[實(shí)用新型]一種晶圓外觀檢測機(jī)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821069452.5
• 申請日: 2018-07-06
• 公開（公告）號: CN208400811U
• 公開（公告）日: 2019-01-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張喬棟;孫健;陳業(yè);李鋒
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇納沛斯半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66;B08B5/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種晶圓外觀檢測機(jī)，包括清理裝置，其特征在于：所述清理裝置包括固定臺（2）、底座（4）、固定板（9）、吹塵槍本體（8）和氣泵（14），所述固定臺（2）的上表面開設(shè)有固定滑槽（13），所述固定板（9）的底端設(shè)置有固定卡塊（17），所述固定板（9）和固定臺（2）通過卡合連接，所述固定板（9）的頂端設(shè)置有活動板（15），所述活動板（15）的內(nèi)部開設(shè)有固定槽（16），所述固定槽（16）的一側(cè)設(shè)置有吹塵槍本體（8），所述吹塵槍本體（8）的一側(cè)設(shè)置有安裝卡塊（18），且所述吹塵槍本體（8）的另一側(cè)設(shè)置有吹塵槍槍頭（12），所述底座（4）的上表面設(shè)置有氣泵（14），所述氣泵（14）和吹塵槍本體（8）通過氣管連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓外觀檢測機(jī)，其特征在于：所述固定臺（2）和底座（4）之間通過支撐柱（3）進(jìn)行連接，所述固定臺（2）的上表面設(shè)置有固定架（10）。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種晶圓外觀檢測機(jī)，其特征在于：所述固定臺（2）的一側(cè)設(shè)置有支撐桿（5），所述支撐桿（5）的外部設(shè)置有滑套（6），所述滑套（6）的內(nèi)部貫穿設(shè)置有拉伸桿（1），所述拉伸桿（1）的一側(cè)設(shè)置有觀察鏡頭（7）。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種晶圓外觀檢測機(jī)，其特征在于：所述底座（4）上表面中間位置設(shè)置有檢測臺（11），所述檢測臺（11）和固定架（10）為緊密連接結(jié)構(gòu)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓外觀檢測機(jī)，其特征在于：所述活動板（15）和固定板（9）通過軸承進(jìn)行連接，活動板（15）在固定板（9）上可以自由旋轉(zhuǎn)。