[實用新型]硅片輸送載具及硅片傳送裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821103922.5
• 申請日: 2018-07-12
• 公開（公告）號: CN208507708U
• 公開（公告）日: 2019-02-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 蘇金財
• 申請（專利權(quán)）人: 東莞市科隆威自動化設(shè)備有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/673;H01L21/677
• 代理公司: 東莞市創(chuàng)益專利事務(wù)所 44249
• 代理人: 許彬

本實用新型涉及太陽能電池硅片生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，尤其是硅片輸送載具，其具有承載板及由承載板引伸的圍欄，圍欄在承載板的端頭立起，且圍欄遠(yuǎn)離承載板的一端設(shè)有耳托部；承載板和圍欄滿足硅片側(cè)立置放，耳托部圍設(shè)硅片的相應(yīng)側(cè)邊；承載板固定在鏈條上，鏈條組裝嚙合鏈輪，鏈輪安裝在轉(zhuǎn)動軸上，轉(zhuǎn)動軸安裝在固定座上，獲得鏈條循環(huán)傳送的硅片傳送裝置。結(jié)構(gòu)簡單，組裝使用簡便，傳送平穩(wěn)、準(zhǔn)確，上下料方便，還可實現(xiàn)翻面轉(zhuǎn)換，邊緣接觸，避免接觸硅片的中部，有效保護(hù)硅片上的印刷，提升產(chǎn)品成品率及光電效率，利于HIT太陽能光伏電池硅片生產(chǎn)。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及太陽能電池硅片生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及用于印刷導(dǎo)電漿的硅片輸送結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)

HIT太陽能光伏電池是以光照射側(cè)的p/i型a-Si膜和背面?zhèn)鹊膇/n型a-Si膜夾住單結(jié)晶硅片來構(gòu)成的。HIT太陽能光伏電池基板以硅基板為主，在硅基板上沉積高能隙的硅納米薄膜，表層再沉積透明導(dǎo)電膜，背面設(shè)有背表面電場。通過優(yōu)化硅的表面結(jié)構(gòu)，可以降低透明導(dǎo)電氧化層和a-Si層的光學(xué)吸收損耗。

HIT太陽能光伏電池制備時，硅片表面印刷完導(dǎo)電漿后需要進(jìn)行烘干，而傳統(tǒng)烘干設(shè)備采用硅片平躺傳送，以致硅片下側(cè)面與傳送帶接觸部分不易烘干，且容易破壞印刷面，導(dǎo)致工藝時間長，烘干效果不佳，成品率低。

發(fā)明內(nèi)容

本實用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)缺陷，提供一種硅片輸送載具及硅片傳送裝置，實現(xiàn)硅片側(cè)立置放傳送，并有效保護(hù)硅片上的印刷部，滿足HIT太陽能光伏電池硅片生產(chǎn)，提升烘干效果及成品率。

為達(dá)到上述目的，本實用新型采用如下技術(shù)方案：

硅片輸送載具，其具有承載板及由承載板引伸的圍欄，圍欄在承載板的端頭立起，且圍欄遠(yuǎn)離承載板的一端設(shè)有耳托部；承載板和圍欄滿足硅片側(cè)立置放，耳托部圍設(shè)硅片的相應(yīng)側(cè)邊。

上述方案中，所述圍欄由桿體彎折構(gòu)造，圍欄具有前后間隔的立桿，立桿之間的間隙適配硅片側(cè)立置放，前后兩根立桿遠(yuǎn)離承載板的一端由耳托部連在一起。

上述方案中，所述承載板與圍欄組合成凹字形，承載板與硅片輸送方向交叉橫設(shè)，承載板的上側(cè)面與圍欄合圍滿足硅片側(cè)立置放，且承載板設(shè)有貫通上下側(cè)面的鏤空孔。

上述方案中，所述承載板的上側(cè)面設(shè)有承墊部，該承墊部墊高硅片的相應(yīng)側(cè)邊，使硅片的相應(yīng)側(cè)邊與承載板的上側(cè)面留有間隙。

為達(dá)到上述目的，本實用新型還采用如下技術(shù)方案：

硅片傳送裝置，該硅片傳送裝置具有上述的硅片輸送載具，該硅片輸送載具的承載板固定在鏈條上，鏈條組裝嚙合鏈輪，鏈輪安裝在轉(zhuǎn)動軸上，轉(zhuǎn)動軸安裝在固定座上；硅片輸送載具的圍欄朝遠(yuǎn)離鏈條的方向凸伸，且承載板和圍欄滿足硅片側(cè)立置放，圍欄在承載板的端頭立起，且圍欄遠(yuǎn)離承載板的一端設(shè)有耳托部，耳托部圍設(shè)硅片的相應(yīng)側(cè)邊。

上述方案中，所述承載板通過支撐立桿固定在鏈條上，支撐立桿的一端連接承載板的居中位；承載板與圍欄組合成凹字形，承載板與硅片輸送方向交叉橫設(shè)，承載板的上側(cè)面與圍欄合圍滿足硅片側(cè)立置放，且承載板設(shè)有貫通上下側(cè)面的鏤空孔。

上述方案中，所述圍欄由桿體彎折構(gòu)造，圍欄具有前后間隔的立桿，立桿之間的間隙適配硅片側(cè)立置放，前后兩根立桿遠(yuǎn)離承載板的一端由耳托部連在一起。

上述方案中，所述承載板的上側(cè)面設(shè)有承墊部，該承墊部墊高硅片的相應(yīng)側(cè)邊，使硅片的相應(yīng)側(cè)邊與承載板的上側(cè)面留有間隙。

上述方案中，所述轉(zhuǎn)動軸上并列兩個或兩個以上的鏈輪，每個鏈輪嚙合連接一條鏈條，每條鏈條上順著鏈條長度間隔布置硅片輸送載具。