[實用新型]一種太陽能電池晶體硅的清洗裝置

有效

• 申請號: 201821073995.4
• 申請日: 2018-07-05
• 公開（公告）號: CN208570540U
• 公開（公告）日: 2019-03-01
• 發明（設計）人: 劉宏;王春定;龔志國;姚學森;劉柏林
• 申請（專利權）人: 天長市百盛半導體科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;B08B3/02;B08B13/00
• 代理公司: 合肥市長遠專利代理事務所(普通合伙) 34119
• 代理人: 傅磊

本實用新型公開了一種太陽能電池晶體硅的清洗裝置，安裝軸之間安裝有廢料收集箱，廢料收集箱的下端設有鼓風機，廢料收集箱上設有進料口，廢料收集箱內設有出風通道，出風通道上設有出風閥，安裝軸的一側安裝有電機，安裝軸上安裝有第二活塞，第二活塞上安裝有第二活塞軸，第二活塞軸上安裝有第三活塞，第三活塞上安裝有第三活塞軸，第三活塞軸上安裝有防滑板，安裝軸上端安裝有蓄水箱，安裝軸的一側安裝有第一活塞，第一活塞上安裝有第一活塞軸，第一活塞軸上安裝有增壓泵，增壓泵上安裝有噴嘴安裝軸，噴嘴安裝軸上安裝有噴頭，噴頭上設有多個噴嘴，噴嘴通過連通管與增壓泵連通，增壓泵通過傳輸管與蓄水箱連通。本實用新型能夠有效提高單晶硅片的清洗效率和質量。

技術領域

本實用新型涉及單晶硅片加工設備的技術領域，尤其涉及一種太陽能電池晶體硅的清洗裝置。

背景技術

單晶硅片的制法通常是先制得多晶硅或無定形硅，然后用直拉法或懸浮區熔法從熔體中生長出棒狀單晶硅。單晶硅可以用于二極管級、整流器件級、電路級以及太陽能電池級單晶產品的生產和深加工制造，其后續產品集成電路和半導體分離器件已廣泛應用于各個領域，在軍事電子設備中也占有重要地位。在單晶硅片的生產過程中需要對切割好的單晶硅片進行清洗，而目前太陽能電池晶體硅的清洗裝置，清洗效率低，清洗質量差，無法滿足實際使用時的需求，故此亟需開發一種高效率高質量的單晶硅片清洗裝置來解決現有技術中的問題。

實用新型內容

為解決背景技術中存在的技術問題，本實用新型提出一種太陽能電池晶體硅的清洗裝置，能夠有效提高單晶硅片的清洗效率和質量。

本實用新型提出的一種太陽能電池晶體硅的清洗裝置，包括安裝軸，所述安裝軸之間安裝有廢料收集箱，所述廢料收集箱的下端設有鼓風機，所述廢料收集箱上端設有進料口，所述廢料收集箱內設有出風通道，所述出風通道上設有出風閥，所述安裝軸的一側安裝有電機，所述安裝軸遠離電機的一側安裝有第二活塞，所述第二活塞遠離安裝軸的一側安裝有第二活塞軸，所述第二活塞軸遠離第二活塞的一側安裝有第三活塞，所述第三活塞遠離第二活塞軸的一側安裝有第三活塞軸，所述第三活塞軸遠離第三活塞的一側通過防滑板安裝座安裝有防滑板，所述安裝軸上端安裝有蓄水箱，所述安裝軸的一側安裝有第一活塞，所述第一活塞遠離安裝軸的一側安裝有第一活塞軸，所述第一活塞軸遠離第一活塞的一端安裝有增壓泵，所述增壓泵遠離第一活塞軸的一側通過出料管安裝座安裝有噴嘴安裝軸，所述噴嘴安裝軸上安裝有噴頭，所述噴頭上設有多個噴嘴，所述噴嘴通過連通管與增壓泵連通，所述增壓泵通過傳輸管與蓄水箱連通。

進一步的，所述安裝軸內設有滑槽，所述滑槽內設有滑輪，所述滑輪上安裝有滑塊，所述滑塊上安裝有第一活塞。

進一步的，所述第三活塞和防滑板安裝座之間且在第三活塞軸的外周套接有彈簧。

進一步的，所述廢料收集箱的上端且在出風通道的外周設有限位格柵。

進一步的，所述安裝軸下端通過滾輪支架安裝有滾輪。

與現有技術相比，本實用新型的技術方案具有以下有益效果：

1、通過電機驅動第二活塞軸在第二活塞上伸縮，實現了防滑板對單晶硅片的擠壓實現對單晶硅片的限位固定，由蓄水箱經過傳輸管傳輸清洗液到增壓泵，由增壓泵實現將清洗液由噴頭上的噴嘴噴出，噴出的清洗液對防滑板之間的單晶硅片進行清洗，清洗的結束后，由鼓風機產生的風經過出風通道排出，實現單晶硅片的干燥，有效提高了單晶硅片清洗的效率和質量。

2、通過在安裝軸內滑槽，通過滑輪帶動滑塊帶動第一活塞在豎直方向上滑動，實現了在對單晶硅片清洗的過程中，能夠實現對噴頭在豎直方向的調節，有效提高了單晶硅片的清洗效率和質量。

3、通過在第三活塞和防滑板安裝座之間且在第三活塞軸的外周套接彈簧，使得通過防滑板對單晶硅片進行限位過程中，彈簧能夠有效緩沖防滑板對單晶硅片擠壓力的緩沖，有效避免了對單晶硅片的損壞。