[實用新型]一種視窗結構及蒸發臺有效
| 申請號： | 201821089640.4 | 申請日： | 2018-07-10 |
| 公開（公告）號： | CN208501084U | 公開（公告）日： | 2019-02-15 |
| 發明（設計）人： | 王志達;袁守良;邵旭 | 申請（專利權）人： | 吉林華微電子股份有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/30 | 分類號： | C23C14/30;C23C14/50;C23C14/52 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 李進 |
| 地址： | 132013 吉*** | 國省代碼： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 遮光筒 遮光鏡 蒸發臺 視窗結構 遮光擋板 視窗 觀察孔 中空通道 覆蓋 第一端 轉動 減少設備 徑向布置 柱形結構 非透明 可控性 觀察 遮光 蒸鍍 半導體 鄰近 封閉 延伸 | ||
1.一種視窗結構，用于蒸發臺，其特征在于，包括：
被構造來安裝于所述蒸發臺的遮光筒，所述遮光筒為由第一端至第二端延伸而成的具有中空通道的柱形結構，所述第二端位于所述蒸發臺內部；
非透明的遮光擋板，所述遮光擋板結合在所述遮光筒內，所述遮光擋板具有能夠被用于觀察所述蒸發臺內部的觀察孔；
透明的遮光鏡，所述遮光鏡以能夠轉動的方式沿所述遮光筒的徑向布置且鄰近所述遮光擋板，所述遮光鏡定義有能夠覆蓋所述觀察孔的多個覆蓋部，所述遮光鏡被構造來通過轉動而改變以所述多個覆蓋部中的任意一個覆蓋所述觀察孔；
被構造來封閉所述遮光筒的所述中空通道的透明的視窗，所述視窗結合在所述遮光筒的所述第一端，且所述遮光鏡位于所述遮光擋板和所述視窗之間。
2.根據權利要求1所述的視窗結構，其特征在于，所述觀察孔為長條形。
3.根據權利要求2所述的視窗結構，其特征在于，所述觀察孔沿所述遮光擋板的徑向延伸。
4.根據權利要求1所述的視窗結構，其特征在于，所述視窗由石英制作而成。
5.根據權利要求1所述的視窗結構，其特征在于，所述遮光筒由不銹鋼制作而成。
6.根據權利要求1所述的視窗結構，其特征在于，所述視窗結構還包括與所述遮光鏡匹配設置有的手柄，所述手柄在所述遮光筒的軸向延伸，所述手柄能夠受外力驅動而使所述遮光鏡旋轉。
7.根據權利要求6所述的視窗結構，其特征在于，所述手柄通過軸和軸套的配合分別與所述遮光鏡、所述視窗連接，所述遮光鏡與所述手柄能夠同步轉動、且相對所述視窗轉動。
8.根據權利要求6或7所述的視窗結構，其特征在于，所述手柄還設置有墊。
9.根據權利要求7所述的視窗結構，其特征在于，所述軸和所述軸套之間設置有墊圈。
10.一種蒸發臺，其特征在于，所述蒸發臺具有殼壁，所述殼壁開設有通孔，如權利要求1～9中任一項所述的視窗結構通過所述遮光筒穿設通孔而安裝在所述殼壁。
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