[實用新型]一種晶片裝載系統

有效

• 申請號: 201821046883.X
• 申請日: 2018-06-29
• 公開（公告）號: CN209411281U
• 公開（公告）日: 2019-09-20
• 發明（設計）人: 劉云波
• 申請（專利權）人: 東泰高科裝備科技（北京）有限公司
• 主分類號: B65G49/06
• 分類號: B65G49/06
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 王瑩;吳歡燕

本實用新型涉及太陽能薄膜加工技術領域，尤其涉及一種晶片裝載系統，進欄具輸送裝置用于將裝有料盤的欄具由進欄具工位輸送至料盤欄具分離工位上，第一搬運裝置用于將空欄具由料盤欄具分離工位移至空欄具工位，第二搬運裝置用于將欄具中裝有晶片的料盤由料盤欄具分離工位移至料盤工位，再將空料盤由料盤工位移至空料盤工位，并將空料盤由空料盤工位移至空欄具工位上的空欄具中，第三搬運裝置用于將料盤中的晶片由料盤工位移至裝載花籃工位的花籃內，出欄具輸送裝置用于將裝有空料盤的欄具由空欄具工位輸送至出欄具工位并移出。提高了設備的可靠性和穩定性，實現從欄具進入到流出的全自動化，傳輸效率和精度高。

技術領域

本實用新型涉及太陽能薄膜加工技術領域，尤其涉及一種晶片裝載系統。

背景技術

大產能是目前太陽能wafer產品線的一個非常重要的指標。但由于太陽能薄膜wafer(晶圓)的特殊構造，即wafer的基底(substrate)比生在其上的薄膜(film)要小，薄膜(film)為柔性不可彎曲，大大限制了太陽能薄膜產品線的裝載速度，進而影響到產品線的產能提升。

目前，現有的入料方式為coin stack(硬幣堆棧)+單臂機械手，該方式存在以下問題：1、coin stack即將太陽能薄膜層層堆疊在一起，會導致粘連，且難以發現和消除，會影響設備的穩定性和可靠性。2、單臂機械手即每次輸入一片wafer，限制了產能的提升。

實用新型內容

(一)要解決的技術問題

本實用新型要解決的技術問題是解決現有的晶片裝載系統容易造成晶片薄膜堆疊黏連，且裝載過程可靠性和穩定性差，生產效率較低的問題。

(二)技術方案

為了解決上述技術問題，本實用新型提供了一種晶片裝載系統，欄具輸送模塊、料盤搬運模塊和晶片搬運模塊，所述欄具輸送模塊包括進欄具輸送裝置、出欄具輸送裝置和第一搬運裝置，所述料盤搬運模塊包括第二搬運裝置，所述晶片搬運模塊包括第三搬運裝置，所述進欄具輸送裝置用于將裝有料盤的欄具由進欄具工位輸送至料盤欄具分離工位上，所述第一搬運裝置用于將空欄具由所述料盤欄具分離工位移至空欄具工位，所述第二搬運裝置用于將欄具中裝有晶片的料盤由所述料盤欄具分離工位移至料盤工位，再將空料盤由所述料盤工位移至空料盤工位，并將空料盤由所述空料盤工位移至所述空欄具工位上的空欄具中，所述第三搬運裝置用于將料盤中的晶片由所述料盤工位移至裝載花籃工位的花籃內，所述出欄具輸送裝置用于將裝有空料盤的欄具由所述空欄具工位輸送至出欄具工位并移出。

其中，所述料盤搬運模塊還包括升降裝置，所述升降裝置設置于所述料盤欄具分離工位上，用于將裝有料盤的欄具升起和降下，以供所述第二搬運裝置進入欄具的底部并使料盤落在所述第二搬運裝置上。

其中，所述晶片搬運模塊還包括校準裝置，所述校準裝置位于所述料盤工位和所述裝載花籃工位之間的校準工位上，用于對移至所述花籃前的晶片進行校準。

其中，所述第三搬運裝置包括伺服電機、導軌、滑塊和機械手，所述導軌沿所述料盤工位至所述裝載花籃工位方向設置，所述滑塊設置于所述導軌上，所述機械手與所述滑塊連接，所述機械手用于抓取移送晶片，所述伺服電機驅動所述滑塊沿所述導軌移動。