[實用新型]一種晶圓外觀檢測機有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201821069452.5 | 申請日： | 2018-07-06 |
| 公開（公告）號： | CN208400811U | 公開（公告）日： | 2019-01-18 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 張喬棟;孫健;陳業(yè);李鋒 | 申請（專利權(quán)）人： | 江蘇納沛斯半導(dǎo)體有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/66 | 分類號： | H01L21/66;B08B5/02 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 223002 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 吹塵槍 固定板 固定臺 活動板 本實用新型 外觀檢測機 清理裝置 固定槽 氣泵 種晶 安裝卡塊 頂端設(shè)置 固定滑槽 固定卡塊 卡合固定 卡合連接 氣體輸送 轉(zhuǎn)動活動 檢測臺 上表面 底端 拆卸 底座 卸下 壓縮 | ||
1.一種晶圓外觀檢測機，包括清理裝置，其特征在于：所述清理裝置包括固定臺（2）、底座（4）、固定板（9）、吹塵槍本體（8）和氣泵（14），所述固定臺（2）的上表面開設(shè)有固定滑槽（13），所述固定板（9）的底端設(shè)置有固定卡塊（17），所述固定板（9）和固定臺（2）通過卡合連接，所述固定板（9）的頂端設(shè)置有活動板（15），所述活動板（15）的內(nèi)部開設(shè)有固定槽（16），所述固定槽（16）的一側(cè)設(shè)置有吹塵槍本體（8），所述吹塵槍本體（8）的一側(cè)設(shè)置有安裝卡塊（18），且所述吹塵槍本體（8）的另一側(cè)設(shè)置有吹塵槍槍頭（12），所述底座（4）的上表面設(shè)置有氣泵（14），所述氣泵（14）和吹塵槍本體（8）通過氣管連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓外觀檢測機，其特征在于：所述固定臺（2）和底座（4）之間通過支撐柱（3）進行連接，所述固定臺（2）的上表面設(shè)置有固定架（10）。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種晶圓外觀檢測機，其特征在于：所述固定臺（2）的一側(cè)設(shè)置有支撐桿（5），所述支撐桿（5）的外部設(shè)置有滑套（6），所述滑套（6）的內(nèi)部貫穿設(shè)置有拉伸桿（1），所述拉伸桿（1）的一側(cè)設(shè)置有觀察鏡頭（7）。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種晶圓外觀檢測機，其特征在于：所述底座（4）上表面中間位置設(shè)置有檢測臺（11），所述檢測臺（11）和固定架（10）為緊密連接結(jié)構(gòu)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓外觀檢測機，其特征在于：所述活動板（15）和固定板（9）通過軸承進行連接，活動板（15）在固定板（9）上可以自由旋轉(zhuǎn)。
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H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
