[實用新型]半導體基板載具拆解連續式下料機

有效

• 申請號: 201821078491.1
• 申請日: 2018-07-09
• 公開（公告）號: CN208580724U
• 公開（公告）日: 2019-03-05
• 發明（設計）人: 趙凱;蘇浩杰;黃軍鵬;邵嘉裕
• 申請（專利權）人: 上海世禹精密機械有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/67
• 代理公司: 上海遠同律師事務所 31307
• 代理人: 張堅

1.一種半導體基板載具拆解連續式下料機，其特征在于，包括：

用于將一體件輸送至拆解位的一體件上料機構；

用于在所述拆解位固定一體件的底板的底板固定機構；

用于對所述拆解位上的一體件進行拆解并將拆解下來的基板以及蓋板分別下料至基板下料位以及蓋板下料位的拆解取放機構，所述拆解取放機構包括可升降且在拆解位、基板下料位和蓋板下料位上方水平移動的底座、用于從上方吸住載具蓋板的真空吸盤以及左右對稱固定于所述底座的下方且可左右相互靠近或者遠離的兩個抓手，所述真空吸盤位于所述底座的下側，且與該底座固定，所述抓手上具有用于在左右相互靠近時可從底板側面的缺口水平伸至基板下方的多個指部，所述多個指部前后間隔依次分布,所述基板下料位位于第二輸送帶上；

不良基板剔除機構，所述不良基板剔除機構包括不良基板剔除輸送帶、可調整寬度以使不良基板下落至所述不良基板剔除輸送帶上的檢測輸送帶以及用于對經過所述檢測輸送帶的基板進行檢測的檢測器，所述檢測輸送帶位于不良基板剔除輸送帶的上方，且其后端與所述第二輸送帶的前端相鄰；

可左右水平調整位置依次對接所述檢測輸送帶以及下游生產線以將來自該檢測輸送帶的基板水平輸送給所述下游生產線的基板連線輸送帶，所述基板連線輸送帶固定于一左右水平調整機構上。

2.根據權利要求1所述的半導體基板載具拆解連續式下料機，其特征在于，所述一體件上料機構包括將料盒中的一體件依次送至第一輸送帶上的料盒上料裝置，所述拆解位位于所述第一輸送帶上，所述料盒上料裝置包括：

用于水平輸送載料的料盒的第一送盒帶，所述第一送盒帶與所述第一輸送帶呈90度布置，其前端具有彈性止擋部；

用于水平輸送空料盒的第一收盒帶，所述第一收盒帶與第一送盒帶上下間隔布置且輸送方向相反；

可在第一推料位與所述第一送盒帶前端或者第一收盒帶后端之間水平移動、可在第一推料位上下移動的第一料盒夾爪，所述第一推料位在后側與所述第一輸送帶的后端相鄰，且位于第一送盒帶前端的前側；

用于在所述第一料盒夾爪帶動料盒向上移動過程中依次將料盒中的一體件水平推至所述第一輸送帶后端的第一推料桿。

3.根據權利要求2所述的半導體基板載具拆解連續式下料機，其特征在于，所述第一輸送帶由左右間隔布置于支架上的兩條輸送皮帶構成，所述底板固定機構包括：

用于真空吸住底板的真空臺，所述真空臺位于兩條輸送皮帶之間；

用于檢測一體件是否到位至所述真空臺上的第一到位傳感器；

用于根據到位傳感器的信號升起的被動擋塊、用于根據到位傳感器的信號升起并向被動擋塊水平推動一體件的第一主動整位塊，所述被動擋塊以及第一主動整位塊分別位于所述真空臺的前后兩側；

用于根據到位傳感器的信號從左右方向向一側支架水平推動一體件的第二主動整位塊；

用于根據到位傳感器的信號將所述真空臺上升至第一取放高度的第二升降機構，所述第二升降機構與所述真空臺連接。

4.根據權利要求3所述的半導體基板載具拆解連續式下料機，其特征在于，所述一體件上料機構還包括可沿所述第一輸送帶前后移動用于將底板從拆解位回推至料盒內的回推桿。

5.根據權利要求1或4所述的半導體基板載具拆解連續式下料機，其特征在于，還包括設于所述蓋板下料位的蓋板回收機構，所述蓋板回收機構包括：

用于上下層疊放置多個蓋板的料倉，所述料倉由豎直且前后左右布置的多個柱體合圍構成，左右一側的多個柱體固定于一支撐板上，左右另一側的多個柱體左右位置可調地固定于所述支撐板上，前后一側的多個柱體固定于所述支撐板上，前后另一側的多個柱體前后位置可調地固定于所述支撐板上，所述料倉設有可升降用于供所述拆解取放機構將蓋板下料至第二取放高度的托板；

用于在所述第二取放高度檢測蓋板的第二到位傳感器，所述第二到位傳感器的發射端以及接收端分別設于所述第二取放高度的兩側；

用于在第二取放高度分別前后、左右水平推動蓋板的第三主動整位塊以及第四主動整位塊。