[實用新型]一種太陽能電池晶體硅的清洗裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201821073995.4 | 申請日: | 2018-07-05 |
| 公開(公告)號: | CN208570540U | 公開(公告)日: | 2019-03-01 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 劉宏;王春定;龔志國;姚學(xué)森;劉柏林 | 申請(專利權(quán))人: | 天長市百盛半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;B08B3/02;B08B13/00 |
| 代理公司: | 合肥市長遠(yuǎn)專利代理事務(wù)所(普通合伙) 34119 | 代理人: | 傅磊 |
| 地址: | 239300 安徽省滁州市天長*** | 國省代碼: | 安徽;34 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 活塞 活塞軸 安裝軸 增壓泵 廢料收集箱 本實用新型 太陽能電池 出風(fēng)通道 噴嘴安裝 清洗裝置 噴嘴 晶體硅 蓄水箱 連通 鼓風(fēng)機(jī) 噴頭 單晶硅片 廢料收集 清洗效率 出風(fēng)閥 傳輸管 防滑板 進(jìn)料口 連通管 上端 下端 電機(jī) | ||
1.一種太陽能電池晶體硅的清洗裝置,包括安裝軸,其特征在于,所述安裝軸之間安裝有廢料收集箱,所述廢料收集箱的下端設(shè)有鼓風(fēng)機(jī),所述廢料收集箱上端設(shè)有進(jìn)料口,所述廢料收集箱內(nèi)設(shè)有出風(fēng)通道,所述出風(fēng)通道上設(shè)有出風(fēng)閥,所述安裝軸的一側(cè)安裝有電機(jī),所述安裝軸遠(yuǎn)離電機(jī)的一側(cè)安裝有第二活塞,所述第二活塞遠(yuǎn)離安裝軸的一側(cè)安裝有第二活塞軸,所述第二活塞軸遠(yuǎn)離第二活塞的一側(cè)安裝有第三活塞,所述第三活塞遠(yuǎn)離第二活塞軸的一側(cè)安裝有第三活塞軸,所述第三活塞軸遠(yuǎn)離第三活塞的一側(cè)通過防滑板安裝座安裝有防滑板,所述安裝軸上端安裝有蓄水箱,所述安裝軸的一側(cè)安裝有第一活塞,所述第一活塞遠(yuǎn)離安裝軸的一側(cè)安裝有第一活塞軸,所述第一活塞軸遠(yuǎn)離第一活塞的一端安裝有增壓泵,所述增壓泵遠(yuǎn)離第一活塞軸的一側(cè)通過出料管安裝座安裝有噴嘴安裝軸,所述噴嘴安裝軸上安裝有噴頭,所述噴頭上設(shè)有多個噴嘴,所述噴嘴通過連通管與增壓泵連通,所述增壓泵通過傳輸管與蓄水箱連通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池晶體硅的清洗裝置,其特征在于,所述安裝軸內(nèi)設(shè)有滑槽,所述滑槽內(nèi)設(shè)有滑輪,所述滑輪上安裝有滑塊,所述滑塊上安裝有第一活塞。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池晶體硅的清洗裝置,其特征在于,所述第三活塞和防滑板安裝座之間且在第三活塞軸的外周套接有彈簧。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池晶體硅的清洗裝置,其特征在于,所述廢料收集箱的上端且在出風(fēng)通道的外周設(shè)有限位格柵。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池晶體硅的清洗裝置,其特征在于,所述安裝軸下端通過滾輪支架安裝有滾輪。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





