[實(shí)用新型]硅片清洗用的集中供熱系統(tǒng)和硅片清洗系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821075314.8
• 申請(qǐng)日: 2018-07-06
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN208712384U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-04-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 但漢滿
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 阜寧協(xié)鑫光伏科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B08B3/10
• 分類(lèi)號(hào): B08B3/10;B08B13/00;H01L21/67
• 代理公司: 廣州華進(jìn)聯(lián)合專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 44224
• 代理人: 唐清凱

本實(shí)用新型涉及一種硅片清洗用的集中供熱系統(tǒng)和硅片清洗系統(tǒng)。該集中供熱系統(tǒng)包括清洗機(jī)水漂洗槽、加熱裝置、輸水組件和控制系統(tǒng)。加熱裝置用于給清洗機(jī)水漂洗槽內(nèi)的水加熱。輸水組件與清洗機(jī)水漂洗槽相連，用以將清洗機(jī)水漂洗槽內(nèi)的熱水輸送給插片機(jī)上料槽。當(dāng)然，輸水組件也可將水供給上游側(cè)的上游漂洗槽使用?？刂葡到y(tǒng)用于控制加熱裝置和輸水組件的運(yùn)轉(zhuǎn)。應(yīng)用該集中供熱系統(tǒng)，可使插片機(jī)的作業(yè)效率得到提升。此外，清洗機(jī)水漂洗槽內(nèi)的水經(jīng)過(guò)漂洗作業(yè)后沒(méi)有直接排放，而是循環(huán)再利用。這樣有利于節(jié)約水資源。而且，這種集中加熱和供熱方式也使得各個(gè)槽體的水溫上升速度都較快，加熱效率較高。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及供熱設(shè)備領(lǐng)域，特別是涉及硅片清洗用的集中供熱系統(tǒng)和硅片清洗系統(tǒng)。

背景技術(shù)

硅片清洗系統(tǒng)一般包括脫膠機(jī)、插片機(jī)和清洗機(jī)。目前，該系統(tǒng)在使用時(shí)，插片機(jī)的插片機(jī)上料水槽如果水溫過(guò)低，會(huì)導(dǎo)致硅片上的硅粉不能脫離硅片表面，從而造成了分片困難和前側(cè)出水口容易堵塞。另外，當(dāng)水溫過(guò)低時(shí)，現(xiàn)有做法是將插片機(jī)上料槽內(nèi)的水進(jìn)行大幅度更換。也就是切換插片機(jī)上料槽內(nèi)的水。切換過(guò)程中如果外界水源溫度也較低，還需要先對(duì)外界水源先加熱。這樣使得整個(gè)切換過(guò)程比較費(fèi)時(shí)。上述各方面因素使得插片機(jī)的作業(yè)效率較低。

實(shí)用新型內(nèi)容

基于此，有必要針對(duì)插片機(jī)作業(yè)效率較低的問(wèn)題，提供一種硅片清洗用的集中供熱系統(tǒng)。

一種硅片清洗用的集中供熱系統(tǒng)，包括：

清洗機(jī)水漂洗槽；

加熱裝置，所述加熱裝置用于給所述清洗機(jī)水漂洗槽內(nèi)的水加熱；

輸水組件，所述輸水組件與所述清洗機(jī)水漂洗槽相連，用以將所述清洗機(jī)水漂洗槽內(nèi)的熱水輸送給插片機(jī)上料槽；

控制系統(tǒng)，所述控制系統(tǒng)用于控制所述加熱裝置和輸水組件的運(yùn)轉(zhuǎn)。

上述集中供熱系統(tǒng)中，加熱裝置可對(duì)清洗機(jī)水漂洗槽內(nèi)的水進(jìn)行加熱，清洗機(jī)水漂洗槽內(nèi)的熱水可通過(guò)輸水組件輸送給插片機(jī)上料槽。這樣，熱水不僅可以供清洗機(jī)水漂洗槽使用，還可使插片機(jī)上料槽內(nèi)的水的溫度控制在一個(gè)合適范圍。從而有利于硅片上的硅粉脫離，使分片較為容易且前側(cè)出水口不容易堵塞。而且，插片機(jī)上料槽內(nèi)的水通過(guò)較短時(shí)間的切換就可保證水溫在一個(gè)合適范圍。上述因素使得插片機(jī)的作業(yè)效率得到提升。此外，清洗機(jī)水漂洗槽內(nèi)的水經(jīng)過(guò)漂洗作業(yè)后沒(méi)有直接排放，而是流經(jīng)插片機(jī)上料槽使用。這樣有利于節(jié)約水資源。而且，這種集中加熱和供熱方式使得各個(gè)槽體的水溫上升速度都較快，加熱效率較高。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，

所述輸水組件包括：

水箱，所述水箱通過(guò)溢流水管與所述清洗機(jī)水漂洗槽設(shè)置的熱水溢流口連通；

水泵，所述水泵與所述水箱相連；

第一水管，所述第一水管的一端與所述水泵相連，用以將水泵從水箱抽出的熱水輸送給插片機(jī)上料槽。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，還包括：

第二水管，所述第二水管一端與所述第一水管連通，用以將第一水管的熱水輸送給所述清洗機(jī)水漂洗槽上游側(cè)的上游漂洗槽。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述水箱內(nèi)設(shè)置有第一液位傳感器，所述控制系統(tǒng)根據(jù)接收到的第一液位傳感器發(fā)送的水箱液位信號(hào)控制水泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述第一水管上設(shè)有控制閥；所述控制系統(tǒng)用于控制所述控制閥的開(kāi)啟程度。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，還包括設(shè)置在所述上游漂洗槽的第二液位傳感器；所述控制系統(tǒng)根據(jù)接收到的第二液位傳感器發(fā)送的漂洗槽液位信號(hào)控制所述控制閥的開(kāi)啟程度。