫藥、化學等領域具有廣闊的應用需求。不僅可以對微電子、電子元器件、電真空器件內部水汽及其它氣氛檢測評價，還可以對火炸藥與高分子老化釋氣進行原位分析研究，是器件與材料失效分析的重要手段之一，而且在陶瓷、金屬材料排氣工藝分析評價、各類封裝工藝和質量控制、材料改進、產品篩選等方面都有應用前景。

目前,密封產品內部殘存氣體的檢測(通常稱為“內部氣氛分析”)采用內部氣氛分析儀進行，其主要原理是從氣密封器件內部取樣后進行電離，然后采用四級質譜儀進行質量分離計數，最后給出各種氣體的摩爾體積比,對于數據庫中沒有的氣體，采用N₂進行歸零。在此過程中，取樣和數據分析是保證內部殘存氣氛檢測準確性的關鍵技術。

取樣技術直接關系到檢測結果的準確度，取樣的關鍵在于穿刺面的選取、穿刺力度和樣品的有效固定。對于有平整外表面的氣密封器件，將樣品某個平整的外表面通過O型密封圈連接到內部氣氛分析儀上，再將O型密封圈內部樣品表面附近連同整個取樣通道均抽成真空，然后用穿刺鋼針在該表面扎一個小孔進行取樣測試。而對于樣品較小或沒有可以利用的穿刺平面(表面易碎,如玻璃和白陶瓷封蓋)的器件，需將樣品放入一個密封的特制夾具內,夾具有一個孔隙可以通過O型密封圈連接到測試設備的取樣臺上，將夾具內腔以及整個取樣通道都抽成真空狀態后，用穿刺鋼針在樣品外表面扎一個小孔進行取樣測試。穿刺力的掌握主要靠經驗積累，既要扎穿樣品又不能導致樣品表面出現大的變形而漏氣。

密封樣品取樣技術直接關系到取樣結果的準確度，而常規沖擊取樣方式易造成表面變形漏氣，且穿刺力度由經驗控制，影響密封樣品的準確度。

實用新型內容

本實用新型的目的之一在于提供一種自反饋密封腔氣體取樣裝置，采用自反饋式、轉動取樣方式，解決穿刺過程樣品變形漏氣及穿刺力經驗控制的問題，提供一種更為科學、高效的密封樣品取樣技術，提高取樣的準確度。

本實用新型是這樣實現的：

一種自反饋密封腔氣體取樣裝置，包括工作臺，以及與工作臺相連的上蓋組件、樣品載物臺、密封穿刺組件、真空壓力傳感器，樣品載物臺通過上蓋組件固定在工作臺上，所述密封穿刺組件通過密封法蘭盤與工作臺連接，所述真空壓力傳感器通過密封法蘭盤與工作臺連接，上蓋組件通過設置在上蓋組件卡槽內的密封圈與工作臺固定，并通過限位塊固定在工作臺上，在上蓋組件的內腔中設置有樣品載物臺，樣品載物臺和上蓋組件之間有相互連通的排氣管路，在工作臺兩側分別設置有兩個真空截止閥，吹掃氣接口連接第一真空截止閥，在取樣接口也連接有第二真空截止閥。

所述的上蓋組件通過設置在上蓋組件卡槽及密封圈卡槽內的密封圈密封，所述的上蓋組件設置有真空接口，真空接口上設置有上蓋組件真空截止閥，在上蓋組件上部設置有步進電機，步進電機下方設置有密封上蓋，在密封上蓋的底部內側設置有壓力傳感器。

在密封上蓋內部設置有樣品載物臺，樣品載物臺是由適配塊和適配片組成的，在樣品載物臺內設置有樣品，樣品與適配塊之間設置有適配片，在密封上蓋及樣品載物臺上設置有穿過密封上蓋和樣品載物臺的排氣槽。

所述密封穿刺組件包括與超高真空步進電機相連的步進桿，步進桿上設置有穿刺轉頭。