[實用新型]一種鈦旋轉(zhuǎn)靶

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821065048.0
• 申請日: 2018-07-06
• 公開（公告）號: CN208604200U
• 公開（公告）日: 2019-03-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張曉輝;丁拉會
• 申請（專利權(quán)）人: 寶雞市杰特瑞金屬材料有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 北京中濟(jì)緯天專利代理有限公司 11429
• 代理人: 石淑珍

1.一種鈦旋轉(zhuǎn)靶，其特征在于，包括第一銅輔助部(1)、鈦靶主體(2)、第二銅輔助部(3)，所述第一銅輔助部(1)、鈦靶主體(2)、第二銅輔助部(3)順次連接形成管狀結(jié)構(gòu)，所述第一銅輔助部(1)和第二銅輔助部(3)為對稱結(jié)構(gòu)，所述第一銅輔助部(1)為臺階狀結(jié)構(gòu)，包括第一直徑段(11)、第二直徑段(12)、第三直徑段(13)，所述第一直徑段(11)、第二直徑段(12)、第三直徑段(13)順次連接為一體結(jié)構(gòu)，所述第一直徑段(11)的外徑小于第二直徑段的外徑，所述第一直徑段(11)的內(nèi)徑大于第二直徑段(12)的內(nèi)徑，所述第一直徑段(11)外側(cè)設(shè)置有外螺紋，所述第三直徑段(13)外徑小于第二直徑段(12)外徑，所述第三直徑段(13)內(nèi)徑等于第二直徑段(12)外徑，所述第三直徑段(13)外側(cè)設(shè)置有外螺紋，所述鈦靶主體(2)采用高純鈦材料制成，所述鈦靶主體(2)為T字形結(jié)構(gòu)，其兩端延伸的凸起環(huán)(21)套設(shè)于第三直徑段(13)外，所述鈦靶主體(2)兩側(cè)端部設(shè)置有內(nèi)螺紋，且所述鈦靶主體(2)兩側(cè)端部設(shè)置的內(nèi)螺紋和第三直徑段(13)外側(cè)設(shè)置的外螺紋配合連接。

2.如權(quán)利要求1所述一種鈦旋轉(zhuǎn)靶，其特征在于，所述第一銅輔助部(1)外側(cè)左端部設(shè)置有倒角，所述第二銅輔助部(3)外側(cè)右端部設(shè)置有倒角。

3.如權(quán)利要求2所述一種鈦旋轉(zhuǎn)靶，其特征在于，所述鈦靶主體(2)長度為600mm。