[實用新型]一種處理半導(dǎo)體制程廢氣的旋風(fēng)式合氧燃燒裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821080205.5
• 申請日: 2018-07-09
• 公開（公告）號: CN208687746U
• 公開（公告）日: 2019-04-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 寧騰飛;司馬超;楊春水;張坤;趙力行;鄒昭平;蔣俊海;于浩
• 申請（專利權(quán)）人: 安徽京儀自動化裝備技術(shù)有限公司
• 主分類號: F23G7/06
• 分類號: F23G7/06;F23J15/04
• 代理公司: 蕪湖思誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 34138
• 代理人: 鄭直

本實用新型提供一種處理半導(dǎo)體制程廢氣的旋風(fēng)式合氧燃燒裝置，涉及燃燒裝置技術(shù)領(lǐng)域。該處理半導(dǎo)體制程廢氣的旋風(fēng)式合氧燃燒裝置，包括機(jī)體，所述機(jī)體的上端外表面靠近左側(cè)為止固定安裝有燃燒室，所述燃燒室的上端外表面固定安裝有廢氣輸料管，所述廢氣輸料管的上端外表面固定安裝有廢氣輸出端，所述廢氣輸料管的左側(cè)固定安裝有旋風(fēng)電機(jī)，所述燃燒室的內(nèi)壁頂端位置固定安裝有軸承裝置，所述軸承裝置的內(nèi)部套設(shè)有空心管。該處理半導(dǎo)體制程廢氣的旋風(fēng)式合氧燃燒裝置，使得反應(yīng)更加全面，更加充分，有利于保護(hù)環(huán)境，使得水反應(yīng)室內(nèi)的廢氣與噴灑的水充分反應(yīng)且與廢氣反應(yīng)后的水通過出水口進(jìn)入水箱，重復(fù)使用，節(jié)約水資源。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及燃燒裝置技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種處理半導(dǎo)體制程廢氣的旋風(fēng)式合氧燃燒裝置。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中，會產(chǎn)生許多有害氣體，具有腐蝕性、易燃性和毒性，為了避免有害氣體污染到環(huán)境，要經(jīng)過過濾去除之后才能進(jìn)行排放，旋風(fēng)式合氧燃燒裝置就是一種對半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的廢氣進(jìn)行處理的凈化設(shè)備。

而傳統(tǒng)的旋風(fēng)式合氧燃燒裝置是通過在廢氣輸出管的管口設(shè)置火焰，使得廢氣并不能完全與火焰充分反應(yīng)，使得廢氣內(nèi)的有害氣體不能完全反應(yīng)，導(dǎo)致直接排入大氣中，對環(huán)境造成污染。

實用新型內(nèi)容

針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實用新型提供了一種處理半導(dǎo)體制程廢氣的旋風(fēng)式合氧燃燒裝置，解決了上述背景技術(shù)提出的傳統(tǒng)的旋風(fēng)式合氧燃燒裝置不能將有害氣體完全反應(yīng)的問題。

技術(shù)方案

為實現(xiàn)以上目的，本實用新型通過以下技術(shù)方案予以實現(xiàn)：一種處理半導(dǎo)體制程廢氣的旋風(fēng)式合氧燃燒裝置，包括機(jī)體，所述機(jī)體的上端外表面靠近左側(cè)為止固定安裝有燃燒室，所述燃燒室的上端外表面固定安裝有廢氣輸料管，所述廢氣輸料管的上端外表面固定安裝有廢氣輸出端，所述廢氣輸料管的左側(cè)固定安裝有旋風(fēng)電機(jī)，所述燃燒室的內(nèi)壁頂端位置固定安裝有軸承裝置，所述軸承裝置的內(nèi)部套設(shè)有空心管，所述軸承裝置與空心管之間活動安裝有滾輪，所述燃燒室的內(nèi)部活動安裝有廢氣室，所述廢氣室的外表面開設(shè)有漏氣孔，所述燃燒室與廢氣室之間固定安裝有燃燒腔槽，所述機(jī)體的內(nèi)部固定安裝有一號電機(jī)，所述一號電機(jī)的上端外表面固定安裝有一號旋轉(zhuǎn)桿，所述燃燒室的左側(cè)外表面活動安裝有打火裝置，所述打火裝置包括打火室，所述打火室內(nèi)部固定安裝有打火石，所述打火石的一側(cè)活動安裝有摩擦條，所述打火室的左側(cè)活動安裝有橫桿，所述打火室的外表面開設(shè)有進(jìn)氣孔，所述燃燒室的右側(cè)設(shè)置有燃?xì)廨敵龆耍鏊鋈細(xì)廨敵龆伺c燃燒室之間固定安裝有燃?xì)廨斄瞎埽鋈紵业挠覀?cè)外表面靠近上方位置固定安裝有風(fēng)機(jī)，所述風(fēng)機(jī)與燃燒室之間固定安裝有進(jìn)風(fēng)管，所述機(jī)體的上端外表面靠近右側(cè)位置固定安裝有水反應(yīng)室，所述燃燒室與水反應(yīng)室之間固定安裝有出風(fēng)管，所述出風(fēng)管與水反應(yīng)室之間固定安裝有出氣板，所述水反應(yīng)室的上方固定安裝有二號電機(jī)，所述二號電機(jī)的下端外表面固定安裝有二號旋轉(zhuǎn)桿，所述水反應(yīng)室的內(nèi)壁頂端固定安裝有軸承，且水反應(yīng)室的內(nèi)部活動安裝有螺旋水管，所述螺旋水管的外表面開設(shè)有出水孔，所述機(jī)體的內(nèi)部靠近右側(cè)位置固定安裝有水泵，且機(jī)體的右側(cè)外表面固定安裝有水箱，所述水泵與水箱之間固定安裝有進(jìn)水管，且水泵與水反應(yīng)室之間固定安裝有出水管，所述水反應(yīng)室的右側(cè)靠近底端位置連通有出水口。

進(jìn)一步的，所述一號旋轉(zhuǎn)桿遠(yuǎn)離一號電機(jī)的一端活動連接廢氣室，且一號旋轉(zhuǎn)桿貫穿依次燃燒室和燃燒腔槽并延伸至燃燒腔槽內(nèi)部。

進(jìn)一步的，所述進(jìn)風(fēng)管的頂端固定安裝有過濾板，且進(jìn)風(fēng)管貫穿燃燒室并延伸至燃燒室內(nèi)部。

進(jìn)一步的，所述出氣板的外表面開設(shè)有出氣孔，且出氣板的外表面為弧形。

進(jìn)一步的，所述一號電機(jī)位于燃燒室的正下方，且一號電機(jī)通過螺栓與機(jī)體固定連接。

進(jìn)一步的，所述螺旋水管的兩端均活動安裝有軸承，所述出水孔的數(shù)量為若干組。