[實用新型]硅片輸送載具及硅片傳送裝置

有效

• 申請號: 201821103922.5
• 申請日: 2018-07-12
• 公開（公告）號: CN208507708U
• 公開（公告）日: 2019-02-15
• 發明（設計）人: 蘇金財
• 申請（專利權）人: 東莞市科隆威自動化設備有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/673;H01L21/677
• 代理公司: 東莞市創益專利事務所 44249
• 代理人: 許彬

1.硅片輸送載具，其特征在于：具有承載板（1）及由承載板（1）引伸的圍欄（2），圍欄（2）在承載板（1）的端頭立起，且圍欄（2）遠離承載板（1）的一端設有耳托部（21）；承載板（1）和圍欄（2）滿足硅片側立置放，耳托部（21）圍設硅片的相應側邊。

2.根據權利要求1所述的硅片輸送載具，其特征在于：所述圍欄（2）由桿體彎折構造，圍欄（2）具有前后間隔的立桿（22），立桿（22）之間的間隙適配硅片側立置放，前后兩根立桿（22）遠離承載板（1）的一端由耳托部（21）連在一起。

3.根據權利要求1所述的硅片輸送載具，其特征在于：所述承載板（1）與圍欄（2）組合成凹字形，承載板（1）與硅片輸送方向交叉橫設，承載板（1）的上側面與圍欄（2）合圍滿足硅片側立置放，且承載板（1）設有貫通上下側面的鏤空孔（11）。

4.根據權利要求3所述的硅片輸送載具，其特征在于：所述承載板（1）的上側面設有承墊部（12），該承墊部（12）墊高硅片的相應側邊，使硅片的相應側邊與承載板（1）的上側面留有間隙。

5.硅片傳送裝置，其特征在于：該硅片傳送裝置具有上述權利要求1~4任一項的硅片輸送載具，該硅片輸送載具的承載板（1）固定在鏈條（3）上，鏈條（3）組裝嚙合鏈輪（4），鏈輪（4）安裝在轉動軸（5）上，轉動軸（5）安裝在固定座（6）上；硅片輸送載具的圍欄（2）朝遠離鏈條（3）的方向凸伸，且承載板（1）和圍欄（2）滿足硅片側立置放，圍欄（2）在承載板（1）的端頭立起，且圍欄（2）遠離承載板（1）的一端設有耳托部（21），耳托部（21）圍設硅片的相應側邊。

6.根據權利要求5所述的硅片傳送裝置，其特征在于：所述承載板（1）通過支撐立桿（7）固定在鏈條（3）上，支撐立桿（7）的一端連接承載板（1）的居中位；承載板（1）與圍欄（2）組合成凹字形，承載板（1）與硅片輸送方向交叉橫設，承載板（1）的上側面與圍欄（2）合圍滿足硅片側立置放，且承載板（1）設有貫通上下側面的鏤空孔（11）。

7.根據權利要求5所述的硅片傳送裝置，其特征在于：所述圍欄（2）由桿體彎折構造，圍欄（2）具有前后間隔的立桿（22），立桿（22）之間的間隙適配硅片側立置放，前后兩根立桿（22）遠離承載板（1）的一端由耳托部（21）連在一起。

8.根據權利要求5或6所述的硅片傳送裝置，其特征在于：所述承載板（1）的上側面設有承墊部（12），該承墊部（12）墊高硅片的相應側邊，使硅片的相應側邊與承載板（1）的上側面留有間隙。

9.根據權利要求5所述的硅片傳送裝置，其特征在于：所述轉動軸（5）上并列兩個或兩個以上的鏈輪（4），每個鏈輪（4）嚙合連接一條鏈條（3），每條鏈條（3）上順著鏈條長度間隔布置硅片輸送載具。