[實用新型]一種晶圓外觀檢測機

有效

• 申請號: 201821069452.5
• 申請日: 2018-07-06
• 公開（公告）號: CN208400811U
• 公開（公告）日: 2019-01-18
• 發明（設計）人: 張喬棟;孫健;陳業;李鋒
• 申請（專利權）人: 江蘇納沛斯半導體有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66;B08B5/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種晶圓外觀檢測機，包括清理裝置，所述清理裝置包括固定臺、底座、固定板、吹塵槍本體和氣泵，所述固定臺的上表面開設置有固定滑槽，所述固定板的底端設置有固定卡塊，所述固定板和固定臺通過卡合連接，所述固定板的頂端設置有活動板，所述活動板的內部開設有固定槽，所述固定槽的一側設置有吹塵槍本體，所述吹塵槍本體的一側設置有安裝卡塊；本實用新型通過安裝氣泵和吹塵槍，通過氣泵壓縮的空氣將氣體輸送到吹塵槍中，從而對檢測臺進行清理，吹塵槍通過卡合固定在活動板上，可以將吹塵槍卸下手動進行清理，安裝拆卸更加方便，通過轉動活動板來改變吹塵槍的清理方向，使得清理效果更好。

技術領域

本實用新型屬于晶圓檢測技術領域，具體涉及一種晶圓外觀檢測機。

背景技術

圓晶是指硅半導體集成電路制作所用的硅芯片，由于其形狀為圓形，故稱為圓晶，晶圓一般被做成直徑6英寸，8英寸或者12英寸的圓柱形棒，在對晶圓進行生產時，為了保證晶圓的生產質量，大多會通過檢測機對晶圓外觀進行檢測。

現有的晶圓檢測機不使用時，檢測臺上會占有灰塵，需要對檢測臺進行清理，防止灰塵粘附在晶圓表面上，在檢測時，會影響檢測的效果，現有的檢測機大多為安裝清理裝置，清理時比較麻煩的問題，為此我們提出一種晶圓外觀檢測機。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種晶圓外觀檢測機，以解決上述背景技術中提出的現有的晶圓檢測機不使用時，檢測臺上會占有灰塵，需要對檢測臺進行清理，防止灰塵粘附在晶圓表面上，在檢測時，會影響檢測的效果，現有的檢測機大多為安裝清理裝置，清理時比較麻煩的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種晶圓外觀檢測機，包括清理裝置，所述清理裝置包括固定臺、底座、固定板、吹塵槍本體和氣泵，所述固定臺的上表面開設置有固定滑槽，所述固定板的底端設置有固定卡塊，所述固定板和固定臺通過卡合連接，所述固定板的頂端設置有活動板，所述活動板的內部開設有固定槽，所述固定槽的一側設置有吹塵槍本體，所述吹塵槍本體的一側設置有安裝卡塊，且所述吹塵槍本體的另一側設置有吹塵槍槍頭，所述底座的上表面設置有氣泵，所述氣泵和吹塵槍本體通過氣管連接。

優選的，所述固定臺和底座之間通過支撐柱進行連接，所述固定臺的上表面設置有固定架。

優選的，所述固定臺的一側設置有支撐桿，所述支撐桿的外部設置有滑套，所述滑套的內部貫穿設置有拉伸桿，所述拉伸桿的一側設置有觀察鏡頭。

優選的，所述底座上表面中間位置設置有檢測臺，所述檢測臺和固定架為緊密連接結構。

優選的，所述活動板和固定板通過軸承進行連接，活動板在固定板上可以自由旋轉。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：本實用新型通過安裝氣泵和吹塵槍，通過氣泵壓縮的空氣將氣體輸送到吹塵槍中，從而對檢測臺進行清理，吹塵槍通過卡合固定在活動板上，可以將吹塵槍卸下手動進行清理，安裝拆卸更加方便，通過轉動活動板來改變吹塵槍的清理方向，使得清理效果更好。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖；

圖2為本實用新型的側視結構示意圖；

圖3為本實用新型的固定板結構示意圖；

圖4為本實用新型的吹塵槍槍頭結構示意圖；

圖5為本實用新型的吹塵槍槍頭和固定板連接結構示意圖；

圖中：1、拉伸桿；2、固定臺；3、支撐柱；4、底座；5、支撐桿；6、滑套；7、觀察鏡頭；8、吹塵槍本體；9、固定板；10、固定架；11、檢測臺；12、吹塵槍槍頭；13、固定滑槽；14、氣泵；15、活動板；16、固定槽；17、固定卡塊；18、安裝卡塊。

具體實施方式