[實用新型]玻璃基板清洗系統有效
| 申請號： | 201821047024.2 | 申請日： | 2018-07-02 |
| 公開（公告）號： | CN208866037U | 公開（公告）日： | 2019-05-17 |
| 發明（設計）人： | 郭向陽;郭鋒;劉文泰;魏德皇 | 申請（專利權）人： | 蕪湖東旭光電裝備技術有限公司;東旭光電科技股份有限公司;東旭集團有限公司 |
| 主分類號： | B08B3/02 | 分類號： | B08B3/02;B08B3/12;B08B1/04;B08B3/08 |
| 代理公司： | 北京英創嘉友知識產權代理事務所(普通合伙) 11447 | 代理人： | 蘇瑞;耿超 |
| 地址： | 241000 安徽省蕪*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 玻璃基板清洗 化學清洗單元 物理清洗 清潔度要求 玻璃基板 傳送機構 電子玻璃 干燥單元 清洗效果 清洗效率 依次連接 傳統的 基板 配合 | ||
1.一種玻璃基板清洗系統，其特征在于，該系統包括通過傳送機構依次連接的：物理清洗單元(1)，化學清洗單元(2)和干燥單元(3)；所述化學清洗單元(2)包括洗滌劑清洗機構(21)，所述洗滌劑清洗機構(21)包括延玻璃基板運行方向均勻設置的多個洗滌劑噴頭(211)和通過管線與所述洗滌劑噴頭(211)相連的洗滌劑輸送泵。
2.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述物理清洗單元(1)包括通過傳送機構連接的：高壓沖洗機構(11)、盤刷沖洗機構(12)、滾刷沖洗機構(13)、二流體沖洗機構(14)和超聲波沖洗機構(15)。
3.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述洗滌劑噴頭(211)可在與所述玻璃基板平行的平面上延與所述玻璃基板運動方向相垂直的方向往復運動。
4.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述洗滌劑輸送泵包括酸性洗滌劑輸送泵(212)和堿性洗滌劑輸送泵(213)，所述酸性洗滌劑輸送泵(212)和堿性洗滌劑輸送泵(213)用于交替地向所述洗滌劑噴頭輸送酸性洗滌劑和堿性洗滌劑。
5.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述干燥單元(3)包括風刀干燥機構。
6.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述系統還包括：通過傳送機構連接于所述干燥單元(3)之后的除塵單元(4)。
7.根據權利要求6所述的系統，其特征在于，所述除塵單元(4)包括相互平行且間隔設置的第一反光背板(41)和第二反光背板(42)，所述第一反光背板(41)和第二反光背板(42)的反光面相對設置，所述第一反光背板(41)和第二反光背板(42)的反光面上各自安裝有紫外線燈組(43)和靜電消除器(44)。
8.根據權利要求7所述的系統，其特征在于，所述紫外線燈組(43)包括平行設置的多個紫外線燈管；
所述靜電消除器(44)包括沿玻璃的運動方向安裝在所述紫外線燈組(43)的兩側的入口靜電消除器(441)和出口靜電消除器(442)。
9.根據權利要求8所述的系統，其特征在于，所述入口靜電消除器(441)和出口靜電消除器(442)各自為離子風棒，所述離子風棒沿豎直方向安裝。
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