[實用新型]一種可進行SIC槳沉降檢測的擴散爐

有效

• 申請號: 201821104899.1
• 申請日: 2018-07-12
• 公開（公告）號: CN208422865U
• 公開（公告）日: 2019-01-22
• 發明（設計）人: 雷小龍;李龍;李富林
• 申請（專利權）人: 通威太陽能（成都）有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66;H01L21/67;H01L21/22;H01L31/18
• 代理公司: 成都弘毅天承知識產權代理有限公司 51230
• 代理人: 鄒敏菲;吳靜宜

1.一種可進行SIC槳沉降檢測的擴散爐，包括凈化臺(11)、石英舟(10)、爐體柜(13)；凈化臺(11)包括導軌(3)、在導軌上滑動的槳頭夾持支撐機構、槳頭夾持支撐機構夾持的用于承載石英舟(10)的SIC槳(9)；爐體柜(13)包括石英爐管(1)、爐門(2)，以及控制爐門(2)開啟的控制機構，其特征在于，包括設置在凈化臺(11)上由控制機構控制的、檢測需進入石英爐管(1)的SIC槳(9)是否發生沉降的拖舟保護裝置，以及設置在導軌(3)上與槳頭夾持支撐機構配合、用于檢測拖舟保護裝置檢測的沉降信號是否有效的檢測模塊。

2.根據權利要求1所述的一種可進行SIC槳沉降檢測的擴散爐，其特征在于，所述槳頭夾持支撐機構包括與導軌(3)滑動配合的支撐機構(8)、設置在支撐機構(8)上的金屬擋片(7)，和用于夾持SIC槳的漿頭(6)。

3.根據權利要求1或2所述的一種可進行SIC槳沉降檢測的擴散爐，其特征在于，所述拖舟保護裝置包括雷射傳感器(12)；所述檢測模塊為光敏感應器(4)，光敏感應器(4)通過檢測金屬擋片(7)是否遮擋其光線，以產生信號來檢測拖舟保護裝置檢測的沉降信號是否有效。

4.根據權利要求1所述的一種可進行SIC槳沉降檢測的擴散爐，其特征在于，所述石英舟(10)包括位于兩端的端板，在運行方向前方的端板稱為前方端板(101)。

5.根據權利要求3所述的一種可進行SIC槳沉降檢測的擴散爐，其特征在于，所述光敏感應器(4)通過一個U型槽(5)設置在導軌(3)上方，光敏感應器(4)與U型槽(5)相配合滑動；所述雷射傳感器(12)設置在爐門(2)側方。

6.根據權利要求4或5所述的一種可進行SIC槳沉降檢測的擴散爐，其特征在于，若SIC槳(9)不發生沉降，雷射傳感器(12)的照射點位于石英舟(10)的前方端板(101)，誤差區間為距離前方端板(101)頂部距離大于1mm且小于等于5mm。

7.根據權利要求1所述的一種可進行SIC槳沉降檢測的擴散爐，其特征在于，所述凈化臺(11)包括安全管理系統，安全管理系統包括檢測到SIC槳(9)沉降時行進報警的報警模塊，以及控制伺服電機停止工作的控制模塊。