[實用新型]放電型氣體激光裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821094088.8
• 申請日: 2018-07-11
• 公開（公告）號: CN208637787U
• 公開（公告）日: 2019-03-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 仏師田了;田中誠;勝海久和;野川博行
• 申請（專利權(quán)）人: 極光先進(jìn)雷射株式會社
• 主分類號: H01S3/041
• 分類號: H01S3/041
• 代理公司: 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 陶海萍;田勇

本實用新型提供一種放電型氣體激光裝置。所述放電型氣體激光裝置包括：激光腔室、電源腔室、預(yù)電離電容器和冷卻機(jī)構(gòu)；所述冷卻機(jī)構(gòu)配置于所述電源腔室內(nèi)，包括制冷劑供應(yīng)部和制冷劑排出部；其中，所述制冷劑供應(yīng)部形成為管狀并且具有朝向所述預(yù)電離電容器的開口。由此，制冷劑能夠通過管狀制冷劑供應(yīng)部的開口噴涂至預(yù)電離電容器的表面，并且能夠增加流通至預(yù)電離電容器的制冷劑的量，從而促進(jìn)預(yù)電離電容器的內(nèi)部冷卻。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域，尤其涉及一種放電型氣體激光裝置。

背景技術(shù)

在放電型氣體激光裝置中，激光腔室是主要的部件之一。激光腔室一般具有一對預(yù)電離電極以及一對預(yù)電離電容器(也可稱為預(yù)電離電極用電容器)、多個電極電容器(也可稱為放電電極用電容器)以及一對主放電電極；其中，一對預(yù)電離電容器與一對預(yù)電離電極分別電連接，一對主放電電極中的至少一個電極與多個電極電容器連接。

例如，專利文獻(xiàn)1(JP2003-249703A)和專利文獻(xiàn)2(WO2015/186489)公開了上述類似的結(jié)構(gòu)。

應(yīng)當(dāng)注意，上面對背景技術(shù)的介紹只是為了方便對本申請的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整的說明，并方便本領(lǐng)域技術(shù)人員的理解而闡述的。不能僅僅因為這些方案在本申請的背景技術(shù)部分進(jìn)行了闡述而認(rèn)為上述技術(shù)方案為本領(lǐng)域技術(shù)人員所公知。

實用新型內(nèi)容

發(fā)明人發(fā)現(xiàn)：在現(xiàn)有的放電型氣體激光裝置中，各個電容器的內(nèi)部溫度容易升高。當(dāng)預(yù)電離電容器(可以用Cp’表示)的內(nèi)部溫度上升時，其電容量容易發(fā)生變動。例如，當(dāng)超過110攝氏度(℃)時，Cp’電容器的電容量發(fā)生較大變動，激光裝置不再進(jìn)行最佳動作。

為了解決上述問題，本實用新型提供一種放電型氣體激光裝置，期待提升對預(yù)電離電容器的內(nèi)部溫度進(jìn)行抑制的效果。

根據(jù)本實用新型實施例的第一方面，提供了一種放電型氣體激光裝置，包括：

激光腔室，其收容放電電極和預(yù)電離電極；

電源腔室，其收容向所述放電電極和所述預(yù)電離電極提供電勢的電源；

預(yù)電離電容器，其配置于所述電源腔室內(nèi)，且向所述預(yù)電離電極提供用于預(yù)電離的電勢；

冷卻機(jī)構(gòu)，其配置于所述電源腔室內(nèi)，包括制冷劑供應(yīng)部和制冷劑排出部；所述制冷劑供應(yīng)部提供用于對所述預(yù)電離電容器進(jìn)行冷卻的制冷劑，所述制冷劑排出部使所述制冷劑從所述電源腔室排出；

其中，所述制冷劑供應(yīng)部形成為管狀并且具有朝向所述預(yù)電離電容器的開口。

根據(jù)本實用新型實施例的第二方面，其中，所述預(yù)電離電容器包括電容器端子以及在所述電容器端子的周圍延伸的樹脂表面；所述電容器端子和所述樹脂表面被配置成與所述制冷劑供應(yīng)部的所述開口相對。

根據(jù)本實用新型實施例的第三方面，其中，所述制冷劑供應(yīng)部的所述開口的直徑為4毫米或以下。

根據(jù)本實用新型實施例的第四方面，其中，所述制冷劑供應(yīng)部和所述預(yù)電離電容器被配置成：所述制冷劑供應(yīng)部的制冷劑供應(yīng)軸相對于所述預(yù)電離電容器的中心軸呈0度至60度的角度。

根據(jù)本實用新型實施例的第五方面，其中，所述預(yù)電離電容器呈直徑為D的圓筒形狀；并且所述制冷劑供應(yīng)部和所述預(yù)電離電容器被配置成：所述制冷劑供應(yīng)部的制冷劑供應(yīng)軸朝向距所述預(yù)電離電容器的中心軸具有D/4距離的所述樹脂表面的位置。

根據(jù)本實用新型實施例的第六方面，其中，所述預(yù)電離電容器呈直徑為D的圓筒形狀；并且所述制冷劑供應(yīng)部和所述預(yù)電離電容器被配置成：所述制冷劑供應(yīng)部的所述開口與所述樹脂表面之間的距離為2D至10D的間隔。

根據(jù)本實用新型實施例的第七方面，其中，從所述制冷劑供應(yīng)部的所述開口噴出的所述制冷劑的流量為5升/分鐘或以上。