[實用新型]一種晶片裝載系統

有效

• 申請號: 201821046883.X
• 申請日: 2018-06-29
• 公開（公告）號: CN209411281U
• 公開（公告）日: 2019-09-20
• 發明（設計）人: 劉云波
• 申請（專利權）人: 東泰高科裝備科技（北京）有限公司
• 主分類號: B65G49/06
• 分類號: B65G49/06
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 王瑩;吳歡燕

1.一種晶片裝載系統，其特征在于：包括欄具輸送模塊、料盤搬運模塊和晶片搬運模塊，所述欄具輸送模塊包括進欄具輸送裝置、出欄具輸送裝置和第一搬運裝置，所述料盤搬運模塊包括第二搬運裝置，所述晶片搬運模塊包括第三搬運裝置，所述進欄具輸送裝置用于將裝有料盤的欄具由進欄具工位輸送至料盤欄具分離工位上，所述第一搬運裝置用于將空欄具由所述料盤欄具分離工位移至空欄具工位，所述第二搬運裝置用于將欄具中裝有晶片的料盤由所述料盤欄具分離工位移至料盤工位，再將空料盤由所述料盤工位移至空料盤工位，并將空料盤由所述空料盤工位移至所述空欄具工位上的空欄具中，所述第三搬運裝置用于將料盤中的晶片由所述料盤工位移至裝載花籃工位的花籃內，所述出欄具輸送裝置用于將裝有空料盤的欄具由所述空欄具工位輸送至出欄具工位并移出。

2.根據權利要求1所述的晶片裝載系統，其特征在于：所述料盤搬運模塊還包括升降裝置，所述升降裝置設置于所述料盤欄具分離工位上，用于將裝有料盤的欄具升起和降下，以供所述第二搬運裝置進入欄具的底部并使料盤落在所述第二搬運裝置上。

3.根據權利要求1所述的晶片裝載系統，其特征在于：所述晶片搬運模塊還包括校準裝置，所述校準裝置位于所述料盤工位和所述裝載花籃工位之間的校準工位上，用于對移至所述花籃前的晶片進行校準。

4.根據權利要求1所述的晶片裝載系統，其特征在于：所述第三搬運裝置包括伺服電機、導軌、滑塊和機械手，所述導軌沿所述料盤工位至所述裝載花籃工位方向設置，所述滑塊設置于所述導軌上，所述機械手與所述滑塊連接，所述機械手用于抓取移送晶片，所述伺服電機驅動所述滑塊沿所述導軌移動。

5.根據權利要求1所述的晶片裝載系統，其特征在于：所述第二搬運裝置包括橫向搬運機構和縱向搬運機構，所述橫向搬運機構和所述縱向搬運機構均包括導軌、滑塊和伺服電機，所述橫向搬運機構的所述導軌沿所述空料盤工位至所述空欄具工位方向設置，所述縱向搬運機構的所述導軌沿所述料盤工位至所述空料盤工位方向設置，所述滑塊設置于所述導軌上，且所述縱向搬運機構還包括料盤固定架，所述料盤固定架與所述縱向搬運機構的所述滑塊連接，所述縱向搬運機構的伺服電機可驅動所述縱向搬運機構的滑塊帶動所述料盤固定架在所述料盤工位和所述空料盤工位之間往復移動，且所述縱向搬運機構的導軌與所述橫向搬運機構的所述滑塊連接，所述橫向搬運機構的所述伺服電機驅動所述橫向搬運機構的所述滑塊帶動所述縱向搬運機構上的所述料盤固定架在所述料盤欄具分離工位和所述料盤工位之間、以及所述空料盤工位和所述空欄具工位之間往復移動。

6.根據權利要求2所述的晶片裝載系統，其特征在于：所述第一搬運裝置包括伺服電機、導軌、滑塊和欄具固定架，所述導軌沿所述料盤欄具分離工位至所述空欄具工位方向設置，所述滑塊設置于所述導軌上，所述欄具固定架與所述滑塊連接，所述伺服電機驅動所述滑塊沿所述導軌移動。

7.根據權利要求2所述的晶片裝載系統，其特征在于：所述升降裝置包括電機和用于放置裝有料盤的欄具的托架，所述電機與所述托架連接驅動所述托架上升或下降。

8.根據權利要求4所述的晶片裝載系統，其特征在于：所述機械手上設有用于吸附晶片的吸盤。

9.根據權利要求3所述的晶片裝載系統，其特征在于：所述校準裝置包括UVW視覺校準平臺。

10.根據權利要求1所述的晶片裝載系統，其特征在于：所述進欄具輸送裝置和所述出欄具輸送裝置均包括傳送帶。