[實用新型]一種視窗結構及蒸發臺

有效

• 申請號: 201821089640.4
• 申請日: 2018-07-10
• 公開（公告）號: CN208501084U
• 公開（公告）日: 2019-02-15
• 發明（設計）人: 王志達;袁守良;邵旭
• 申請（專利權）人: 吉林華微電子股份有限公司
• 主分類號: C23C14/30
• 分類號: C23C14/30;C23C14/50;C23C14/52
• 代理公司: 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙) 11371
• 代理人: 李進

一種視窗結構及蒸發臺，屬于半導體生產領域。視窗結構包括遮光筒、遮光擋板、遮光鏡以及視窗。遮光筒為由第一端至第二端延伸而成的具有中空通道的柱形結構。非透明的遮光擋結合在遮光筒內。遮光擋板具有能夠被用于觀察蒸發臺內部的觀察孔。遮光鏡以能夠轉動的方式沿遮光筒的徑向布置且鄰近遮光擋板。遮光鏡定義有能夠覆蓋觀察孔的多個覆蓋部，遮光鏡被構造來通過轉動而改變以多個覆蓋部中的任意一個覆蓋觀察孔。視窗被構造來封閉遮光筒的中空通道。視窗結合在遮光筒的第一端，且遮光鏡位于遮光擋板和視窗之間。視窗結構能夠使得蒸發臺的蒸鍍過程具有更好的可控性，可以對蒸發臺內的設備進行適時的觀察，以減少設備的損壞。

技術領域

本實用新型涉及半導體生產領域，具體而言，涉及一種視窗結構及蒸發臺。

背景技術

電子束蒸發鍍膜設備是半導體工藝制程中的一種關鍵設備。它主要用來對集成電路實現布線，適用于對鋁、銅、鎳、銀等金屬及難熔的金屬和合金進行蒸發鍍膜，并且擁有蒸發鍍膜所需要的電子槍及相應的電源和控制系統。

MARK50蒸發設備是電子束蒸發鍍膜的常用設備。MARK50主要包括兩大核心部分，其一為電源、其二為控制系統。它采用的電源是CHA公司的SR-14電源，控制系統則采用SRCONTROLLER-1(SR-1)。

發明人發現，在采用mark50進行蒸鍍操作時，蒸發工序蒸發共晶品種的工藝中，在金屬錫化源后，打開擋板進行蒸錫蒸到(埃，0.1納米)將常常導致觀察視窗玻璃被金屬錫全部覆蓋，操作者無法觀察到腔室內電子束蒸錫時狀態、形狀，完全憑借經驗和感覺。而蒸錫的厚度是由于長時間看不到電子束，時常會出現崩源的問題，也會出現電子束打到坩堝上或者離坩堝邊緣太近出現啃鍋現象降低坩堝使用壽命，出現以上問題都會對芯片質量造成影響。

有鑒于此，改造mark50就顯得很有必要。

公開于該背景技術部分的信息僅僅旨在加深對本實用新型的總體背景技術的理解，而不應當被視為承認或以任何形式暗示該信息構成已為本領域技術人員所公知的現有技術。

實用新型內容

基于現有技術的不足，本實用新型提供了一種視窗結構及蒸發臺，以部分或全部地改善、甚至解決現有技術中的問題。

本實用新型是這樣實現的：

在本實用新型的第一方面，實施例提供了一種視窗結構。

視窗結構用于蒸發臺，以便對蒸發臺內的坩堝、電子束等進行觀察，進而可以根據蒸鍍情況進行適時的調整和控制。

視窗結構包括：

被構造來安裝于蒸發臺的遮光筒，遮光筒為由第一端至第二端延伸而成的具有中空通道的柱形結構，第二端位于蒸發臺內部；

非透明的遮光擋板，遮光擋板結合在遮光筒內，遮光擋板具有能夠被用于觀察蒸發臺內部的觀察孔；

透明的遮光鏡，遮光鏡以能夠轉動的方式沿遮光筒的徑向布置且鄰近遮光擋板，遮光鏡定義有能夠覆蓋觀察孔的多個覆蓋部，遮光鏡被構造來通過轉動而改變以多個覆蓋部中的任意一個覆蓋觀察孔；

被構造來封閉遮光筒的中空通道的透明的視窗，視窗結合在遮光筒的第一端，且遮光鏡位于遮光擋板和視窗之間。

在其他的一個或多個示例中，觀察孔為長條形。

在其他的一個或多個示例中，觀察孔沿遮光擋板的徑向延伸。

在其他的一個或多個示例中，視窗由石英制作而成。

在其他的一個或多個示例中，遮光筒由不銹鋼制作而成。

在其他的一個或多個示例中，視窗結構還包括與遮光鏡匹配設置有的手柄，手柄在遮光筒的軸向延伸，手柄能夠受外力驅動而使遮光鏡旋轉。