[實用新型]一種處理半導體制程廢氣的旋風式合氧燃燒裝置

有效

• 申請號: 201821080205.5
• 申請日: 2018-07-09
• 公開（公告）號: CN208687746U
• 公開（公告）日: 2019-04-02
• 發明（設計）人: 寧騰飛;司馬超;楊春水;張坤;趙力行;鄒昭平;蔣俊海;于浩
• 申請（專利權）人: 安徽京儀自動化裝備技術有限公司
• 主分類號: F23G7/06
• 分類號: F23G7/06;F23J15/04
• 代理公司: 蕪湖思誠知識產權代理有限公司 34138
• 代理人: 鄭直

1.一種處理半導體制程廢氣的旋風式合氧燃燒裝置，包括機體(1)，其特征在于：所述機體(1)的上端外表面靠近左側為止固定安裝有燃燒室(2)，所述燃燒室(2)的上端外表面固定安裝有廢氣輸料管(3)，所述廢氣輸料管(3)的上端外表面固定安裝有廢氣輸出端(4)，所述廢氣輸料管(3)的左側固定安裝有旋風電機(5)，所述燃燒室(2)的內壁頂端位置固定安裝有軸承裝置(6)，所述軸承裝置(6)的內部套設有空心管(62)，所述軸承裝置(6)與空心管(62)之間活動安裝有滾輪(61)，所述燃燒室(2)的內部活動安裝有廢氣室(7)，所述廢氣室(7)的外表面開設有漏氣孔(8)，所述燃燒室(2)與廢氣室(7)之間固定安裝有燃燒腔槽(9)，所述機體(1)的內部固定安裝有一號電機(10)，所述一號電機(10)的上端外表面固定安裝有一號旋轉桿(11)，所述燃燒室(2)的左側外表面活動安裝有打火裝置(12)，所述打火裝置(12)包括打火室(121)，所述打火室(121)內部固定安裝有打火石(122)，所述打火石(122)的一側活動安裝有摩擦條(123)，所述打火室(121)的左側活動安裝有橫桿(124)，所述打火室(121)的外表面開設有進氣孔(125)，所述燃燒室(2)的右側設置有燃氣輸出端(13)，所述燃氣輸出端(13)與燃燒室(2)之間固定安裝有燃氣輸料管(14)，所述燃燒室(2)的右側外表面靠近上方位置固定安裝有風機(15)，所述風機(15)與燃燒室(2)之間固定安裝有進風管(16)，所述機體(1)的上端外表面靠近右側位置固定安裝有水反應室(17)，所述燃燒室(2)與水反應室(17)之間固定安裝有出風管(18)，所述出風管(18)與水反應室(17)之間固定安裝有出氣板(19)，所述水反應室(17)的上方固定安裝有二號電機(20)，所述二號電機(20)的下端外表面固定安裝有二號旋轉桿(21)，所述水反應室(17)的內壁頂端固定安裝有軸承(22)，且水反應室(17)的內部活動安裝有螺旋水管(23)，所述螺旋水管(23)的外表面開設有出水孔(24)，所述機體(1)的內部靠近右側位置固定安裝有水泵(25)，且機體(1)的右側外表面固定安裝有水箱(26)，所述水泵(25)與水箱(26)之間固定安裝有進水管(27)，且水泵(25)與水反應室(17)之間固定安裝有出水管(28)，所述水反應室(17)的右側靠近底端位置連通有出水口(29)。

2.根據權利要求1所述的一種處理半導體制程廢氣的旋風式合氧燃燒裝置，其特征在于：所述一號旋轉桿(11)遠離一號電機(10)的一端活動連接廢氣室(7)，且一號旋轉桿(11)貫穿依次燃燒室(2)和燃燒腔槽(9)并延伸至燃燒腔槽(9)內部。

3.根據權利要求1所述的一種處理半導體制程廢氣的旋風式合氧燃燒裝置，其特征在于：所述進風管(16)的頂端固定安裝有過濾板，且進風管(16)貫穿燃燒室(2)并延伸至燃燒室(2)內部。

4.根據權利要求1所述的一種處理半導體制程廢氣的旋風式合氧燃燒裝置，其特征在于：所述出氣板(19)的外表面開設有出氣孔(191)，且出氣板(19)的外表面為弧形。

5.根據權利要求1所述的一種處理半導體制程廢氣的旋風式合氧燃燒裝置，其特征在于：所述一號電機(10)位于燃燒室(2)的正下方，且一號電機(10)通過螺栓與機體(1)固定連接。

6.根據權利要求1所述的一種處理半導體制程廢氣的旋風式合氧燃燒裝置，其特征在于：所述螺旋水管(23)的兩端均活動安裝有軸承(22)，所述出水孔(24)的數量為若干組。