[實(shí)用新型]放電型氣體激光裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821094088.8
• 申請(qǐng)日: 2018-07-11
• 公開（公告）號(hào): CN208637787U
• 公開（公告）日: 2019-03-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 仏師田了;田中誠;勝海久和;野川博行
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 極光先進(jìn)雷射株式會(huì)社
• 主分類號(hào): H01S3/041
• 分類號(hào): H01S3/041
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 陶海萍;田勇

1.一種放電型氣體激光裝置，其特征在于，所述放電型氣體激光裝置包括：

激光腔室，其收容放電電極和預(yù)電離電極；

電源腔室，其收容向所述放電電極和所述預(yù)電離電極提供電勢(shì)的電源；

預(yù)電離電容器，其配置于所述電源腔室內(nèi)，并且向所述預(yù)電離電極提供用于預(yù)電離的電勢(shì)；

冷卻機(jī)構(gòu)，其配置于所述電源腔室內(nèi)，包括制冷劑供應(yīng)部和制冷劑排出部；所述制冷劑供應(yīng)部提供用于對(duì)所述預(yù)電離電容器進(jìn)行冷卻的制冷劑，所述制冷劑排出部使所述制冷劑從所述電源腔室排出；

其中，所述制冷劑供應(yīng)部形成為管狀并且具有朝向所述預(yù)電離電容器的開口。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的放電型氣體激光裝置，其中，所述預(yù)電離電容器包括電容器端子以及在所述電容器端子的周圍延伸的樹脂表面；

所述電容器端子和所述樹脂表面被配置成與所述制冷劑供應(yīng)部的所述開口相對(duì)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的放電型氣體激光裝置，其中，所述制冷劑供應(yīng)部的所述開口的直徑為4毫米或以下。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的放電型氣體激光裝置，其中，所述制冷劑供應(yīng)部和所述預(yù)電離電容器被配置成：所述制冷劑供應(yīng)部的制冷劑供應(yīng)軸相對(duì)于所述預(yù)電離電容器的中心軸呈0度至60度的角度。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的放電型氣體激光裝置，其中，所述預(yù)電離電容器呈直徑為D的圓筒形狀；并且

所述制冷劑供應(yīng)部和所述預(yù)電離電容器被配置成：所述制冷劑供應(yīng)部的制冷劑供應(yīng)軸朝向距所述預(yù)電離電容器的中心軸具有D/4距離的所述樹脂表面的位置。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的放電型氣體激光裝置，其中，所述預(yù)電離電容器呈直徑為D的圓筒形狀；并且

所述制冷劑供應(yīng)部和所述預(yù)電離電容器被配置成：所述制冷劑供應(yīng)部的所述開口與所述樹脂表面之間的距離為2D至10D的間隔。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的放電型氣體激光裝置，其中，從所述制冷劑供應(yīng)部的所述開口噴出的所述制冷劑的流量為5升/分鐘或以上。

8.根據(jù)權(quán)利要求1至7任一項(xiàng)所述的放電型氣體激光裝置，其中，所述預(yù)電離電容器包括至少兩個(gè)；并且

所述制冷劑供應(yīng)部包括至少兩個(gè)所述開口，分別對(duì)所述至少兩個(gè)預(yù)電離電容器進(jìn)行冷卻。

9.根據(jù)權(quán)利要求1至7任一項(xiàng)所述的放電型氣體激光裝置，其中，所述放電型氣體激光裝置還包括：

電極電容器，其配置于所述電源腔室內(nèi)，并且向所述放電電極提供用于放電的電勢(shì)。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的放電型氣體激光裝置，其中，所述冷卻機(jī)構(gòu)還包括一個(gè)或多個(gè)制冷劑流路；所述制冷劑還經(jīng)由所述制冷劑流路而對(duì)所述預(yù)電離電容器和/或所述電極電容器進(jìn)行冷卻。